RU2004122132A - Способ изготовления многослойного модуля печатной платы с высокой плотностью размещения элементов - Google Patents

Способ изготовления многослойного модуля печатной платы с высокой плотностью размещения элементов Download PDF

Info

Publication number
RU2004122132A
RU2004122132A RU2004122132/09A RU2004122132A RU2004122132A RU 2004122132 A RU2004122132 A RU 2004122132A RU 2004122132/09 A RU2004122132/09 A RU 2004122132/09A RU 2004122132 A RU2004122132 A RU 2004122132A RU 2004122132 A RU2004122132 A RU 2004122132A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
layer
holes
substrate
metallized
Prior art date
Application number
RU2004122132/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2279770C2 (ru
Inventor
ОЛИВЕЙРА Руи ДЕ (FR)
ОЛИВЕЙРА Руи ДЕ
Original Assignee
Организасьон Еропеэн Пур Ля Решерш Нюклеэр (Ch)
Организасьон Еропеэн Пур Ля Решерш Нюклеэр
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Организасьон Еропеэн Пур Ля Решерш Нюклеэр (Ch), Организасьон Еропеэн Пур Ля Решерш Нюклеэр filed Critical Организасьон Еропеэн Пур Ля Решерш Нюклеэр (Ch)
Publication of RU2004122132A publication Critical patent/RU2004122132A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2279770C2 publication Critical patent/RU2279770C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4652Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
    • H05K3/4655Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern by using a laminate characterized by the insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/002Etching of the substrate by chemical or physical means by liquid chemical etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0154Polyimide
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0183Dielectric layers
    • H05K2201/0195Dielectric or adhesive layers comprising a plurality of layers, e.g. in a multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0779Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing characterised by the specific liquids involved
    • H05K2203/0786Using an aqueous solution, e.g. for cleaning or during drilling of holes
    • H05K2203/0789Aqueous acid solution, e.g. for cleaning or etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0779Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing characterised by the specific liquids involved
    • H05K2203/0786Using an aqueous solution, e.g. for cleaning or during drilling of holes
    • H05K2203/0793Aqueous alkaline solution, e.g. for cleaning or etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/386Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4602Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4652Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Claims (8)

1. Способ изготовления многослойного модуля печатных плат с высокой плотностью размещения элементов, отличающийся тем, что содержит следующие этапы:
подготовка подложки (1) с печатными схемами (3), сформированными с обеих сторон, и с металлизированными сквозными отверстиями (4), причем эта подложка (1) изготовлена с использованием обычных технологий изготовления печатных плат;
плотное присоединение с одной стороны вышеуказанной подложки, с использованием жидкого эпоксидного клеящего материала двухэтапного отверждения, дополнительного слоя (5), сформированного в виде пленки (6) из полиимидной смолы, одна сторона которой покрыта металлическим покрытием, причем указанный слой присоединяют неметаллизированной стороной пленки из смолы;
избирательное вытравливание указанного металлического покрытия дополнительного слоя (5) для удаления (в точках 9) металла в заданных местах для формирования микроотверстий напротив расположенных под ними металлизированных областей подложки;
анизотропное химическое формирование сквозных микроотверстий через указанную пленку (6) путем погружения указанной пленки в статическую ванну водного раствора этилендиамина с добавлением гидроокиси калия в количестве, пропорциональном толщине пленки из полиимидной смолы и поперечному размеру микроотверстий, при температуре, по меньшей мере, 25°С, с последующей промывкой с использованием моющего средства;
удаление слоя клеящего материала, остающегося на дне микроотверстий, проходящих через пленку (6), путем распыления на него растворителя так, что микроотверстия проходят до расположенных под ними металлизированных областей подложки;
металлизацию указанных микроотверстий так, что формируемый в них слой металла находится в электропроводном контакте с вышеуказанными, расположенными под ними металлизированными областями и с внешним металлическим покрытием указанного слоя; и
избирательное вытравливание указанного металлического покрытия для формирования на нем печатных схем (14), находящихся в электропроводном контакте с указанными металлизированными микроотверстиями.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что микроотверстия вытравливают через пленку из полиимидной смолы с использованием водного раствора, состоящего на одну треть из воды и на две трети из этилендиамина на литр, с добавлением гидроокиси калия, КОН.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что на один литр водного раствора используют гидроокись калия в количестве приблизительно 64 г для формирования микроотверстий с диаметром приблизительно 50 мкм в пленке из полиимидной смолы толщиной приблизительно 50 мкм.
4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что прикрепление дополнительного слоя (5) путем соединения содержит следующие этапы:
нанесение в виде покрытия на неметаллизированную сторону пленки (6) из полиимидной смолы жидкого эпоксидного клеящего материала двухэтапного отверждения в виде слоя однородной толщины, и отверждение клеящего материала для получения толщины однородного слоя отвержденного клеящего материала (8), приблизительно равной, по меньшей мере, толщине токопроводящих дорожек печатных схем (3, 14), сформированных на стороне присоединения, к которой присоединяют пленку (6); и
прессование в вакууме слоя (5), наложенного на сторону присоединения при условиях температуры, давления и времени, обеспечивающих однородное присоединение слоя (5).
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой клеящего материала, остающийся на дне микроотверстий (9, 11), удаляют путем распыления серной кислоты с концентрацией 90-100%.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительный слой (5) содержит пленку (6) из полиимидной смолы, покрытую с одной стороны пленкой (7) меди, толщиной, по меньшей мере, 5 мкм.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что два дополнительных слоя (5) с металлизированной внешней стороной прочно соединяют с соответствующими двумя сторонами первоначально подготовленной подложки (1).
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один другой дополнительной слой (5) также прочно присоединяют к внешней стороне слоя (5), установленного заранее, и процедуру обработки повторяют с этим другим слоем.
RU2004122132/09A 2001-12-20 2002-12-12 Способ изготовления многослойного модуля печатной платы с высокой плотностью размещения элементов RU2279770C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0116522A FR2834180B1 (fr) 2001-12-20 2001-12-20 Procede de fabrication d'un module multicouches a circuits imprimes a haute densite
FR01/16522 2001-12-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004122132A true RU2004122132A (ru) 2005-05-10
RU2279770C2 RU2279770C2 (ru) 2006-07-10

Family

ID=8870727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004122132/09A RU2279770C2 (ru) 2001-12-20 2002-12-12 Способ изготовления многослойного модуля печатной платы с высокой плотностью размещения элементов

Country Status (12)

Country Link
US (1) US7135119B2 (ru)
EP (1) EP1457101B1 (ru)
JP (1) JP4022520B2 (ru)
KR (1) KR100987504B1 (ru)
AT (1) ATE544322T1 (ru)
AU (1) AU2002364643A1 (ru)
CA (1) CA2470373C (ru)
ES (1) ES2381919T3 (ru)
FR (1) FR2834180B1 (ru)
RU (1) RU2279770C2 (ru)
TW (1) TWI233770B (ru)
WO (1) WO2003055288A1 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060043586A1 (en) * 2004-08-24 2006-03-02 Texas Instruments Incorporated Board level solder joint support for BGA packages under heatsink compression
KR101348748B1 (ko) 2007-08-24 2014-01-08 삼성전자주식회사 재배선 기판을 이용한 반도체 패키지 제조방법
US7727808B2 (en) * 2008-06-13 2010-06-01 General Electric Company Ultra thin die electronic package
EP2317538B1 (en) 2009-10-28 2017-03-22 CERN - European Organization For Nuclear Research Method for fabricating an amplification gap of an avalanche particle detector
CA2872753A1 (en) * 2012-07-12 2014-01-16 Labinal, Llc Load buss assembly and method of manufacturing the same
CN105392303B (zh) * 2015-11-06 2018-05-25 天津普林电路股份有限公司 一种高密度积层板pi树脂板材槽孔沉铜工艺
RU2671543C1 (ru) * 2017-06-26 2018-11-01 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство обороны Российской Федерации Способ создания двустороннего топологического рисунка в металлизации на подложках со сквозными металлизированными микроотверстиями
CN108014618A (zh) * 2017-12-12 2018-05-11 江西鑫力华数码科技有限公司 一种印刷线路板的除胶方法
KR102346533B1 (ko) * 2020-05-13 2021-12-31 에스케이플래닛 주식회사 노면 상태 탐지 장치 및 시스템, 이를 이용한 노면 상태 탐지 방법
CN114521057B (zh) * 2020-11-18 2024-07-05 深南电路股份有限公司 一种印制线路板及其制备方法
GB202019563D0 (en) 2020-12-11 2021-01-27 Univ Liverpool Appratus and method
CN113840478A (zh) * 2021-09-08 2021-12-24 景旺电子科技(珠海)有限公司 印刷线路板的制作方法及印刷线路板

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1134632A (en) * 1965-02-13 1968-11-27 Elliott Brothers London Ltd Improvements in or relating to the production of printed circuits
JPS6054980B2 (ja) * 1980-10-08 1985-12-03 日立化成工業株式会社 ポリイミド系樹脂にスルーホール形成用のエツチング液
US4639290A (en) * 1985-12-09 1987-01-27 Hughes Aircraft Company Methods for selectively removing adhesives from polyimide substrates
JPH0529768A (ja) * 1991-07-19 1993-02-05 Hitachi Cable Ltd 多層配線構造体
JP3186834B2 (ja) * 1992-04-28 2001-07-11 住友金属鉱山株式会社 ポリイミド樹脂溶解用エッチング液およびそれを使用したスルーホールのエッチング加工方法
CA2114954A1 (en) * 1992-06-15 1993-12-23 Walter Schmidt Process for producing printed circuit boards using a semi-finished product with extremely dense wiring for signal conduction
US6016598A (en) * 1995-02-13 2000-01-25 Akzo Nobel N.V. Method of manufacturing a multilayer printed wire board

Also Published As

Publication number Publication date
KR100987504B1 (ko) 2010-10-13
EP1457101A1 (fr) 2004-09-15
EP1457101B1 (fr) 2012-02-01
RU2279770C2 (ru) 2006-07-10
US7135119B2 (en) 2006-11-14
WO2003055288A1 (fr) 2003-07-03
US20050011856A1 (en) 2005-01-20
TW200303162A (en) 2003-08-16
AU2002364643A1 (en) 2003-07-09
FR2834180A1 (fr) 2003-06-27
CA2470373A1 (fr) 2003-07-03
KR20040070259A (ko) 2004-08-06
CA2470373C (fr) 2012-02-14
FR2834180B1 (fr) 2004-03-12
JP2005513804A (ja) 2005-05-12
ES2381919T3 (es) 2012-06-01
TWI233770B (en) 2005-06-01
JP4022520B2 (ja) 2007-12-19
ATE544322T1 (de) 2012-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100778990B1 (ko) 양면 배선 기판 제조 방법, 양면 배선 기판 및 그 기재
RU2004122132A (ru) Способ изготовления многослойного модуля печатной платы с высокой плотностью размещения элементов
US11553599B2 (en) Component carrier comprising pillars on a coreless substrate
US7665208B2 (en) Through hole forming method
CN103987213B (zh) 制备形成有铜薄层的衬底的方法、制造印制电路板的方法及由此制造的印制电路板
KR20080044174A (ko) 반도체 패키지 및 그 제조방법
US11690178B2 (en) Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same
US6562250B1 (en) Method for manufacturing wiring circuit boards with bumps and method for forming bumps
KR20030091793A (ko) 다층 회로기판과 그 제조법 및 다층 회로용 기판 및전자장치
KR101893503B1 (ko) 미세배선용 연성 회로 기판 및 이의 제조방법
KR101063454B1 (ko) 인쇄회로기판 제조 방법
JP4480548B2 (ja) 両面回路基板およびその製造方法
KR100734582B1 (ko) 고밀도 배선을 가능하게 하는 다층배선기판 및 그 제조방법
US7955485B2 (en) Planar laminate substrate and method for fabricating organic laminate substrate PCBS, semiconductors, semiconductor wafers and semiconductor devices having miniaturized electrical pathways
JPH0284791A (ja) 配線板の製造法
TW557645B (en) Flexible printed wiring board and its production method
JPH07297546A (ja) 配線板の製造法
JP2002118203A (ja) 半導体搭載用基板とその製造方法とそれを用いた半導体パッケージ並びにその製造方法
JPH0897563A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
KR20170133873A (ko) 연성 동박 커버레이 필름 및 이를 이용한 미세배선용 연성 회로 기판
JPH0449795B2 (ru)
JPH04107939A (ja) 両面フィルムキャリアの製造方法
KR20040046626A (ko) 다층 인쇄 회로 기판을 제조하는 방법
JPH10326969A (ja) プリント配線板の製造方法
JPH04314378A (ja) 印刷配線板及びその製造法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20141213