PT844678E - Electrodo exterior para um actuador monolitico de camadas multiplas - Google Patents

Electrodo exterior para um actuador monolitico de camadas multiplas

Info

Publication number
PT844678E
PT844678E PT97119858T PT97119858T PT844678E PT 844678 E PT844678 E PT 844678E PT 97119858 T PT97119858 T PT 97119858T PT 97119858 T PT97119858 T PT 97119858T PT 844678 E PT844678 E PT 844678E
Authority
PT
Portugal
Prior art keywords
actuator
stack
monolitic
external electrode
multiple layer
Prior art date
Application number
PT97119858T
Other languages
English (en)
Inventor
Reiner Bindig
Andreas Gunther
Gunther Helke
Jurgen Schmieder
Original Assignee
Ceramtec Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7812562&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=PT844678(E) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Ceramtec Ag filed Critical Ceramtec Ag
Publication of PT844678E publication Critical patent/PT844678E/pt

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50—Bond wires
    • H10W72/531—Shapes of wire connectors
    • H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
PT97119858T 1996-11-25 1997-11-13 Electrodo exterior para um actuador monolitico de camadas multiplas PT844678E (pt)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19648545A DE19648545B4 (de) 1996-11-25 1996-11-25 Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PT844678E true PT844678E (pt) 2002-11-29

Family

ID=7812562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PT97119858T PT844678E (pt) 1996-11-25 1997-11-13 Electrodo exterior para um actuador monolitico de camadas multiplas

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6208026B1 (pt)
EP (1) EP0844678B9 (pt)
JP (1) JP4112054B2 (pt)
AT (1) ATE222404T1 (pt)
DE (2) DE19648545B4 (pt)
DK (1) DK0844678T4 (pt)
ES (1) ES2177881T5 (pt)
PT (1) PT844678E (pt)

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19740570C2 (de) * 1997-09-15 2000-01-13 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor mit einem elektrischen Anschluß
DE19930585B4 (de) * 1998-08-06 2017-11-09 Epcos Ag Piezoaktor mit verbesserter elektrischer Kontaktierung und Verwendung eines derartigen Piezoaktors
DE19856185A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Antrieb
DE19917728A1 (de) * 1999-04-20 2000-10-26 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928181A1 (de) 1999-06-19 2001-01-11 Bosch Gmbh Robert Piezoelement mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE19928178A1 (de) * 1999-06-19 2000-08-10 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928187C1 (de) * 1999-06-19 2000-12-28 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928189A1 (de) * 1999-06-19 2001-04-19 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928190A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-11 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928191A1 (de) * 1999-06-19 2000-10-26 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928188B4 (de) * 1999-06-19 2004-04-15 Robert Bosch Gmbh Piezoelement mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und ein Verfahren zu dessen Herstellung
KR20010072858A (ko) * 1999-06-23 2001-07-31 클라우스 포스, 게오르그 뮐러 개선된 전극 접점을 구비한 압전 다층 액츄에이터와 그제조방법
ATE356441T1 (de) 1999-06-29 2007-03-15 Siemens Ag Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden mehrschichtfolie
DE19936713C2 (de) 1999-08-06 2001-08-23 Bosch Gmbh Robert Piezokeramischer Aktor sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE19945267C1 (de) * 1999-09-21 2001-04-19 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Anbringung von flächigen Außenelektroden auf einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE10026005B4 (de) * 2000-05-25 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
DE10017332C2 (de) 2000-04-07 2002-04-18 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers
DE10017331C1 (de) * 2000-04-07 2001-06-07 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrischer Vielschichtaktuator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10017334C2 (de) * 2000-04-07 2002-04-18 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrische Betätigungseinrichtung
DE10017975A1 (de) * 2000-04-11 2001-10-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Vielschichtaktor
EP1160885B1 (en) 2000-05-31 2010-08-18 Denso Corporation Piezoelectric device for injector
JP2002054526A (ja) 2000-05-31 2002-02-20 Denso Corp インジェクタ用圧電体素子
JP4158338B2 (ja) * 2000-06-06 2008-10-01 株式会社デンソー インジェクタ用圧電体素子
EP1179860A1 (de) * 2000-08-09 2002-02-13 Piezomechanik GmbH Piezoaktorkontaktierung
DE10046657A1 (de) * 2000-09-20 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Piezoelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung
DE10048928A1 (de) * 2000-10-04 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelement
DE10051784C1 (de) * 2000-10-19 2002-08-14 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Elektromechanisches Funktionsmodul
DE10152490A1 (de) * 2000-11-06 2002-05-08 Ceramtec Ag Außenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
DE10055241A1 (de) 2000-11-08 2002-05-29 Epcos Ag Piezoaktor
JP3964184B2 (ja) 2000-12-28 2007-08-22 株式会社デンソー 積層型圧電アクチュエータ
DE10206115A1 (de) * 2001-03-06 2002-09-19 Ceramtec Ag Piezokeramische Vielschichtaktoren sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung
DE50203457D1 (de) 2001-04-30 2005-07-28 Siemens Ag Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
DE10211107A1 (de) * 2001-07-12 2003-02-13 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor in einem Gehäuse
DE10207530A1 (de) 2002-02-22 2003-09-11 Epcos Ag Piezoaktor mit strukturierter Außenelektrode
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
DE10327902A1 (de) * 2002-07-19 2004-06-24 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE10241992B4 (de) 2002-09-11 2005-05-04 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor
DE10307825A1 (de) * 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel
DE10341333B4 (de) 2003-09-08 2006-06-08 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors
WO2005029603A1 (ja) * 2003-09-24 2005-03-31 Kyocera Corporation 積層型圧電素子
DE102004005227A1 (de) * 2004-02-03 2005-08-18 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit mindestens einem Paar Innenelektroden
JP2006013437A (ja) * 2004-05-27 2006-01-12 Kyocera Corp 積層型圧電素子およびその製造方法ならびにこれを用いた噴射装置
US7385337B2 (en) 2004-06-18 2008-06-10 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element
DE102004031402A1 (de) * 2004-06-29 2006-02-09 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
DE102004031404B4 (de) * 2004-06-29 2010-04-08 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle und elektrischem Anschlusselement, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
DE102004050880B4 (de) * 2004-10-19 2010-11-25 Continental Automotive Gmbh Kraftstoffinjektor mit Wärmetauscheinrichtung
DE102004057795B4 (de) * 2004-11-30 2006-12-28 Siemens Ag Kontaktierung von Vielschicht-Piezoaktoren bzw. -sensoren
DE102005017108A1 (de) * 2005-01-26 2006-07-27 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
DE102005015405B3 (de) * 2005-02-08 2006-07-20 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschicht-Stapelaktoren
DE102005014163B4 (de) * 2005-03-29 2015-09-17 Continental Automotive Gmbh Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor
US20070147008A1 (en) * 2005-12-28 2007-06-28 Intel Corporation Use of porous materials to cool the surfaces of a computing device
JP4936306B2 (ja) 2006-01-13 2012-05-23 日本碍子株式会社 積層型圧電素子およびその製造方法
DE102006004284A1 (de) * 2006-01-31 2007-08-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben
DE102006018056A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-31 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit außen kontaktierten Innenelektroden eines Piezoelements
US7679273B2 (en) 2006-07-31 2010-03-16 Delphi Technologies, Inc. Strain tolerant metal electrode design
DE102006040316B4 (de) * 2006-08-29 2012-07-05 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezokeramischer Flächenaktuator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
DE102007011652B4 (de) 2007-02-23 2008-12-11 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschichtaktoren
CN101897049B (zh) * 2007-11-14 2013-12-18 怡德乐纳斯公司 具有结合焊带的平面弹簧组件及其制造方法
EP2237337B1 (en) * 2007-12-26 2016-03-16 Kyocera Corporation Laminated piezoelectric element, and injection device and fuel injection system using the same
EP2259352B1 (en) * 2008-04-11 2012-08-29 Murata Manufacturing Co. Ltd. Laminated piezoelectric actuator
WO2009130863A1 (ja) 2008-04-21 2009-10-29 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
DE102008031641B4 (de) 2008-07-04 2017-11-09 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008062021A1 (de) 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
JPWO2010024199A1 (ja) * 2008-08-26 2012-01-26 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム
DE102008050539A1 (de) * 2008-10-06 2010-04-08 Epcos Ag Piezoaktor mit Außenelektrode
DE102008056746A1 (de) 2008-11-11 2010-05-12 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor
WO2010057939A1 (de) 2008-11-20 2010-05-27 Ceramtec Ag Vielschichtaktor mit aussenelektroden als metallische, poröse, dehnbare leitschicht
DE102008055131A1 (de) * 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor, Kraftstoff-Injektor mit Piezoaktor sowie Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors
DE102009013125A1 (de) 2009-03-13 2010-09-23 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zum Befestigen einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor
DE102009020238B4 (de) 2009-05-07 2017-10-19 Epcos Ag Piezoaktor mit elektrischen Kontaktierungsstiften und Verfahren zum Kontaktieren eines Piezoaktors
DE102009054068A1 (de) 2009-11-20 2011-05-26 Epcos Ag Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement und piezoelektrisches Bauelement mit einem Lotmaterial
EP2802766B1 (de) 2012-01-11 2021-09-15 CeramTec GmbH Aktormodul mit einem in einem gehäuse angeordneten vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen leckstrom an der aktoroberfläche
DE102012109250B4 (de) 2012-09-28 2020-07-16 Tdk Electronics Ag Elektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierung eines Elektrischen Bauelements
DE102014110163A1 (de) * 2014-07-18 2016-01-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer physikalischen oder chemischen Prozessgröße eines Mediums
US11296272B2 (en) * 2017-07-20 2022-04-05 Taiyo Yuden Co., Ltd. Multilayer piezoelectric element, piezoelectric vibration apparatus, and electronic device
DE102018104459A1 (de) 2018-02-27 2019-08-29 Tdk Electronics Ag Vielschichtbauelement mit externer Kontaktierung
DE102018108360A1 (de) 2018-04-09 2019-10-10 Vermes Microdispensing GmbH Dosiersystem mit piezokeramischem Aktor

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4012588A (en) * 1975-08-29 1977-03-15 Science Accessories Corporation Position determining apparatus and transducer therefor
JPS601877A (ja) † 1983-06-20 1985-01-08 Nippon Soken Inc 積層型圧電体
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
US4917484A (en) * 1984-05-15 1990-04-17 Rockwell International Corporation High-performance dynamic mount for laser-beam steering mirror and actuating motor therefor
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer
JP2567046B2 (ja) † 1987-09-25 1996-12-25 日立金属株式会社 積層型変位素子
JPH0258384A (ja) * 1988-08-24 1990-02-27 Fuji Electric Co Ltd 積層型圧電素子
US5281885A (en) * 1989-11-14 1994-01-25 Hitachi Metals, Ltd. High-temperature stacked-type displacement device
DE68926166T2 (de) * 1989-11-14 1996-12-12 Battelle Memorial Institute Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen Stapelantriebsvorrichtung
US4967166A (en) * 1989-12-07 1990-10-30 Schlumberger Technology Corporation Crystal oscillator and method for mounting the same
EP0471552B1 (en) * 1990-08-14 1997-07-02 Texas Instruments Incorporated Heat transfer module for ultra high density and silicon on silicon packaging applications
JPH04214686A (ja) † 1990-10-05 1992-08-05 Nec Corp 電歪効果素子
GB2266806B (en) * 1992-05-06 1996-01-24 Dowty Maritime Ltd Piezoelectric device
JP3270527B2 (ja) † 1992-07-08 2002-04-02 呉羽化学工業株式会社 筒状ないし曲面化圧電素子
US5597494A (en) * 1993-03-26 1997-01-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
US5438477A (en) * 1993-08-12 1995-08-01 Lsi Logic Corporation Die-attach technique for flip-chip style mounting of semiconductor dies
JPH07106653A (ja) † 1993-10-06 1995-04-21 Hitachi Metals Ltd 積層圧電素子
JP2570605B2 (ja) * 1993-11-15 1997-01-08 日本電気株式会社 半導体装置
JPH07169998A (ja) * 1993-12-15 1995-07-04 Toyota Motor Corp 圧電アクチュエータ
JPH07226541A (ja) * 1994-02-09 1995-08-22 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子
JPH07283453A (ja) † 1994-04-12 1995-10-27 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子
US5557501A (en) * 1994-11-18 1996-09-17 Tessera, Inc. Compliant thermal connectors and assemblies incorporating the same
JPH08250777A (ja) † 1995-03-10 1996-09-27 Chichibu Onoda Cement Corp 連結積層型圧電アクチュエータ素子
ATE442844T1 (de) † 1996-11-14 2009-10-15 Lipomedica Ehf Topische zusammensetzungen enthaltend als therapeutisch aktiven wirkstoff ein monoglycerid zur behandlung von schleimhautinfektionen

Also Published As

Publication number Publication date
ES2177881T5 (es) 2012-01-26
ATE222404T1 (de) 2002-08-15
EP0844678B2 (de) 2011-08-31
EP0844678B9 (de) 2012-03-07
DK0844678T4 (da) 2011-12-05
DE19648545B4 (de) 2009-05-07
ES2177881T3 (es) 2002-12-16
DE59707960D1 (de) 2002-09-19
JP4112054B2 (ja) 2008-07-02
DE19648545A1 (de) 1998-05-28
JPH10229227A (ja) 1998-08-25
EP0844678B1 (de) 2002-08-14
EP0844678A1 (de) 1998-05-27
DK0844678T3 (da) 2002-10-07
US6208026B1 (en) 2001-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PT844678E (pt) Electrodo exterior para um actuador monolitico de camadas multiplas
JP2002203999A5 (pt)
CA2381117A1 (en) Improved multiple terminal capacitor structure
TR200000511T2 (tr) Elektrikli cihazlar ve bunları imal etmek için bir yöntem.
EP0823781A3 (en) Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof, and electronic component using the piezoelectric resonator
EP1699277A4 (en) CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE
US5266862A (en) Piezoelectric actuator
AU2003300577A1 (en) Foil-type switching element with multi-layered carrier foil
EP0800269A3 (en) Piezoelectric resonator and electronic component using the same
EP0952618A4 (en) THIN FILM PIEZOELECTRIC ELEMENT
KR100695374B1 (ko) 접어서 제조된 다층 구조를 갖는 압전 소자
WO2003040688A3 (en) 2d/3d chemical sensors and methods of fabricating and operating the same
WO2002099904A3 (de) Elektromechanischer wandler mit mindestens einem piezoelektrischen element
DE50209370D1 (de) Elektrisches vielschichtbauelement
ATE376257T1 (de) Piezoaktor
HUP0201761A2 (en) Piezo-actuator
DE60309351D1 (de) Folienartiges schaltelement
WO2004027887A3 (de) Piezoelektrischer aktor
ATE367653T1 (de) Vielschichtaktor mit versetzt angeordneten kontaktflächen gleich gepolter innenelektroden für ihre aussenelektrode
LU90783B1 (en) Foil-type switching element
WO2002043204A3 (de) Übereinander gestapelte halbleiter-diodenlaser
WO2002089226A3 (de) Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
ATE510289T1 (de) Elektrisches bauelement und schaltungsanordnung
JPS6059981A (ja) 駆動装置
EP0962981A3 (en) Semiconductor device having a metallic capacitor electrode and ohmic contact and method of fabrication