RU2005116674A

RU2005116674A - Способ напыления на ленточные подложки прозрачного барьерного покрытия из оксида алюминия

Info

Publication number: RU2005116674A
Application number: RU2005116674/02A
Authority: RU
Inventors: Николас ШИЛЛЕР (DE); Николас ШИЛЛЕР; Штеффен ШТРАХ (DE); Штеффен ШТРАХ; Матиас РЭБИШ (DE); Матиас РЭБИШ; Маттиас ФАЛАНД (DE); Маттиас ФАЛАНД; Кристоф ХАРТОН (DE); Кристоф ХАРТОН
Original assignee: Фраунхофер-Гезельшафт Цур Фердерунг Дер Ангевандтен Форшунг Е.Ф. (De); Фраунхофер-Гезельшафт Цур Фердерунг дер Ангевандтен Форшунг Е.Ф.
Priority date: 2002-11-29
Filing date: 2003-10-16
Publication date: 2007-01-10
Also published as: DE50308370D1; WO2004050945A2; RU2352683C2; ECSP055797A; EP1565591A2; BR0315699A; EP1565591B1; DE10255822A1; MXPA05005113A; AU2003274021A1; DE10255822B4; CO5690658A2; AU2003274021A8; ATE375409T1; US20060257585A1; ES2290496T3; US7541070B2; CA2505027C; BR0315699B1; WO2004050945A3

Claims

1. Способ напыления на ленточные подложки прозрачного барьерного покрытия из оксида алюминия путем реактивного испарения алюминия и подачи реакционноспособного газа в установке для напыления покрытий на ленты, отличающийся тем, что перед нанесением покрытия из оксида алюминия на подложку путем магнетронного распыления наносят не полностью сомкнутый слой металла или оксида металла.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина поверхностной пленки, образованной не полностью сомкнутым слоем, соответствует толщине слоя менее одного нанометра.

3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для образования не полностью сомкнутого слоя распыляют титан или магний.

4. Способ по п.3, отличающийся тем, что осуществляют реактивное распыление с подачей кислорода.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что реакционноспособный газ подают таким образом, что в зоне напыления в направлении движения ленточной подложки устанавливается градиент парциального давления реакционноспособного газа, создается градиент соотношения в смеси между алюминием, оксидом алюминия и кислородом в барьерном покрытии и это соотношение в смеси между указанными компонентами в барьерном покрытии характеризуется максимумом относительного содержания металлического алюминия, положение и выраженность какового максимума в определенной глубинной зоне барьерного покрытия регулируют варьированием градиента парциального давления реакционноспособного газа и положения зоны напыления таким образом, что при неизменном светопропускании барьерного покрытия его проницаемость для кислорода и/или водяного пара достигает минимума.

6. Способ по п.5, отличающийся тем, что положение и выраженность максимума относительного содержания металлического алюминия в определенной глубинной зоне барьерного покрытия регулируют путем регулирования диафрагм в зоне испарения и/или путем изменения положения испарительной лодочки и/или путем изменения положения газового сопла и/или угла установки газовых сопел для подачи реакционноспособного газа и/или путем изменения расхода реакционноспособного газа.

7. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что алюминий испаряют из лодочкового испарителя, имеющего по меньшей мере одну лодочку с непрерывной подачей в нее проволоки.

8. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что алюминий испаряют из индукционного испарителя.

9. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что алюминий испаряют из электронно-лучевого испарителя.

10. Способ по п.6, отличающийся тем, что градиент парциального давления реакционноспособного газа регулируют варьированием соотношения между величинами расхода реакционноспособного газа через индивидуально регулируемые газовые сопла, расположенные в зоне входа и в зоне выхода ленточной подложки.

11. Способ по п.1, отличающийся тем, что регулируют параметры технологического процесса.

12. Способ по п.11, отличающийся тем, что параметры технологического процесса регулируют индивидуально для отдельных секторов покрываемого напылением участка.

13. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что регулируемыми параметрами технологического процесса являются испаряемое в единицу времени количество алюминия и/или расход реакционноспособного газа.

14. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что регулируют расход подаваемого кислорода в зависимости от непрерывно или периодически измеряемого в ходе технологического процесса светопропускания, поддерживая его на уровне заданного значения.

15. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс напыления осуществляют с активированием плазмой.

16. Способ по п.15, отличающийся тем, что в качестве плазмы для активирования используют плазму дугового разряда, создаваемую с помощью полого катода.

17. Способ по п.16, отличающийся тем, что источники плазмы работают в режиме, в котором на подложку воздействует ионный ток со средней плотностью по меньшей мере 20 мА/см².

18. Способ по п.16, отличающийся тем, что источники плазмы работают в режиме, в котором на подложку воздействует ионный ток со средней плотностью по меньшей мере 50 мА/см².