RU2001106187A - Применение непрямой атмосферной плазмы для обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия, а также способ обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия - Google Patents

Применение непрямой атмосферной плазмы для обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия, а также способ обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия Download PDF

Info

Publication number
RU2001106187A
RU2001106187A RU2001106187/02A RU2001106187A RU2001106187A RU 2001106187 A RU2001106187 A RU 2001106187A RU 2001106187/02 A RU2001106187/02 A RU 2001106187/02A RU 2001106187 A RU2001106187 A RU 2001106187A RU 2001106187 A RU2001106187 A RU 2001106187A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma
plasma chamber
gas
aerosol
materials
Prior art date
Application number
RU2001106187/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Кристиан КУКЕРТЦ (DE)
Кристиан КУКЕРТЦ
Свен ЯКОБСЕН (DE)
Свен ЯКОБСЕН
Райнер БРАНДТ (DE)
Райнер БРАНДТ
Клаус ЛАНДЕС (DE)
Клаус ЛАНДЕС
Ральф ХАРТМАНН (DE)
Ральф ХАРТМАНН
Original Assignee
Волфф Вальсроде Аг (De)
Волфф Вальсроде Аг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Волфф Вальсроде Аг (De), Волфф Вальсроде Аг filed Critical Волфф Вальсроде Аг (De)
Publication of RU2001106187A publication Critical patent/RU2001106187A/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14598—Coating tubular articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/14—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by electrical means
    • B05D3/141—Plasma treatment
    • B05D3/142—Pretreatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B29C2059/145—Atmospheric plasma

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Materials For Medical Uses (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Absorbent Articles And Supports Therefor (AREA)
  • Paper (AREA)

Claims (10)

1. Применение струйного атмосферного плазматрона для однородной обработки всей или части поверхности или нанесения покрытия на ленточные металлические материалы толщиной менее 100 мкм или ленточные полимерные материалы.
2. Применение по п. 1, отличающееся тем, что струйный плазматрон содержит продольную плазменную камеру, которая охватывает в каскадном корпусе большое число электрически изолированных друг относительно друга нейтродов, причем электроды, необходимые для получения плазменного канала расположены коаксиально к продольной оси плазменной камеры, а выходное отверстие плазменного потока проходит параллельно продольной оси плазменной камеры.
3. Применение по п. 2, отличающееся тем, что струйный плазматрон содержит, по меньшей мере, один нейтрод, снабженный постоянной магнитной парой, для влияния на форму и положение плазменной дуги.
4. Применение по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что струйный плазматрон у которого, по меньшей мере, один нейтрод снабжен возможностью подвода газа в плазменную камеру.
5. Способ однородной обработки всей или части поверхности движущихся через пару вальцов ленточных металлических материалов толщиной менее 100 мкм или ленточных полимерных материалов, отличающийся тем, что применяют струйный плазматрон, содержащий продольную плазменную камеру, которая охватывает в каскадном устройстве большое количество изолированных друг от друга электрически нейтральных электродов (нейтродов), причем электроды, необходимые для получения плазменного канала, расположены коаксиально к продольной оси плазменной камеры, а выходное отверстие для плазменного потока проходит параллельно продольной оси плазменной камеры, произведенной плазмой воздействуют на поверхность полимерных или металлических материалов, в случае необходимости, при подводе газа и/или аэрозоля или смеси.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что полимерные ленточные материалы являются пластмассовыми пленками, при необходимости напыленными металлом, окислом металла или SiOx.
7. Способ по пп. 5 и 6, отличающийся тем, что обработкой поверхности является повышение поверхностного натяжения, прививки к поверхности, очистка поверхности, стерилизация поверхности.
8. Способ по одному из пп. 5-7, отличающийся тем, что в смеси с инертным газом подводят окисляющий газ и/или аэрозоль, полимеризующий газа и/или аэрозоля или прививочный газа и/или аэрозоля.
9. Способ по одному из пп. 5-8, отличающийся тем, что ленточные полимерные или металлические материалы перемещают со скоростью в пределах между 1 и 600 мм/мин.
10. Способ по одному из пп. 5-9, отличающийся тем, что на полимерный или металлический материал воздействуют атмосферной плазмой на расстоянии от 0 до 40 мм.
RU2001106187/02A 2000-03-08 2001-03-07 Применение непрямой атмосферной плазмы для обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия, а также способ обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия RU2001106187A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10011276A DE10011276A1 (de) 2000-03-08 2000-03-08 Verwendung eines indirrekten atomosphärischen Plasmatrons zur Oberflächenbehandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe sowie ein Verfahren zur Behandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe
DE10011276.5 2000-03-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2001106187A true RU2001106187A (ru) 2003-01-27

Family

ID=7633971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001106187/02A RU2001106187A (ru) 2000-03-08 2001-03-07 Применение непрямой атмосферной плазмы для обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия, а также способ обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6613394B2 (ru)
EP (1) EP1132195B1 (ru)
JP (1) JP2001295051A (ru)
AT (1) ATE383239T1 (ru)
BR (1) BR0100938A (ru)
CA (1) CA2339673A1 (ru)
DE (2) DE10011276A1 (ru)
MX (1) MXPA01002478A (ru)
NO (1) NO20011154L (ru)
PL (1) PL346292A1 (ru)
RU (1) RU2001106187A (ru)

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DK1326718T3 (da) * 2000-10-04 2004-04-13 Dow Corning Ireland Ltd Fremgangsmåde og apparat til dannelse af en belægning
DE10103463B4 (de) * 2001-01-25 2009-10-08 Thyssenkrupp Steel Ag Verbundmaterial aus metallischen Substraten und Verfahren zur Herstellung und dessen Verwendung
US20030113478A1 (en) * 2001-12-12 2003-06-19 Dang Mai Huong Surface coating method and coated device
FR2833513B1 (fr) * 2001-12-19 2006-05-26 Air Liquide Procede de traitement de surface de substrats en polyolefine
US6841201B2 (en) * 2001-12-21 2005-01-11 The Procter & Gamble Company Apparatus and method for treating a workpiece using plasma generated from microwave radiation
ATE389685T1 (de) * 2001-12-27 2008-04-15 Toyo Boseki Use of a heat-shrinkable resin film for labels
DE10231345A1 (de) * 2002-03-18 2003-10-16 Tetra Laval Holdings & Finance Vorrichtung zur Herstellung von Kunstoffbehältern mittels Streckblasformen und Vorrichtung zum Beschichten der Innenwände eines Kunstoffbehälters
US20030185973A1 (en) * 2002-03-30 2003-10-02 Crawley Richard L. Water vapor plasma method of increasing the surface energy of a surface
JP2004001415A (ja) * 2002-04-05 2004-01-08 Toyobo Co Ltd 熱収縮性フィルム
TW200308187A (en) * 2002-04-10 2003-12-16 Dow Corning Ireland Ltd An atmospheric pressure plasma assembly
GB0208261D0 (en) * 2002-04-10 2002-05-22 Dow Corning An atmospheric pressure plasma assembly
TW200409669A (en) * 2002-04-10 2004-06-16 Dow Corning Ireland Ltd Protective coating composition
DE10226017A1 (de) * 2002-06-12 2003-12-24 Krones Ag Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Hohlkörpern
FR2840826B1 (fr) * 2002-06-17 2005-04-15 Rhodia Chimie Sa Procede de traitement de surface d'un article comportant du silicone reticule par polyaddition
FR2840910B1 (fr) * 2002-06-17 2004-08-27 Rhodia Chimie Sa Composition silicone pour la realisation d'un ensemble comprenant plusieurs elements en silicone reticules par polyaddition adherant fermement les uns aux autres
FR2840911B1 (fr) * 2002-06-18 2005-09-30 Rhodia Chimie Sa Composition silicone utile notamment pour la realisation de vernis anti-friction, procede d'application de ce vernis sur un support et support ainsi traite
FR2840912B1 (fr) * 2002-06-18 2005-10-21 Rhodia Chimie Sa Emulsion silicone aqueuse pour le revetement de supports fibreux tisses ou non
EP1462183A1 (de) * 2003-03-28 2004-09-29 Sulzer Markets and Technology AG Verfahren zur oberflächenbehandlung eines substrats sowie mit einem solchen verfahren behandeltes substrat
US7060196B2 (en) * 2003-10-03 2006-06-13 Credence Systems Corporation FIB milling of copper over organic dielectrics
GB0323295D0 (en) * 2003-10-04 2003-11-05 Dow Corning Deposition of thin films
US20050158404A1 (en) * 2003-11-18 2005-07-21 Goodless Dean R. Composition and method for treatment of acne
US6916696B1 (en) 2003-11-20 2005-07-12 Advanced Micro Devices, Inc. Method for manufacturing a memory element
MX2007005123A (es) * 2004-10-29 2007-06-25 Dow Global Technologies Inc Revestimientos resistentes a la abrasion a traves de deposicion de vapor quimica mejorada de plasma.
WO2006048650A1 (en) * 2004-11-05 2006-05-11 Dow Corning Ireland Limited Plasma system
GB0509648D0 (en) * 2005-05-12 2005-06-15 Dow Corning Ireland Ltd Plasma system to deposit adhesion primer layers
US7313310B2 (en) * 2005-05-25 2007-12-25 Honeywell International Inc. Plasma directing baffle and method of use
WO2007024134A1 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Fujifilm Manufacturing Europe B.V. Method and arrangement for generating and controlling a discharge plasma
JP2009519799A (ja) * 2005-12-20 2009-05-21 プラズマトリート ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 物品の消毒方法および装置
JP4832936B2 (ja) * 2006-03-24 2011-12-07 東海ゴム工業株式会社 電子写真機器用ロールおよびその製造方法
JP2009538989A (ja) * 2006-05-30 2009-11-12 フジフィルム マニュファクチャリング ユーロプ ビー．ブイ． パルス化大気圧グロー放電を使用する堆積の方法及び装置
JP5543203B2 (ja) * 2006-06-16 2014-07-09 フジフィルム マニュファクチャリング ユーロプ ビー．ブイ． 大気圧グロー放電プラズマを使用した原子層堆積の方法及び装置
US20080044588A1 (en) * 2006-08-15 2008-02-21 Sakhrani Vinay G Method for Treating a Hydrophilic Surface
US8084103B2 (en) * 2006-08-15 2011-12-27 Sakhrani Vinay G Method for treating a hydrophilic surface
WO2008100139A1 (en) * 2007-02-13 2008-08-21 Fujifilm Manufacturing Europe B.V. Substrate plasma treatment using magnetic mask device
US20090110833A1 (en) * 2007-10-31 2009-04-30 Gala Industries, Inc. Method for abrasion-resistant non-stick surface treatments for pelletization and drying process equipment components
JP5597551B2 (ja) * 2008-02-01 2014-10-01 フジフィルム マニュファクチュアリング ヨーロッパ ビー．ヴィ． 移動基材のプラズマ表面処理の装置、方法および当該方法の使用
EP2241165B1 (en) * 2008-02-08 2011-08-31 Fujifilm Manufacturing Europe B.V. Method for manufacturing a multi_layer stack structure with improved wvtr barrier property
US8445074B2 (en) 2010-04-01 2013-05-21 The Goodyear Tire & Rubber Company Atmospheric plasma treatment of tire cords
US20110241269A1 (en) 2010-04-01 2011-10-06 The Goodyear Tire & Rubber Company Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles
EP2468422B1 (en) * 2010-12-22 2013-05-29 Mir Arastirma ve Gelistirme Anonim Sirketi Method for producing a polymer coated copper-zinc alloy structure with improved adherence
US9133412B2 (en) 2012-07-09 2015-09-15 Tribofilm Research, Inc. Activated gaseous species for improved lubrication
US9441325B2 (en) 2012-10-04 2016-09-13 The Goodyear Tire & Rubber Company Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles
US9433971B2 (en) 2012-10-04 2016-09-06 The Goodyear Tire & Rubber Company Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles
US11432393B2 (en) 2013-11-13 2022-08-30 Hypertherm, Inc. Cost effective cartridge for a plasma arc torch
US10456855B2 (en) 2013-11-13 2019-10-29 Hypertherm, Inc. Consumable cartridge for a plasma arc cutting system
US11278983B2 (en) 2013-11-13 2022-03-22 Hypertherm, Inc. Consumable cartridge for a plasma arc cutting system
US11684995B2 (en) 2013-11-13 2023-06-27 Hypertherm, Inc. Cost effective cartridge for a plasma arc torch
US9981335B2 (en) 2013-11-13 2018-05-29 Hypertherm, Inc. Consumable cartridge for a plasma arc cutting system
DE102014003603B4 (de) * 2014-03-17 2016-08-04 Treofan Germany Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung einer Polyolefinfolie, Polyolefinfolie sowie deren Verwendung als Elektroisolierfolie in Kondensatoren
EP3958654A1 (en) 2014-08-12 2022-02-23 Hypertherm, Inc. Cost effective cartridge for a plasma arc torch
RU2018107295A (ru) 2015-08-04 2019-09-05 Гипертерм, Инк. Картридж для плазменной горелки с жидкостным охлаждением
FR3043679B1 (fr) * 2015-11-12 2021-07-23 Aptar Stelmi Sas Procede de traitement d'un element de conditionnement en elastomere, et element de conditionnement ainsi traite.
KR101843622B1 (ko) * 2015-12-17 2018-03-30 성균관대학교산학협력단 블록 공중합체의 표면 경화 방법
DE102016101456A1 (de) * 2016-01-27 2017-07-27 Plasmatreat Gmbh Spritzgussbauteil mit Einlegeteil, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendungen dafür
DE102016213905A1 (de) * 2016-07-28 2018-02-01 Thyssenkrupp Ag Applikationseinheit zum Anbringen eines Dichtungsprofils und Verfahren
US11357093B2 (en) * 2016-12-23 2022-06-07 Plasmatreat Gmbh Nozzle assembly, device for generating an atmospheric plasma jet, use thereof, method for plasma treatment of a material, in particular of a fabric or film, plasma treated nonwoven fabric and use thereof

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3219538A1 (de) 1982-05-25 1983-12-01 Softal Electronic GmbH, 2000 Hamburg Vorrichtung zur elektrischen vorbehandlung von nichtleitenden folien
DE3631584C2 (de) 1986-09-17 1995-12-21 Hoechst Ag Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Folienbahnen mittels elektrischer Koronaentladung
EP0497996B1 (de) 1991-02-02 1994-04-13 SOFTAL electronic GmbH Vorrichtung zur indirekten Koronabehandlung von leitenden und nichtleitenden Materialien unterschiedlichster Gestalt und Dicke
US5759329A (en) * 1992-01-06 1998-06-02 Pilot Industries, Inc. Fluoropolymer composite tube and method of preparation
DE4212549C1 (ru) 1992-04-15 1993-02-11 Maschinenfabrik Windmoeller & Hoelscher, 4540 Lengerich, De
FR2704558B1 (fr) 1993-04-29 1995-06-23 Air Liquide Procede et dispositif pour creer un depot d'oxyde de silicium sur un substrat solide en defilement.
DE4325939C1 (de) 1993-08-03 1994-10-20 Agrodyn Hochspannungstechnik G Koronadüse
DE4438533A1 (de) 1994-11-02 1996-05-09 Softal Elektronik Gmbh Verfahren zur Koronabehandlung bei Atmosphärendruck
DE19532412C2 (de) 1995-09-01 1999-09-30 Agrodyn Hochspannungstechnik G Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken
DE19546930C1 (de) 1995-12-15 1997-05-07 Agrodyn Hochspannungstechnik G Koronadüse zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken
EP0851720B1 (de) * 1996-12-23 1999-10-06 Sulzer Metco AG Indirektes Plasmatron
DE19807086A1 (de) * 1998-02-20 1999-08-26 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Beschichten von Oberflächen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat
DE29805999U1 (de) 1998-04-03 1998-06-25 Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH, 33803 Steinhagen Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen

Also Published As

Publication number Publication date
US20020012756A1 (en) 2002-01-31
EP1132195A3 (de) 2003-04-23
CA2339673A1 (en) 2001-09-08
DE10011276A1 (de) 2001-09-13
ATE383239T1 (de) 2008-01-15
EP1132195A2 (de) 2001-09-12
JP2001295051A (ja) 2001-10-26
DE50113461D1 (de) 2008-02-21
PL346292A1 (en) 2001-09-10
BR0100938A (pt) 2001-10-30
US6613394B2 (en) 2003-09-02
EP1132195B1 (de) 2008-01-09
NO20011154L (no) 2001-09-09
NO20011154D0 (no) 2001-03-07
MXPA01002478A (es) 2003-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2001106187A (ru) Применение непрямой атмосферной плазмы для обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия, а также способ обработки поверхности листового материала или нанесения покрытия
RU2001106185A (ru) Способ активации поверхностей ленточных материалов
CA1120345A (en) Deposition of thin film organic coatings by ion implantation
RU2001106186A (ru) Обработанные плазмой ленточные материалы
JPH04354865A (ja) 超低速クラスターイオンビームによる表面処理方法
KR20010032692A (ko) 이온빔을 이용한 재료의 표면처리장치
TR200400076T4 (tr) Bir kılıf oluşturmaya yarayan metot ve aparat
Leonhardt et al. Applications of electron-beam generated plasmas to materials processing
US4474827A (en) Ion induced thin surface coating
JPH07100857B2 (ja) 炭素皮膜形成方法及び装置
JP2837700B2 (ja) ダイヤモンド様薄膜を形成する方法
JP4546675B2 (ja) 多段型の放電プラズマ処理方法及び装置
WO2003080890A1 (fr) Procede et dispositif de production de couches minces
JPH03153859A (ja) 表面改質プラスチック
JPH11241165A (ja) 表面処理品の製造方法
JPH0253242A (ja) 光滋気ディスク用保護膜の製造法
JPH04341558A (ja) ダイヤモンド様炭素保護膜を有する物品とその製造方法
KR100262824B1 (ko) 질화탄소 박막 형성장치 및 그 방법
JP2003022899A (ja) 放電プラズマ処理装置
JP3485937B2 (ja) ダイヤモンド様薄膜による保護膜を有する金型とその製造方法
JPS5645905A (en) Formation of polymeric thin film and apparatus therefor
JPS63463A (ja) 蒸着方法
JPH01184273A (ja) 反応性プラズマビーム製膜方法とその装置
Kurashima et al. Deposition of hydrogenated carbon film in a magnetically confined RF CH 4/H 2 plasma
KR20010088078A (ko) 플라즈마중합시스템의 애쉬제거장치

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20050111