PL204390B1 - Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, tarcza szlifierska segmentowa i sposób wytwarzania wyrobu ściernego - Google Patents

Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, tarcza szlifierska segmentowa i sposób wytwarzania wyrobu ściernego

Info

Publication number
PL204390B1
PL204390B1 PL374507A PL37450702A PL204390B1 PL 204390 B1 PL204390 B1 PL 204390B1 PL 374507 A PL374507 A PL 374507A PL 37450702 A PL37450702 A PL 37450702A PL 204390 B1 PL204390 B1 PL 204390B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
abrasive
microns
composite
binder
volume
Prior art date
Application number
PL374507A
Other languages
English (en)
Other versions
PL374507A1 (pl
Inventor
Srinivasan Ramanath
Sergej-Tomislav Buljan
Jason R. Wilson
Jeri Ann S. Ikeda
Original Assignee
Saint Gobain Abrasives Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint Gobain Abrasives Inc filed Critical Saint Gobain Abrasives Inc
Publication of PL374507A1 publication Critical patent/PL374507A1/pl
Publication of PL204390B1 publication Critical patent/PL204390B1/pl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23F—MAKING GEARS OR TOOTHED RACKS
    • B23F21/00—Tools specially adapted for use in machines for manufacturing gear teeth
    • B23F21/03—Honing tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B24D99/005—Segments of abrasive wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D18/00—Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/04—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
    • B24D3/06—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements
    • B24D3/10—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements for porous or cellular structure, e.g. for use with diamonds as abrasives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/04—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
    • B24D3/14—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic ceramic, i.e. vitrified bondings
    • B24D3/18—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic ceramic, i.e. vitrified bondings for porous or cellular structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
    • B24D3/22—Rubbers synthetic or natural
    • B24D3/26—Rubbers synthetic or natural for porous or cellular structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
    • B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
    • B24D3/32—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds for porous or cellular structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
    • B24D5/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1409—Abrasive particles per se

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

Niniejszy wynalazek dotyczy wyrobu ściernego na segmentową tarczę szlifierską, tarczy szlifierskiej segmentowej i sposobu wytwarzania wyrobu ściernego.
Wynalazek dotyczy w szczególności szlifowania powierzchni i polerowania twardych lub kruchych materiałów w operacji wysokojakościowego szlifowania, takiego jak szlifowanie wykańczające wafli z krzemu, tlenku glinowego, węglika tytanu i węglika krzemu, które są zwykle stosowane do wytwarzania elektronicznych części składowych.
Zastosowanie porowatych materiałów ściernych do polepszania mechanicznych procesów szlifowania jest ogólnie dobrze znane. Pory zwykle zapewniają dostęp dla płynów szlifierskich, takich jak chłodziwa i smary, które sprzyjają bardziej efektywnej obróbce minimalizując metalurgiczne wady (na przykład przypalenie powierzchni) i zwiększając trwałość narzędzia. Pory także zapewniają usuwanie odpadu materiału (na przykład wiórów i opiłek) z przedmiotu będącego podłożem, co jest ważne zwłaszcza, gdy przedmiot będący podłożem jest stosunkowo miękki lub, gdy wymagania wykończenia powierzchni są wysokie (na przykład, gdy szlifuje się wykańczająco wafle krzemowe).
Wcześniejsze próby wytworzenia przedmiotów ściernych i/lub narzędzi zawierających pory mogą być sklasyfikowane w dwóch kategoriach. W pierwszej kategorii wytwarza się strukturę porowatą poprzez dodanie organicznego środka wywołującego pory (takiego jak łupiny gruntowego orzecha włoskiego) do wyrobu ściernego. Te środki termicznie rozkładają się pod wpływem wypalania pozostawiając pustki lub pory w utwardzonym narzędziu ściernym. Przykładami tej kategorii są patenty US 5,221,294 dla Carmen i innych i US 5,429,648 dla Wu, oraz japońskie patenty A-91-161273 dla Grotoh i innych, A-91-281174 dla Satoh i innych. W drugiej kategorii, struktura porowata może być wytworzona poprzez dodanie materiałów o zamkniętych komórkach, takich jak pęcherzykowy tlenek glinowy, do przedmiotu ściernego. Patrz na przykład patent US 5,203,886 dla Sheldon i innych.
W alternatywnym rozwią zaniu, Wu i inni, w patentach US 5,738,696 i 5738,697, z których każ dy jest włączony do niniejszego poprzez odniesienie, ujawniają przedmiot ścierny i sposób jego wytwarzania zawierający ziarna ścierne w postaci włókien mających stosunek długości do średnicy przynajmniej 5:1. Słabe właściwości upakowywania wydłużonych ziaren ściernych powodowały powstawanie przedmiotu ściernego zawierającego zwiększoną porowatość i przepuszczalność i czyniły go przydatnym do szlifowania o stosunkowo dużych wymaganiach.
Z publikacji patentu US 6,093,092 znana jest ś cierna tarcza segmentowa, której segmenty są wykonane z kompozytu zawierającego ziarna superścierne, kruche wypełnienie i matrycę spoiwa metalowego. Segmenty mają wysoką gęstość (55-89% spoiwa metalowego) i twardość i są przeznaczone do skrawania z wysokimi prędkościami.
Ponieważ wzrosło zapotrzebowanie rynku na precyzyjne części składowe produktów takich, jak silniki, wyposażenie ogniotrwałe i urządzenia elektroniczne (na przykład wafle krzemowe i z węglika krzemu, głowice magnetyczne i okna wyświetlające) wzrosło zapotrzebowanie na ulepszone narzędzia ścierne do końcowego precyzyjnego szlifowania i polerowania ceramiki i innych stosunkowo twardych i/lub kruchych materiałów. Znane w stanie techniki narzędzia ścierne nie zapewniają całkowitej satysfakcji w realizacji powyżej wskazanych potrzeb. Dlatego, istnieje potrzeba ulepszonego wyrobów ściernych i narzędzi ściernych, a zwłaszcza, takich, które mają stosunkowo wysoki poziom porowatości.
Według wynalazku, segment ścierny na segmentową tarczę szlifierską, składający się z kompozytu zawierającego wiele superściernych ziaren i matrycę spoiwa metalowego spieczone ze sobą, charakteryzuje się tym, że kompozyt zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 50 do 80% objętościowych i zawiera od 0,5 do 25% objętościowych ziarna ściernego i od około 19,5 do 49,5% materiału spoiwa, przy czym matryca spoiwa metalowego zawiera od około 35 do około 70% wagowych miedzi i od około 30 do około 65% wagowych cyny i od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu, zaś ziarna superścierniwa są dobrane z grupy zawierającej diament i sześcienny azotek boru i mają ś redni rozmiar cząstek mniejszy niż około 300 mikronów.
Liczne połączone ze sobą pory korzystnie mają średni rozmiar w zakresie od 25 mikronów do 500 mikronów.
Liczne ziarna superścierne korzystnie mają średni rozmiar cząstek od 0,5 mikronów do 75 mikronów.
W innej odmianie wynalazku, segment ścierny na segmentową tarczę szlifierską, składający się z kompozytu zawierającego wiele superś ciernych ziaren i matrycę spoiwa niemetalowego spieczone
PL 204 390 B1 ze sobą, charakteryzuje się tym, że kompozyt zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 40 do 80% objętościowych i zawiera od około 0,5 do 25% objętościowych ziarna ściernego oraz od 19,5 do 65% materiału niemetalowego spoiwa, przy czym ziarna superścierniwa są dobrane z grupy zawierającej diament i sześcienny azotek boru i mają średni rozmiar cząstek mniejszy niż około 300 mikronów.
Liczne ziarna superścierne korzystnie mają średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 75 mikronów.
Niemetalowe spoiwo może stanowić żywica fenolowa.
Według wynalazku, tarcza szlifierska segmentowa, zawierająca rdzeń mający minimalną wytrzymałość właściwą 2,4 MPa*cm3/g, gęstość 0,5 do 0,8 g/cm3 i okrągłe obrzeże, wieniec ścierny zawierający wiele segmentów, z których każdy składa się z kompozytu zawierającego wiele ziaren ściernych i matrycy spoiwa metalowego spieczonych ze sobą, charakteryzuje się tym, że kompozyt segmentów zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 50 do 80% objętościowych, a pomiędzy rdzeniem i każdym z wielu segmentów jest umieszczone termicznie stabilne spoiwo.
Spoiwo metalowe może zawierać od 35 do 85% wagowych miedzi i od około 15 do 65% wagowych cyny lub może zawierać od 0,2 do 1,0% wagowych fosforu.
Ziarno ścierne korzystnie stanowi ziarno superścierne z grupy obejmującej diament i sześcienny azotek boru.
Ziarno ścierne może mieć średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 300 mikronów.
Liczne połączone ze sobą pory korzystnie mają średni rozmiar w zakresie 25 mikronów do 500 mikronów.
Każdy segment korzystnie ma przepuszczalność większą lub równą około 8 mm2 na sekundę na milimetr słupa wody.
Termicznie stabilne spoiwo może być dobrane z grupy obejmującej spoiwo kleju epoksydowego, spoiwo metalurgiczne, spoiwo mechaniczne, spoiwo dyfuzyjne i ich kombinacje.
Spoiwo metalowe może zawierać od około 35 do około 85% wagowych miedzi i od około 15 do około 65% wagowych cyny i od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu, a ziarno ścierne stanowi diament mający cząstki o wielkości od około 0,5 do około 300 mikronów, zaś połączone ze sobą pory mają średnią wielkość w zakresie od około 25 do około 500 mikronów.
W innej odmianie, tarcza szlifierska segmentowa, zawierająca rdzeń mają cy minimalną wytrzymałość właściwą 2,4 MPa*cm3/g, gęstość 0,5 do 0,8 g/cm3 i okrągłe obrzeże, wieniec ścierny zawierający wiele segmentów, z których każdy składa się z kompozytu zawierającego wiele ziaren ściernych i matrycy spoiwa niemetalowego spieczonych ze sobą, charakteryzuje się tym, że kompozyt zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 40 do 80% objętościowych, a pomiędzy rdzeniem i każdym z wielu segmentów jest umieszczone termicznie stabilne spoiwo.
Matrycę spoiwa niemetalowego może stanowić matryca spoiwa organicznego. Matrycę spoiwa organicznego może stanowić matryca żywicy fenolowej.
Korzystnie też, matrycę spoiwa organicznego stanowi żywica fenolowa, ziarno ścierne stanowi diament mający średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 do 300 mikronów, termicznie stabilne spoiwo klejące stanowi epoksydowe spoiwo klejące.
Według wynalazku, sposób wytwarzania wyrobu ściernego, w którym przygotowuje się mieszaninę przynajmniej ziaren ściernych i materiału spoiwa i kształtuje się wyrób z mieszaniny poprzez prasowanie do postaci kompozytu a następnie utwardzanie kompozytu, charakteryzuje się tym, że mieszaninę przygotowuje się z ziaren ściernych w ilości od 0,5 do 25% objętościowych, materiału spoiwa w ilości od 19,5 do 49,5% obję tościowych oraz cząstek fazy dyspersyjnej w ilości od 50 do 80% objętościowych, a kompozyt ścierny ze sprasowanej mieszaniny obrabia się cieplnie, po czym zanurza się ten kompozyt w rozpuszczalniku przez czas odpowiedni do rozpuszczenia zasadniczo całej fazy dyspersyjnej, i doprowadza się do rozpuszczenia fazy dyspersyjnej w tym rozpuszczalniku przy pozostawieniu ziaren ściernych i materiału spoiwa nierozpuszczonymi w tym rozpuszczalniku, z utworzeniem wyrobu ściernego zawierającego co najmniej 50% objętościowych połączonych ze sobą porów.
Korzystnie prasowanie i obróbkę cieplną prowadzi się zasadniczo jednocześnie.
Korzystnie mieszaninę prasuje się przez co najmniej pięć minut w temperaturze w zakresie od około 370 do 795°C pod ciśnieniem w zakresie od około 20 do około 33 MPa.
W mieszaninie można stosować fazę dyspersyjną w zawartości procentowej cząstek w zakresie od 50% objętościowych do 70% objętościowych.
Jako materiał spoiwa stosuje się spoiwo metalowe lub spoiwo organiczne.
PL 204 390 B1
Korzystnie stosuje się ziarno ścierne o średnim rozmiarze cząstek w zakresie 0,5 mikronów do 75 mikronów.
Jako fazę dyspersyjną stosuje się sól rozpuszczalną w wodzie.
Korzystnie stosuje się fazę dyspersyjną wybraną z grupy obejmującej cukier, dekstrynę, polioligomery sacharyny, chlorek sodu, chlorek potasu, chlorek magnezu, chlorek wapnia, krzemian sodu, metakrzemian sodu, fosforan potasu, krzemian potasu, węglan sodu, siarczan sodu, siarczan potasu, siarczan magnezu i ich mieszaniny.
Można też stosować fazę dyspersyjną o rozmiarze cząstek w zakresie 25 mikronów do 500 mikronów.
Jako rozpuszczalnik korzystnie stosuje się wodę.
2
Wytwarza się wyrób ścierny mający przepuszczalność większą lub równą około 8 mm2 na sekundę na milimetr słupa wody.
W innej odmianie wynalazku sposób wytwarzania wyrobu ściernego, w którym przygotowuje się mieszaninę przynajmniej ziaren ściernych i materiału spoiwa i kształtuje się wyrób z mieszaniny poprzez prasowanie do postaci kompozytu a następnie utwardzanie kompozytu, charakteryzuje się tym, że jako materiał spoiwa stosuje się materiał niemetalowy, a mieszaninę przygotowuje się z ziaren ściernych w ilości od 0,5 do 25% objętościowych, materiału spoiwa w ilości od 19,5 do 65% objętościowych i cząstek fazy dyspersyjnej w ilości od 40 do 80% objętościowych, a kompozyt ścierny ze sprasowanej mieszaniny obrabia się cieplnie, po czym zanurza się ten kompozyt w rozpuszczalniku przez czas odpowiedni do rozpuszczenia zasadniczo całej fazy dyspersyjnej, i doprowadza się do rozpuszczenia fazy dyspersyjnej w tym rozpuszczalniku przy pozostawieniu ziaren ściernych i materiału spoiwa nierozpuszczonymi w tym rozpuszczalniku, z utworzeniem wyrobu ściernego zawierającego od 40 do 80% objętościowych połączonych ze sobą porów.
Jako niemetalowy materiał spoiwa korzystnie stosuje się materiał spoiwa organicznego.
Jako materiał spoiwa organicznego można stosować żywicę wybraną z grupy obejmującej żywice fenolowe, żywice epoksydowe, nienasycone żywice poliestrowe, żywice dwumelamidowe, i ich mieszaniny.
Jako ziarno ścierne korzystnie stosuje się diament mający średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 300 mikronów.
Jako cząstki fazy dyspersyjnej można stosować zasadniczo cząstki niejonowe.
Jako cząstki fazy dyspersyjnej stosuje się cukier.
Obróbkę cieplną prowadzi się po zanurzaniu i obejmuje ona wypalanie przez co najmniej jedną godzinę w temperaturze w zakresie od około 100 do około 200°C.
Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykładach wykonania na rysunku, na którym fig. 1 jest schematyczną ilustracją jednego przykładu wykonania segmentu ściernego według wynalazku; fig. 2A jest schematyczną ilustracją przykładu wykonania części tarczy szlifierskiej zawierającej szesnaście segmentów ściernych z fig. 1; fig. 2B jest widokiem przekroju tarczy szlifierskiej wzdłuż linii „A”-„A” z fig. 2A; i fig. 2C jest częściowym powiększonym widokiem ukazującym fragment 110 z fig. 2B.
Niniejszy wynalazek obejmuje porowaty wyrób ścierny, który może być użyteczny do precyzyjnego szlifowania, polerowania lub cięcia. Jednym przykładem wykonania ściernego koła szlifierskiego według niniejszego wynalazku jest segment ścierny 10 segmentowego koła szlifierskiego 100 (patrz na przykład fig. 1 i 2, które są opisane dalej szczegółowo w odniesieniu do przykładu 1). Jeden przykład wykonania niniejszego wynalazku zawiera od około 50 do około 80 procent objętościowych połączonych ze sobą porów. W innym przykładzie wykonania wyrób ścierny według tego wynalazku zawiera niemetaliczne spoiwo, takie jak organiczny materiał wiążący (na przykład żywica fenolowa) i zawiera od około 40 do około 80 procent objętościowych połączonych ze sobą porów. Wynalazek także obejmuje sposób wytwarzania porowatych wyrobów ściernych. Tarcze ścierne (na przykład tarcza ścierna 100) zawierające jeden lub więcej wyrobów ściernych (na przykład segment 10) według wynalazku są korzystne do lustrzanego szlifowania wykańczającego materiałów twardych i/lub kruchych, takich jak wafle krzemowe, z węglika krzemu, węglika glinowo tytanowego i tym podobnych. Tarcze ścierne są korzystne, ponieważ mogą one eliminować potrzebę obciągania (lub innego odnawiania) powierzchni ściernych tarcz ściernych podczas lustrzanego szlifowania wykańczającego powyższych materiałów. Inne potencjalne korzyści tego wynalazku staną się oczywiste z następującego omówienia i przykładów.
Jednym z aspektów niniejszego wynalazku jest zauważenie, w przeciwieństwie do typowej wiedzy (patrz na przykład patent japoński 60-118,469 dla Ishihara), że wyroby ścierne zawierające od
PL 204 390 B1 około 50 do około 80 procent objętościowych połączonych ze sobą porów, mogą zapewniać doskonałe właściwości ścierne przy szlifowaniu materiałów twardych i/lub kruchych, bez zasadniczego pogorszenia mechanicznej integralności wyrobu ściernego. Przykłady wykonania wyrobów ściernych według wynalazku zawierają więc przynajmniej 50% objętościowych połączonych ze sobą porów i odpowiednie ilości co najmniej jednych ziaren ściernych i materiału wiążącego. Wyroby ścierne mogą ponadto zawierać wypełniacze, smary i inne składniki znane dla znawców w tej dziedzinie. Te wyroby ścierne korzystnie zawierają od około 50 do około 80 procent objętościowych połączonych ze sobą porów, bardziej korzystnie od około 50 do około 70 procent objętościowych połączonych ze sobą porów.
Zasadniczo, w wyrobach ściernych według wynalazku może być zastosowane dowolne ziarno ścierne. Typowe ścierniwa mogą obejmować, ale bez ograniczeń, tlenek glinu, tlenek krzemu, węglik krzemu, tlenek cyrkonowy-tlenek glinu, granat i szmergiel o wielkości ziarna w zakresie od około 0,5 do około 5000 mikrometrów, korzystnie od około 2 do około 300 mikrometrów. Mogą być także stosowane superścierne ziarna, obejmujące, bez ograniczenia, diament i sześcienny azotek boru (CBN) z lub bez powłoki metalowej mającej zasadniczo podobne wielkości ziarna. Dobór wielkości ziarna ścierniwa i typu bardzo zależy od charakteru obrabianej części i typu procesu szlifowania. Do dokładnego szlifowania wykańczającego (to jest wykończenia lustrzanego) mogą być konieczne superścierne ziarna mające mniejszą wielkość, takie jak w zakresie od około 0,5 do około 120 mikronów lub nawet od 0,5 do około 75 mikronów. Ogólnie, mniejsze wielkości ziaren (to jest drobniejsze ziarna) są korzystne do kształtowania, pocieniania i innych operacji, w których wymaga się usuwania stosunkowo dużej ilości materiału.
Jako materiał matrycowy w wyrobie ściernym według wynalazku może być zastosowany zasadniczo dowolny typ materiału wiążącego stosowanego do wytwarzania wiązanych wyrobów ściernych. Na przykład, może być zastosowane spoiwo metaliczne, organiczne, żywicowe lub ceramiczne (wraz z odpowiednimi ś rodkami utwardzają cymi, jeż eli są konieczne), przy czym spoiwo metaliczne jest ogólnie pożądane. Ogólnie zalecane jest spoiwo metalowe mające odporność na kruche pękanie w zakresie od około 1,0 do około 6,0 MPa*m1/2, korzystnie mające odporność na kruche pękanie w zakresie od około 1,0 do około 3,0 MPa*m1/2. Dalsze szczegóły odnośnie odporności na kruche pękanie są dostępne w patentach US 6,093,092 i 6,102,789 dla Ramanath i innych, które są całe włączone do niniejszego poprzez odniesienie i dalej są przywoływane jako patenty Ramanath.
Materiały użyteczne na metalową wiązaną matrycę obejmują, ale bez ograniczeń, brązy, stopy miedzi i cynku (na przykład mosiądze), kobalt, żelazo, nikiel, srebro, glin, ind, antymon, tytan, cyrkon i ich stopy, oraz mieszaniny ich. Mieszanina miedzi i cyny okazał a się ogólnie pożądanym materiał em metalowej wiązanej matrycy. Odpowiedni materiał na wyroby ścierne według wynalazku za skład zawierający od około 35 do około 85% wagowych miedzi i od około 15 do około 65% wagowych cyny. Korzystnie skład materiału zawiera skład zawierający od około 35 do około 70% wagowych miedzi i od około 30 do około 65% wagowych cyny i alternatywnie od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu (takiego jak w stopie miedzi z fosforem). Te materiały wiązane mogą być alternatywnie stosowane z tytanem lub wodorotlenkiem tytanu, chromem, lub innym znanym superś ciernym materiał em reakcyjnym mającym zdolność do tworzenia chemicznego związania węglikowego lub azotkowego pomiędzy ziarnem i spoiwem na powierzchni superściernego ziarna pod wpływem dobranych warunków spiekania w celu utwardzenia połączenia ziarno/spoiwo. Silniejsze współdziałanie ziarno/spoiwo ogólnie zmniejsza „wyciąganie” ziarna, co powoduje zniszczenie części obrabianej i skraca trwałość narzędzia.
Przykładem odpowiedniego spoiwa organicznego jest termoutwardzalna żywica, ale inne typy żywic mogą też być stosowane. Korzystnie, żywica jest albo żywicą epoksydową lub fenolową i może być stosowana w formie ciekłej lub proszkowej. Szczególne przykłady odpowiednich żywic termoutwardzalnych obejmują żywice fenolowe (na przykład nowolak lub rezol), epoksydowe, nienasycony poliester, bismelamid, poliimid, ester cyjanowy, melaminy i tym podobne.
Przykłady wykonania wyrobu ściernego według wynalazku zawierają od około ma skład zawierający od około 50 do około 80% objętościowych połączonych ze sobą porów, w których średnia wielkość porów jest w zakresie od około 25 do około 500 mikronów. Połączone ze sobą pory są kształtowane podczas wytwarzania poprzez dodanie odpowiednich ilości rozproszonych cząstek do mieszaniny ziarna ściernego i spoiwa przy zapewnieniu, że stosunkowo duża zawartości procentowej rozproszonych cząstek nie jest w styku z innymi rozproszonymi cząstkami w ukształtowanym wyrobie ściernym (przed i po spiekaniu).
PL 204 390 B1
15W jednym przykładzie wykonania porowaty wyrób zawiera od około 0,5 do 25% objętościowych superścierniwa i od około 30,5 do około 49,5% objętościowych wiązanej metalem matrycy spieczonych razem w temperaturze w zakresie od około 370 do około 795°C przy ciśnieniu w zakresie od około 20 do około 33 MPa. Wiązana metalem matryca zawiera od około 35 do około 70% wagowych miedzi, od około 30 do około 65% wagowych cyny i od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu. Superścierniwo stanowi diament mający wielkość ziarna w zakresie od około 0,5 do około 300 mikronów (a w szczególnym przykładzie wykonania od około 0,5 do około 75 mikronów).
W innym przykł adzie wykonania porowaty wyrób zawiera od oko ł o 50 do okoł o 80% obję toś ciowych połączonych ze sobą porów, w których średnia wielkość porów jest w zakresie od około 25 do około 500 mikronów. Połączone ze sobą pory są kształtowane podczas wytwarzania poprzez dodanie odpowiednich ilości rozproszonych cząstek do mieszaniny ziarna ściernego i spoiwa przy zapewnieniu, że stosunkowo duża zawartości procentowej rozproszonych cząstek nie jest w styku z innymi rozproszonymi cząstkami w ukształtowanym wyrobie ściernym (przed i po spiekaniu).
W innych przykładach wykonania porowaty wyrób zawiera od około 40 do około 80% objętościowych połączonych ze sobą porów, w których średnia wielkość porów jest w zakresie od około 150 do około 500 mikronów). W tych przykładach wykonania wyrób zawiera od około 0,5 do 25% objętościowych superścierniwa i od około 19,5 do około 65% objętościowych organicznego spoiwa utwardzonego razem w temperaturze w zakresie od około 100 do około 200°C (lub 400 do 450°C dla żywic polimidowych) przy ciśnieniu w zakresie od około 20 do około 33 MPa. Faza dyspersyjna mająca iglasty kształt, na przykład mający stosunek kształtu większy lub równy 2:1 mogą być korzystnie stosowane dla osiągnięcia zawartości połączonych porów od około 40 do 50% objętościowych. Wyroby ścierne według wynalazku mogą być wytwarzane przy użyciu typowych procesów metalurgii proszków/ wytwarzania polimerów. Ścierniwo, spoiwo i faza dyspersyjna o odpowiedniej wielkości i składzie są dobrze mieszane, kształtowane do odpowiedniego kształtu i spiekane/utwardzane w stosunkowo wysokiej temperaturze i pod ciśnieniem dla osiągnięcia stosunkowo gęstego kompozytu, korzystnie o gęstoś ci przynajmniej 95% teoretycznej gę stoś ci (zwykle od okoł o 98 do 99% gę stoś ci teoretycznej). W wyrobach ściernych zawierających matrycę wiązaną metalem, proszki są zwykle spiekane w zakresie temperatury od około 370 do około 795°C przy ciśnieniu w zakresie od około 20 do około 33 MPa. Na przykład, w jednym przykładzie wykonania mieszanina proszku jest najpierw ogrzewana do 401°C przez 20 minut. Proszki są następnie spiekane w temperaturze 401°C i pod ciśnieniem 22,1 MPa przez 10 minut. Po schłodzeniu sprasowane kompozyty ścierne, zawierające fazy dyspersyjne, które są zasadniczo w styku ze sobą, są zanurzane w rozpuszczalniku w celu wybiórczego usunięcia (to jest rozpuszczenia) faz dyspersyjnych. Powstały wyrób ścierny ma strukturę gąbczastą zawierającą mieszaninę ścierniwa i związanej matrycy i mający sieć przypadkowo rozłożonych połączonych ze sobą porów (to jest pustek z których została rozpuszczona faza dyspersyjna).
Zasadniczo może być stosowana dowolna faza dyspersyjna, która może być łatwo rozpuszczona w rozpuszczalniku takim, jak woda, alkohol, aceton i tym podobne. Ogólnie, preferowane są fazy dyspersyjne, które są rozpuszczalne w wodzie, takie jak chlorek sodu, chlorek potasu, siarczan potasu, siarczan magnezu i tym podobne oraz ich mieszaniny. Do zastosowania w pewnych procesach szlifowania (takich jak wafle krzemowe i inne części elektroniczne), może być konieczne użycie innych niejonowych (to znaczy niesolnych) faz dyspersyjnych, takich jak cukier, dekstryna, polioligomer sacharyny. Najbardziej korzystnymi są fazy dyspersyjne mające wysoką rozpuszczalność w wodzie i stosunkowo dużą kinetykę rozpuszczania, takie jak chlorek sodu lub cukier. Korzystne fazy dyspersyjne mogą także wykazywać stosunkowo wysoki punkt topnienia, około 800°C. Dla wyrobów ściernych wymagających bardzo wysokich temperatur spiekania mogą być stosowane fazy dyspersyjne takie jak krzemian sodowo glinowy (punkt topnienia 1650°C), siarczan magnezu (punkt topnienia 1124°C), fosforan potasu (punkt topnienia 1340°C), krzemian potasu (punkt topnienia 976°C), metakrzemian sodu (punkt topnienia 1088°C) i ich mieszaniny.
Wielkość cząstek fazy dyspersyjnej jest zwykle w zakresie od około 25 do około 500 mikronów. W korzystnym przykładzie faza dyspersyjna zawiera cząstki o wielkości od około 74 do około 210 mikronów (to jest zawiera cząstki fazy dyspersyjnej drobniejsze niż numer sita US 70 (znormalizowany odsiew) i grubsze niż numer sita US 200). W innym korzystnym przykładzie wykonania faza dyspersyjna zawiera cząstki o rozkładzie wielkości od około 210 do około 310 mikronów (to jest zawiera cząstki fazy dyspersyjnej drobniejsze niż numer sita US 50 i grubsze niż numer sita US 70). W jeszcze jednym korzystnym przykładzie wykonania, w którym stosuje się cukier jako fazę dysperPL 204 390 B1 syjną, stosuje się cząstki o rozkładzie wielkości zawierającym się od około 150 do około 500 mikronów to jest cząstki fazy dyspersyjnej drobniejsze niż numer sita US 35 i grubsze niż numer sita US 100).
Wyroby ścierne opisane powyżej mogą być użyte do wytwarzania zasadniczo dowolnych typów narzędzi szlifierskich. Ogólnie korzystne narzędzia obejmują tarcze szlifierskie powierzchni (na przykład według ANSI tarcze ścierne Typ 2A2T lub Typ 2A2TS i tarcze ścierne Typ 1A i 1A1), oraz ściernice garnkowe (na przykład według ANSI ściernice Typ 2 lub Typ 6 lub ściernice garnkowe dzwonowe Typ 119V). Szlifierskie tarcze ścierne mogą zawierać rdzeń (na przykład rdzeń 20 z fig. 2A-2C) mający środkowy otwór do montowania tarczy na szlifierce, który to rdzeń jest zaprojektowany do mocowania porowatego pierścienia ściernego umieszczonego na jego obrzeżu (patrz na przykład tarcza szlifierska 100 na fig. 2A, która jest omówiona bardziej szczegółowo dalej w odniesieniu do przykładu 1). Te dwie części tarczy są zwykle utrzymywane razem za pomocą złącza klejowego, które jest stabilne termicznie w warunkach szlifowania, a tarcza i jej części składowe są zaprojektowane tak, że tolerują naprężenia wytwarzane przy prędkościach obwodowych tarczy do co najmniej 80 m/s, a korzystnie do 160 m/s lub większych.
W jednym przykładzie wykonania rdzeń ma kształt zasadniczo okrągły. Rdzeń może zawierać zasadniczo dowolny materiał mający minimalną wytrzymałość właściwą 2,4 MPa-cm3/g, a bardziej korzystnie w zakresie od około 40 do około 185 MPa-cm3/g. Materiał rdzenia ma gęstość 0,5 do 8,0 g/cm3, a korzystnie od około 2,0 do około 8,0 g/cm3. Przykładowymi odpowiednimi materiałami jest stal, aluminium, tytan, brąz i kompozyty i stopy oraz ich kombinacje. Na konstrukcję rdzenia mogą być także zastosowane wzmocnione tworzywa sztuczne mające minimalną wytrzymałość właściwą. Kompozyty i wzmocnione materiały rdzeniowe zwykle zawierają ciągłą fazę metalu lub matrycę z tworzywa sztucznego, często początkowo będąca w postaci proszkowej, do której dodaje się jako nieciągłą fazę materiał w postaci włókien lub ziaren lub cząstek twardszych, bardziej sprężystych i/lub o mniejszej gęstości. Przykładami materiału wzmacniającego do zastosowania na rdzeń narzędzi według wynalazku są włókna szklane, włókna węglowe, włókna aramidowe, włókna ceramiczne, cząstki i ziarna ceramiczne i puste materiały wypełniacza, takie jak szkło, mulit, tlenek glinu i sfery Z-light. Ogólnie pożądane materiały na rdzeń metaliczny obejmują według ANSI stal 4140 i stopy aluminium 2024,6065 i 7178. Ponadto szczegóły dotyczące odpowiednich materiałów na rdzeń, właściwości i tym podobne są podane w patentach Ramanath'a.
Tarcza ścierna (na przykład tarcza ścierna 100 pokazana na fig. 2A) może być wytwarzana poprzez kształtowanie najpierw poszczególnych segmentów o dobranym wymiarze, składzie i porowatości, jak opisano powyżej (patrz na przykład segment 10 pokazany na fig. 1, który jest omówiony bardziej szczegółowo dalej w odniesieniu do przykładu 1). Tarcze ścierne mogą być ukształtowane i spieczone, wypalone lub utwardzone poprzez różne procesy znane w stanie techniki. Między innymi jest to proces prasowania na gorąco (pod ciśnieniem około 14-28 MPa), prasowania na zimno (pod ciśnieniem około 400-500 MPa lub więcej) i wybijanie na gorąco w formie stalowej (pod ciśnieniem 90110 MPa). Znawcy w tej dziedzinie z łatwością zauważą, że prasowanie na zimno (a w mniejszym zakresie także wybijanie na gorąco) są użyteczne tylko dla cząstek fazy dyspersyjnej mających dużą wytrzymałość na ściskanie (to jest wytrzymałość na kruszenie). Dla cząstek ściernych wiązanych metalem jest korzystne prasowanie na gorąco (przy około 350-500°C i 22 MPa). Dla cząstek ściernych wiązanych organicznie, w których stosuje się cukier zawierający fazę dyspersyjną, może być pożądane prasowanie na zimno lub „ciepło” (w temperaturach niższych niż około 160°C). Dodatkowe szczegóły dotyczące prasowania i technik obróbki termicznej są podane w patencie US nr 5,827,337, który jest całkowicie włączony do niniejszego poprzez odniesienie.
Po prasowaniu, termicznym prasowaniu i zanurzeniu w rozpuszczalniku segmenty są zwykle wykańczane poprzez typowe techniki, takie ja szlifowanie, cięcie przy użyciu ściernic ze spoiwem ceramicznym lub ściernic tnących z węglików spiekanych w celu wytworzenia segmentu wieńca ściernego mającego wymagane wymiary i tolerancje. Segmenty mogą następnie być mocowane do obrzeża rdzenia za pomocą odpowiedniego kleju (patrz na przykład fig. 2A-2C, które są omówione dalej). Korzystnymi klejami są żywica epoksydowa 353-NDT (EPO-TEK, Billerica, MA) przy stosunku wagowym 10:1 żywicy do utwardzacza i żywica epoksydowa TechnodyneR HT-18 (otrzymana z Taoka Chemicals, Japonia) i jej zmodyfikowany utwardzacz aminowy zmieszany w stosunku około 100 części wagowych żywicy z około 19 częściami wagowymi utwardzacza. Dodatkowe szczegóły klejów, ich właściwości i zastosowanie do tarcz ściernych wiązanych metalem są podane w patentach Ramanath'a.
PL 204 390 B1
Alternatywny sposób wytwarzania tarcz ściernych obejmuje kształtowanie zespołów prekursora segmentów z mieszaniny proszkowej ścierniwa, spoiwa i fazy dyspersyjnej, kształtowanie zespołów segmentów wokół obwodu rdzenia i doprowadzanie ciepła oraz wywoływanie ciśnienia w celu utworzenia i dołączenia segmentów na miejscu (to jest poprzez wspólne spiekanie rdzenia i wieńca). Po spiekaniu tarcza ścierna jest zanurzana w dobranym rozpuszczalniku w celu rozpuszczenia faz dyspersyjnych z wieńca, co powoduje powstanie wysoko porowatego wieńca ściernego (jak wcześniej opisano). W tym alternatywnym sposobie może okazać się konieczne użycie w fazy dyspersyjnej, która nie zawiera jonów chlorkowych (na przykład chlorku sodu) w przypadku, gdy materiał rdzenia zawiera aluminium lub stop aluminium (na przykład stop 7075), ponieważ w stopach aluminium mogą tworzyć się wżery w obecności jonów chlorkowych.
Wyroby ścierne i narzędzia według wynalazku (na przykład tarcza ścierna 100 pokazana na fig. 2A i omówiona szczegółowo dalej) są korzystne do szlifowania materiałów ceramicznych włącznie z różnymi tlenkami, węglikami, azotkami i krzemkami takimi jak azotek krzemu, dwutlenek krzemu i tlenkoazotek krzemu, stabilizowany tlenek cyrkonowy, tlenek aluminium (na przykład szafir), węglik boru, azotek boru, dwuborek tytanu i azotek aluminium oraz kompozytów tych materiałów ceramicznych, jak również pewnych kompozytów z metalowa matryca, takich jak węgliki spiekane diament polikrystaliczne i polikrystaliczny sześcienny azotek boru. Zarówno materiały ceramiczne w postaci pojedynczego kryształu jak i polikrystaliczne mogą być obrabiane za pomocą tych narzędzi ściernych. Ponadto wyroby ścierne i narzędzia według wynalazku są szczególnie użyteczne do szlifowania materiałów stosowanych w elektronice, takich jak wafle krzemowe (używane do wytwarzania półprzewodników), węglika glinowo tytanowego (stosowany do wytwarzania głowic magnetycznych) i innych materiałów zastępczych.
Modyfikacje różnych aspektów niniejszego wynalazku opisane powyżej są jedynie przykładowe. Należy rozumieć, że inne modyfikacje do przedstawionych przykładów wykonania są oczywiste dla osób przeciętnie znających te dziedzinę. Wszystkie takie modyfikacje i warianty mieszczą się w zakresie i istocie niniejszego wynalazku, jakie są określone przez dołączone zastrzeżenia.
Następujące przykłady jedynie ilustrują różne przykłady wyrobów i sposobów według wynalazku. Nie powinno się traktować zakresu wynalazku jako ograniczonego przez te szczególne przykłady opisane w niniejszym, ale raczej jako zdefiniowany w następujących po nich zastrzeżeniach. O ile nie wskazano inaczej, wszystkie części i zawartości procentowe są wagowe.
P r z y k ł a d 1
Przygotowano tarcze ścierne 100 według zasad wynalazku w postaci tarcz diamentowych wiązanych metalem typu 2A2TS wykorzystując materiały i procesy opisane poniżej.
Proszkowy stop metalu (określony dalej) zmieszano z niejodowaną solą kuchenną (uzyskana z Shaw's, Inc., Worcester, MA) w stosunku wagowym stop metalu : sól kuchenna 65:35, co odpowiadało stosunkowi objętościowemu stop metalu : sól kuchenna 31,56:68,44. Sól kuchenna (głównie chlorek sodu) była zmielona w młynie Spex™ (wytworzonym przez SPEX Company Meutechen, NJ) i przesiana dla uzyskania rozkładu wielkości cząstek w zakresie od około 74 do około 210 mikronów (to jest większej niż numer sita US 200 i mniejszej niż numer sita US 70).
Proszkowy stop metalu stanowił mieszaninę 43,74% wagowych proszku miedzi (gatunek dendrytyczny FS, wielkość cząstek sita -100/+325, maksimum 0,5%, uzyskany z Alcan metal Powders, Inc. Elizabeth, NJ).
Drobny ścierny proszek diamentowy, o rozkładzie wielkości cząstek od około 3 do 6 mikronów dodano do mieszanki stopu metalu/soli kuchennej (2,67 gram diamentu dodano do 61,29 gram mieszanki stopu metalu/soli kuchennej) i następnie dobrze wymieszano przy użyciu mieszalnika Turbula™ (wytworzonym przez Glen Mills, Inc, Clifton NJ) dopóki nie uzyskano jednolitej mieszaniny. Otrzymana mieszanina zawierała około 5% objętościowych diamentu, około 30% objętościowych matrycy wiązanej metalem i około 65% objętościowych soli kuchennej. Do mieszaniny dodano trzy krople spirytusu mineralnego DL 42™ (uzyskanego z Worcester Chemical, Worcester, MA) przed mieszaniem w celu zabezpieczenia przed separacją składników. Mieszaninę nastę pnie rozdzielono na 16 równych części (każda odpowiadająca jednemu z 16 segmentów ściernych 10 stosowanych w tarczy ściernej 100). Każdą część umieszczono w formie grafitowej i prasowano na gorąco w 407°C przez 10 minut przy 22,1 MPa (3200 funtów/cal2) aż do ukształtowania matrycy o docelowej gęstości większej niż 95% gęstości teoretycznej. Po schłodzeniu segmenty 10 zanurzano w stosunkowo dużej ilości (na przykład 0,5 l) wrzącej wody przez 45 minut w celu usunięcia z nich soli. Segmenty 10 były następnie dokładnie płukane w odjonizowanej (Dl) wodzie. Proces powtarzano dla zapewnienia całkowitego
PL 204 390 B1 usunięcia soli. Następujące po tym pomiary straty wagi i rozproszonych promieni X energii (EDX) potwierdziły, że zasadniczo cała sól kuchenna została usunięta z segmentów.
Na fig. 1 jest przedstawiona schematyczna ilustracja segmentu 10, każdy segment 10 jest obrobiony do wymaganych wymiarów i tolerancji w celu dopasowania do obrzeża obrobionego glinowego rdzenia 20 (tarcza typu 2A2TS pokazana na fig. 2A-2C). Segmenty 10 mają łukowy zarys o zewnętrznym promieniu krzywizny 11 wynoszącym 127 mm (5 cali) i wewnętrznym promieniu krzywizny 12 wynoszącym 124 mm (4,9 cale). W widoku z przodu (lub od tyłu) segmenty 10 mają wymiar długości 13 wynoszący 47 mm (1,8 cala), a wymiar szerokości 14 wynoszący 6,3 mm (0,25 cala).
Segmenty 10 zostały użyte do skonstruowania tarczy ściernej 100 do szlifowania powierzchni, typu 2A2TS, jak pokazano na fig. 2A. Tarcza ścierna 100 zawiera szesnaście symetrycznie rozmieszczonych segmentów 10 spojonych z glinowym rdzeniem 20 zapewniających tarczę ścierną 100 mającą zewnętrzną średnicę 102 około 282 mm (11,1 cala) i wieniec 104 ze szczelinami. Jak pokazano w 110 segmentowy wieniec wystaje na odległość 112 od powierzchni czołowej glinowego rdzenia 20 wynoszącą około 3,9 mm (0,16 cala). Segmenty ścierne 10 i glinowy rdzeń 20 są zmontowane za pomocą układu żywicy epoksydowej/utwardzacza aminowego (klej Technodyne HT-18, uzyskany z Taoka Chemicals, Japonia) w celu wytworzenia tarczy szlifierskiej mającej szczelinowy wieniec 104 składający się z szesnastu segmentów ściernych 10. Powierzchnie styku rdzenia i segmentów 10 były odtłuszczone i piaskowane dla zapewnienia odpowiedniej przyczepności.
P r z y k ł a d 2
Ocena rezultatów szlifowania
Poddano testom jedną tarczę segmentową spojoną metalem (tarcza 2-A) wytworzoną sposobem z powyższego Przykładu 1 w szlifowaniu wykańczającym wafli krzemowych. Jedna dostępna w handlu tarcza ścierna o tej samej wielkości i zawartości ziarna w spoiwie żywicy (tarcza specyfikowana jako D3/6MIC-IN.656-BX623, uzyskana z Saint Gobain Abrasives, Inc., Worcester, MA) polecana do szlifowania wykańczającego wafli krzemowych, służyła jako tarcza porównawcza i była badana razem z tarczą według wynalazku. Ta porównawcza tarcza zawierała około 5% objętościowych ścierniwa diamentowego, 62% objętościowych pustych kulek szklanych, około 12% objętościowych żywicy i około 21% objętościowych porów. Kulki szklane zawierały około 15% objętościowych powłoki szklanej. Dlatego porównawcza tarcza mogła być uważana jako zawierająca około 73,7% objętościowych niepołączonych porów (to jest około 21% objętościowych porów plus 52,7% objętościowych pustego wnętrza pustych kulek szklanych).
Warunki badania szlifowania były:
Warunki testu szlifowania:
Urządzenie: Strasbaugh Model 7AF
Opis tarczy: Trzpień zgrubny: Norton #3-R1B69
Trzpień dokładny: D3/6MIC-IN.656-BX623 (porównawczy)
Tarcza 2-A
Wielkość tarczy: typ 2A2TSSA:
280x29x229 mm (11x1 1/8x9 cali)
Tryb szlifowania: Podwójne szlifowanie: szlifowanie zgrubne i następnie szlifowanie dokładne Proces szlifowania dokładnego:
Prędkość tarczy: 4350 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
Materiał obrabiany: Wafle krzemowe, typu N o 100 orientacjach, średnica 150 mm (6 cali), wyj-ściowa grubość 0,66 mm (0,026 cala) (uzyskane z Silicon Quest, CA)
Usunięty materiał: etap 1: 10 μm, etap 2: 5 nm, etap 3: 5 μm, dociągnięcie: 2 μm
Prędkość podawania: etap 1: 1 μm/s, etap 2: 0,7 μm/s, etap 3: 0,5 μm/s, dociągnięcie: 0,5 nm/s
Prędkość obróbki: 699 obr./min, stała
Przerwa: 100 obrotów
Proces szlifowania zgrubnego:
Prędkość tarczy: 3400 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
Materiał obrabiany: Wafle krzemowe, typu N o 100 orientacjach, średnica 150 mm (6 cali), wyj-ściowa grubość 0,66 mm (0,026 cala) (uzyskane z Silicon Quest, CA)
PL 204 390 B1
Usunięty materiał: etap 1: 10 μm, etap 2: 5 μm, etap 3: 5 μm, dociągnięcie: 10 μm
Prędkość dostarczania: etap 1: 3 μm/s, etap 2: 2 μm/s, etap 3: 1 μm/s, dociągnięcie: 5 μm/s
Prędkość obróbki: 590 obr./min, stała
Przerwa: 50 obrotów
Gdy narzędzia ścierne wymagały kształtowania i obciągania, warunki ustalone dla tego testu były następujące:
Operacja kształtowania i obciągania:
Tarcza gruba: żadne
Tarcza drobna: zastosowanie podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
Prędkość tarczy: 1200 obr./min
Przerwa: 25 obrotów
Usunięty materiał: etap 1: 150 μm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 20 nm
Prędkość podawania: etap 1: 5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 2 μm/s
Prędkość obróbki: 50 obr./min, stała
Wyniki testu szlifowania z przykładu 2 są pokazane poniżej w tabeli 1. Pięćdziesiąt wafli było obrobionych dokładnie przy użyciu tarczy porównawczej spojonej żywicą i tarczy porowatej według wynalazku (tarcza 2-A). Jak pokazano w tabeli 1, zarówno tarcza porównawcza jaki tarcza według wynalazku wykazywały stosunkowo stabilna szczytowa siłę normalna dla przynajmniej pięćdziesięciu wafli. Każda tarcza także wymagała w przybliżeniu tej samej szczytowej siły normalnej. Ten typ rezultatów szlifowania jest wysoce pożądany przy wyrównywaniu wafli krzemowych, ponieważ ta stosunkowo niska siła i stabilne warunki minimalizują uszkodzenia termiczne i mechaniczne obrabianej części.
Ponadto, porowata tarcza według wynalazku zapewnia wysoko pożądane rezultaty szlifowania wafli krzemowych, przy jednoczesnym nieoczekiwanym (dla tarcz spojonych metalem) użyciu mniejszej energii w porównaniu z tarczami spojonymi żywicą.
T a b e l a 1
Tarcza porównawcza Tarcza badana
Nr Prąd Szczytowa Prąd Szczytowa
wafla szczytowy A siła normalna, N szczytowy A siła normalna, N
5 10,7 66,9 8,0 62,4
10 10,5 66,9 8,3 66,9
15 10,6 66,9 8,4 62,4
20 10,9 66,9 9,0 66,9
25 11,3 66,9 8,1 62,4
30 10,7 66,9 8,4 60,0
35 10,8 66,9 8,3 62,4
40 10,5 66,4 8,4 60,0
45 10,5 66,4 8,4 66,9
50 10,1 66,9 8,8 60,0
P r z y k ł a d 3
Ocena rezultatów szlifowania
Poddano testom jedną tarczę segmentową spojoną metalem (tarcza 3-A) wytworzoną sposobem z powyższego przykładu 1 w szlifowaniu wykańczającym wytrawionych wafli krzemowych. Jedna dostępna w handlu tarcza ścierna, która jest opisana w powyższym przykładzie 2, zalecana do wyrównywania wykańczającego wafli krzemowych, służyła jako tarcza porównawcza i była badana razem z tarczą według wynalazku.
Warunki badania szlifowania były:
Warunki testu szlifowania:
Urządzenie: Strasbaugh Model 7AF
PL 204 390 B1
Opis tarczy: Trzpień zgrubny: żaden
Trzpień dokł adny: D3/6MIC-IN.656-BX623 (porównawczy)
Tarcza 3-A
Wielkość tarczy: typ 2A2TSSA:
280x29x229 mm (11x1 1/8x9 cali)
Tryb szlifowania: Pojedyncze szlifowanie: Przy użyciu tylko cienkiego trzpienia
Proces szlifowania dokładnego:
Prędkość tarczy: 4350 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
Materiał obrabiany: Wafle krzemowe, typu N o 100 orientacjach, średnica 150 mm (6 cali), wyj-ś ciowa grubość 0,66 mm (0,026 cala) (uzyskane z Silicon Quest, CA)
Usunięty materiał: etap 1: 10 μm, etap 2: 5 μm, etap 3: 5 μm, dociągnięcie: 2 μm.
Prędkość podawania: etap 1: 1 μm/s, etap 2: 0,7 μm/s, etap 3: 0,5 μm/s, dociągnięcie: 0,5 μm/s
Prędkość obróbki: 699 obr./min, stała
Przerwa: 100 obrotów
Gdy narzędzia ścierne wymagały kształtowania i obciągania, warunki ustalone dla tego testu były następujące:
Operacja kształtowania i obciągania:
Tarcza drobna: zastosowanie zgrubnej podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
Prędkość tarczy: 1200 obr./min
Przerwa: 25 obrotów
Usunięty materiał: etap 1: 150 μm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 20 μm
Prędkość podawania: etap 1: 5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 2 μm/s
Prędkość obróbki: 50 obr./min, stała
Wyniki testu szlifowania z przykładu 3 są pokazane poniżej w tabeli 2. Pięćdziesiąt pięć wytrawionych wafli krzemowych było obrobionych dokładnie przy użyciu tarczy porównawczej spojonej żywicą. W szlifowaniu wykańczającym wytrawionych wafli krzemowych nie stosowano etapu szlifowania zgrubnego, ponieważ wytrawione wafle krzemowe są stosunkowo gładkie. Jak pokazano w tabeli 2, szczytowa siła normalna wzrasta względnie w sposób ciągły wraz z liczbą wyrównywanych części, alternatywnie wzrastając do wartości, przy której szlifierka jest wyłączana. Siedemdziesiąt pięć wytrawionych wafli krzemowych wyrównywano przy użyciu porowatej tarczy według wynalazku. Jak pokazano w tabeli 2, szczytowa siła normalna pozostaje niska i stabilna podczas całego badania. To wyraźnie wskazuje na samowyrównującą się cechę tarczy według wynalazku.
Ten typ rezultatów szlifowania jest wysoce pożądany przy obróbce wafli krzemowych, ponieważ ta stosunkowo niska siła i stabilne warunki minimalizują uszkodzenia termiczne i mechaniczne obrabianej części. Ponadto, samowyrównująca się cecha tarczy zapewnia operacje wykańczania, w których nie jest konieczne obciąganie (lub inne odnawianie) tarcz szlifierskich. Dzięki temu tarcze według wynalazku mogą zapewniać zwiększoną wydajność, zmniejszenie kosztów i bardziej stałe rezultaty szlifowania niż osiągnięte przy użyciu typowych tarcz szlifierskich.
Podsumowując, przykład 3 pokazuje, że tarcza według wynalazku zapewnia wysoko pożądane rezultaty szlifowania wytrawionych wafli krzemowych, przy zasadniczo wyeliminowaniu potrzeby obciągania tarczy. Osiągnięcia tarczy według wynalazku są znacznie lepsze w porównaniu z typowymi tarczami wiązanymi żywicą w tym zastosowaniu.
T a b e l a 2
Tarcza porównawcza Tarcza badana
Nr Prąd Szczytowa Prąd Szczytowa
wafla szczytowy A siła normalna, N szczytowy A siła normalna, N
1 2 3 4 5
5 8,9 75,8 8,2 62,4
10 9,0 84,7 8,1 66,4
15 9,0 98,1 8,0 62,4
PL 204 390 B1 cd. tabeli 2
1 2 3 4 5
20 9,2 107,0 8,3 66,9
25 9,4 115,9 8,1 62,4
30 9,6 124,9 8,5 62,4
35 9,9 156,1 8,3 66,9
40 10,3 182,8 8,1 66,9
45 10,8 214,0 8,1 66,9
50 11,5 231,9 7,9 66,24
55 11,5 245,3 8,1 66,9
60 * * 7,8 62,4
65 * * 8,0 66,9
70 * * 8,0 62,4
75 * * 8,1 66,9
* szlifierka wyłączyła się, gdy sił a normalna przewyższyła granice maszyny.
P r z y k ł a d 4
Ocena rezultatów szlifowania.
Poddano testom dwie tarcze segmentowe wytworzone sposobem podobnym do sposobu z powyższego przykładu. Obie tarcze zawierały około 14% objętościowych ścierniwa diamentowego mającego rozkład wielkości cząstek od około 63 do około 74 mikronów (to jest drobniejszych niż numer sita US 200 i grubszych niż numer sita US 230). Tarcze ponadto zawierały około 21% objętościowych spoiwa metalowego (mającego skład opisany w przykładzie 1) i około 65% objętościowych porów. Pierwsza tarcza (tarcza 4-A) była wytworzona przy użyciu fazy dyspersyjnej soli kuchennej o rozmiarze wielkości sita US -70/+200, jak opisano w przykładzie 1, powodującej wielkość porów w zakresie od około 74 do około 210 mikronów (zakłada się, że wielkość porów jest taka sama jak usuniętej fazy dyspersyjnej soli). Drugą tarczę (tarcza 4-B0 wytworzono przy użyciu soli kuchennej o rozmiarze wielkości sita US -50/+70, powodującej wielkość porów w zakresie od około 210 do około 300 mikronów. Chociaż nie mierzono, zakładano, że tarcza mająca pory także zawiera większe włókna spoiwa metalowego. Termin „włókna” jest stosowany ciągle w typowym znaczeniu znanym fachowcom w tej dziedzinie w odniesieniu do łączenia materiału matrycy (to jest osnowy struktury porowatej) rozmieszczonego pomiędzy połączonymi ze sobą porami.
Te dwie opisane wyżej tarcze szlifierskie stosowano do oszlifowania zgrubnego kwadratowych wafli AlTiC o powierzchni 29 cm kwadratowego.
Warunki badania szlifowania były:
Warunki testu szlifowania:
Urządzenie: Strasbaugh Model 7AF
Opis tarczy: Trzpień zgrubny: Tarcza 4-A
Tarcza 4-B
Trzpień dokładny: żaden
Wielkość tarczy: typ 2A2TSSA:
280, 16x28,90x228,65 mm (11x1 1/8x9 cali)
Tryb szlifowania: Pojedyncze szlifowanie: tylko szlifowanie zgrubne
Proces szlifowania zgrubnego:
Prędkość tarczy: 2506 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
PL 204 390 B1
Usunięty materiał: Prędkość podawania:
Prędkość obróbki: Przerwa:
Materiał obrabiany: Wafle z węglika glinowo-tytanowego 3M-310, powierzchnia 114,3 mm2 (4,5 cala), wyjściowa grubość 2,0 mm (0,8 cala) (uzyskane z Minnesota
Mining and Manufacturing Corporation, Minneapolis, MN) etap 1: 100 μm, etap 2: 100 μm, etap 3: 100 μm, dociągnięcie: 20 μm etap 1: 0,7 um/s, etap 2: 0,7 um/s, etap 3: 0,7 μm/s, dociągnięcie: 0,5 um/s 350 obr./min, stała obrotów
Gdy narzędzia ścierne wymagały kształtowania i obciągania, warunki ustalone dla tego testu były następujące:
Operacja kształtowania i obciągania:
Tarcza gruba:
Prędkość tarczy: Przerwa:
Usunięty materiał: Prędkość podawania:
Prędkość obróbki:
zastosowanie zgrubnej podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
1200 obr./min 25 obrotów etap 1: 150 um, etap 2: 10 um, dociągnięcie: 20 um etap 1: 5 um/s, etap 2: 0,2 um/s, dociągnięcie: 2 um/s 50 obr./min, stała.
Wyniki testu szlifowania z przykładu 4 są pokazane poniżej w tabeli 3. Stwierdzono, że obie tarcze korzystne szlifowały wafle AlTiC, wykazując stosunkowo stabilne w czasie szczytowe siły normalne i wystarczające usuwanie warstw. Pierwsza tarcza mająca stosunkowo drobne pory (i prawdopodobnie stosunkowo mały rozmiar włókien spoiwa metalowego) była zastosowana do szlifowania wafla AlTiC przez około 25 minut (1500 sekund). Zaobserwowano stosunkowo stabilną szczytową siłę normalną wynoszącą około 35N i usunięto z wafla około 1150 mikronów AlTiC (szybkość usuwania warstwy około 46 mikronów/min). Zauważono zużycie tarczy około 488 mikronów (stosunek usuwania materiału/zużycie tarczy wynosił około 2,4). Druga tarcza, mająca względnie grubsze ziarno (i prawdopodobnie większą wielkość włókien spoiwa metalowego) była zastosowana do szlifowania wafla AlTiC przez około siedem minut (420 sekund). Zaobserwowano stosunkowo stabilną szczytową siłę normalną wynoszącą około 94N i usunięto z wafla około 2900 mikronów AlTiC (szybkość usuwania warstwy około 414 mikronów/min). Zużycie tarczy wyniosło około 18 mikronów (stosunek usuwania materiału/zużycie tarczy wynosił około 160).
Podsumowując, przykład 4 pokazuje, że wysokoporowate tarcze według wynalazku są bardzo odpowiednie do szlifowania wafli AlTiC. Ponadto, ten przykład wskazuje, że odporność na zużycie i samowyrównywanie tarcz według wynalazku może być udoskonalone poprzez dostosowanie względnej wielkości porów wyrobów ściernych. Bez przywiązania do żadnej szczególnej teorii, uważa się, że zwiększone zużycie tarczy zawierającej stosunkowo drobne pory jest związane z osłabieniem spoiwa metalowego, ponieważ jest zmniejszona wielkość włókien spoiwa metalowego. Niemniej jednak te właściwości tarczy mogą być zaprojektowane do szczególnych zastosowań poprzez dostosowanie w niej względnej wielkości porów.
T a b e l a 3
Opis tarczy (wielkość soli) Szczytowa siła normalna, N Zużycie tarczy, mikrony
Tarcza 4-B (-50/+70) 93,6 17,8
Tarcza 4-A (-70/+200) 35,7 487,6
P r z y k ł a d 5
Ocena rezultatów szlifowania
Poddano testom jedną tarczę segmentową spojoną metalem (tarcza 5-A) wytworzoną sposobem z powyższego przykładu 1 w szlifowaniu wykańczającym wafli z pojedynczego 50 mm (2 cale) kryształu węglika krzemu. Jedna dostępna w handlu tarcza ścierna, która jest opisana w powyższym przykładzie 2, zalecana do wyrównywania wykańczającego wafli krzemowych, służyła jako tarcza porównawcza i była badana razem z tarczą według wynalazku.
Warunki badania szlifowania były:
Warunki testu szlifowania:
Urządzenie: Strasbaugh Model 7AF
Opis tarczy: Gruby trzpień: ASDC320-7,5MXL2040(S.P.)
Drobny trzpień: D3/6MIC-IN.656-BX623 (porównawczy),
Tarcza 5-A
PL 204 390 B1
Wielkość tarczy: typ 2A2TSSA:280,16x28,90x228,65 mm (11x1 1/8x9 cali)
Tryb szlifowania: Podwójne szlifowanie: Szlifowanie zgrubne przy użyciu tylko cienkiego trzpienia. Proces szlifowania dokładnego:
Prędkość tarczy: 4350 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
Materiał obrabiany: Wafle z węglika krzemu, pojedynczy kryształ, średnica 50 mm (2 cale), wyjściowa grubość 300 mikronów (0,0075 cala) (uzyskane z CREE Research, Inc.)
Usunięty materiał: etap 1: 15 μm, etap 2: 15 μm, dociągnięcie: 5 μm Prędkość podawania: etap 1: 0,5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 1,0 μm/s Prędkość obróbki: 350 obr./min, stała
Przerwa: 150 obrotów
Proces szlifowania zgrubnego:
Prędkość tarczy: 3400 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min)
Materiał obrabiany: Wafle z węglika krzemu, pojedynczy kryształ, średnica 50mm (2 cale), wyjściowa grubość 300 mikronów (0,0075 cala) (uzyskane z CREE Research, Inc.)
Usunięty materiał: etap 1: 10 nm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 5 μm Prędkość podawania: etap 1: 0,7 μm/s, etap 2: 0,3 μm/s, dociągnięcie: 1,0 μm/s Prędkość obróbki: 350 obr./min, stała
Przerwa: 0 obrotów
Gdy narzędzia ścierne wymagały kształtowania i obciągania, warunki ustalone dla tego testu były następujące:
Operacja kształtowania:
Tarcza gruba: Tarcza drobna:
Prędkość tarczy: Przerwa
Usunięty materiał:
żadna zastosowanie zgrubnej podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
1200 obr./min.
obrotów etap 1: 150 nm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 20 μm
Prędkość podawania: etap 1: 5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 2 μm/s
Prędkość obróbki: 50 obr./min, stała
Wyniki testu szlifowania z przykładu 5 są pokazane poniżej w tabeli 4. Handlowa tarcza ścierna spojona żywicą widocznie nie była w stanie szlifować wafle węglika krzemu, na co wskazywały wyjątkowo niskie prędkości usuwania. Z drugiej strony wysoko porowata tarcza według wynalazku doskonale wyrównuje wyjątkowo twarde i kruche wafle z węglika krzemu. Podczas każdego 48 minutowego przebiegu, usunięto w przybliżeniu 15 mikronów przy średniej prędkości usuwania 0,31 mikronów/min. Ponadto, stwierdzono, że porowata tarcza według wynalazku znacznie zmniejsza chropowatość powierzchni (mierzona interferometrem światła białego ZygoR, Zygo Coprporation, Middlefield, CT). Jak pokazano w tabeli 4, szlifowanie tarczą według wynalazku stale zmniejsza średnią chropowatość powierzchni (Ra) od wartości początkowej większej niż 100 Angstremów do mniej niż 40 Angstremów (z jednym wyjątkiem).
Podsumowując, przykład 5 pokazuje, że tarcza według wynalazku zapewnia pożądane rezultaty szlifowania twardych, kruchych wafli z węglika krzemu. Osiągnięcia tarczy według wynalazku są znacznie lepsze w porównaniu z typowymi tarczami wiązanymi żywicą w tym zastosowaniu.
T a b e l a 4
Przebieg # Test 8.299 Opis tarczy Usuwana warstwa, mikrony Chropowatość powierzchni, Angstremy
1 2 3 4
6 Porównawcza tarcza 3
7 0 98
PL 204 390 B1 cd. tabeli 4
1 2 3 4
19 Tarcza 5-A 17 34
20 Tarcza 5-A 13 32
21 Tarcza 5-A 15 54,5
22 Tarcza 5-A 15 37,5
P r z y k ł a d 6
Do oceny tarcz według wynalazku zastosowano ilościowy pomiar otwarcia środka porowatego poprzez testowanie przepuszczalności, oparty na rządzonej prawem D'Arcy'ego zależności pomiędzy prędkością przepływu i ciśnieniem na porowaty środek. Urządzenie do pomiaru przepuszczalności i zastosowany sposób są zasadniczo identyczne do opisanych przez Wu i innych, w patencie US 5,738697, przykład 6, mianowicie poprzez działanie sprężonego powietrza na płaską powierzchnię porowatych próbek testowych.
Porowate próbki wykonano w sposób zasadniczo podobny do sposobu z przykładu 1, przy zawartości 5% objętościowych ścierniwa diamentowego o wielkości 3/6 mikrona. Względne ilości soli kuchennej i spoiwa metalowego były zmienne, i próbki zawierały od około 0 do około 80% objętościowych połączonych ze sobą porów. Próbki mające średnicę 3,7,5 cm (1,5 cala) i grubość 1,27 cm (0,5 cala) były prasowane na gorąco w 405°C pod ciśnieniem 22,0 MPa (3200 funty/cal2). Po schłodzeniu próbki były ręcznie walcowane przy użyciu zawiesiny ściernej węglika krzemu (rozmiar sita 180) w celu otwarcia porów na ich powierzchni. Próbki były następnie zanurzane we wrzącej wodzie jak opisano w przykładzie 1. Przygotowano cztery próbki dla każdej wartości porowatości. Wyniki średniej przepuszczalności są podane poniżej w tabeli 5.
Wartości przepuszczalności są podane w jednostkach objętości powietrza na czas jednostkowy (Q, w cm3/s) na jednostkowe ciśnienie (P, cale słupa wody) i były zmierzone dla próbki mającej średnicę 37,5 mm (1,5 cala) i grubość 12,7 mm (0,5 cala). Jak oczekiwano, wartości przepuszczalności były niskie dla próbek nie mających w rzeczywistości żadnych popaczonych porów. Obserwowano znaczny wzrost przepuszczalności ze wzrostem porowatości. W szczególności, próbki mające więcej niż 50% połączonych ze sobą porów charakteryzowały się wartościami przepuszczalności większymi niż 0,2 cm3 na sekundę na cal słupa wody, gdy porowatość wzrastała powyżej około 50% objętościowych.
T a b e l a 5
Spoiwo metalowe % wagowych Sól kuchenna % wagowych Teoretyczna porowatość, % objętościowych Przepuszczalność, Q/P (cm3/cal H2O/0,5 cala)
100 0 0 0,030
91,85 8,15 25 0,034
84,7 15,3 40 0,085
74,55 25,45 55 0,287
65,0 35,0 65 0,338
58,99 41,01 70 0,562
43,02 56,98 80 n/a
P r z y k ł a d 7
Segmentowane tarcze ścierne, każda zawierająca szesnaście segmentów, zmontowano w sposób podobny do opisanego w powyższym przykładzie 1. Segmenty zawierały jednak spoiwo organiczne (jako przeciwieństwo do spoiwa metalowego w przykładzie 1) i były wytworzone jak opisano niżej.
Granulowany cukier (uzyskany z Shaw's, Inc., Worcester, MA) wstrząsano w 1-no galonowej puszce do farby przez 2 godziny przy użyciu wytrząsacza do farby (wykonanego przez Red Debil®, Inc., Union, NJ) w celu skruszenia ostrych naroży i krawędzi i efektywne „zaokrąglenie” cząstek cukru.
PL 204 390 B1
Granulowany cukier przesiano dla uzyskania rozkładu wielkości cząstek od około 250 do około 500 mikronów (to jest numer sita US -35/+60).
Proszkowe spoiwo żywicowe przesiano wstępnie przez sito o numerze US 200 w celu usunięcia aglomeratów. Drobny diamentowy proszek ścierny, o rozkładzie wielkości cząstek od około 3 do około 6 mikronów, uzyskany z Ample® Corporation (Olyphant, Pennsylvania) jako RB3/6 dodano do sproszkowanej żywicy i wymieszano do zasadniczej jednorodności. Mieszanina, zawierająca około 80% objętościowych żywicy i około 20% objętościowych ścierniwa, była przesiana trzy razy przez sito o numerze US 165 i następnie dodana do granulowanego cukru (przygotowanego jak opisano wyżej). Mieszaninę żywica/ścierniwo/cukier następnie zmieszano do zasadniczo jednorodności i przesiano dwukrotnie przez sito o numerze US 24.
Wytworzono trzy mieszaniny kompozytowe. Pierwsza mieszanina (stosowana do wytworzenia tarczy 7-A) zawierała około 4% objętościowych diamentowego ścierniwa, około 20% objętościowych spoiwa żywicowego 33-344 (żywica fenolowo-rezolowa zmodyfikowana bifenolem-A otrzymana z Durez® Corporation z Pallas, TX), i około 76% objętościowych granulowanego cukru. Druga mieszanina (stosowana do wytworzenia tarczy 7-B) zawierała około 6% objętościowych diamentowego ścierniwa, około 30% objętościowych spoiwa żywicowego 29-346 spoiwa żywicowego (fenolowo nowolakowa żywica o długim przepływie otrzymana z Durez® Corporation z Pallas, TX), i około 64% objętościowych granulowanego cukru. Trzecia mieszanina (stosowana do wytworzenia tarczy 7-C) zawierała około 6% objętościowych diamentowego ścierniwa, około 30% objętościowych spoiwa żywicowego 29-108 spoiwa żywicowego (rezol zmodyfikowany bifenolem-A otrzymany z Durez® Corporation z Pallas, TX), i około 64% objętościowych granulowanego cukru.
Mieszaniny żywica/ścierniwo/cukier odkuwano w stalowych formach w kształcie dysków, dogniatano i prasowano w temperaturze około 135°C pod ciśnieniem około 28 MPa (4100 funtów/cal2) przez około 30 minut dopóki nie osiągnie się matrycy o gęstości równej 98% gęstości teoretycznej. Po schłodzeniu dyski były lekko piaskowane papierem ściernym o ziarnie 180 w celu usunięcia powłoki z formowania i usuwano fazy dyspersyjnej cukru poprzez zanurzenie we wrzącej wodzie przez około 2 godziny. Po usunięciu cukru dyski suszono i wypalano dla dokończenia utwardzania żywicy. Cykl suszenia i wypalania był następujący. Dyski były najpierw podgrzewane do 60°C w czasie podgrzewania około 5 minut i utrzymywane w niej przez około 25 minut. Następnie dyski były podgrzewane do 90°C w czasie podgrzewania około 30 minut i utrzymywane w niej przez około 5 godzin. Po wypaleniu dyski chłodzono do temperatury pokojowej i dzielono na segmenty do zastosowania w montażu tarcz szlifierskich.
Trzy segmentowe tarcze wiązane organicznie były testowane pod względem wyników szlifowania wafli krzemowych. Warunki badania szlifowania były:
Warunki testu szlifowania:
Urządzenie: Opis tarczy:
Tarcza 7-B Tarcza 7-C Wielkość tarczy:
Strasbaugh Model 7AF
Trzpień zgrubny: Norton #3-R1B69
Trzpień dokładny:
Tarcza 7-A
Tryb szlifowania:
typ 2A2TSSA:
280x29x229 mm (11x1 1/8x9 cali) Podwójne szlifowanie: szlifowanie dokładne
Proces szlifowania dokładnego:
Prędkość tarczy: 4350 obr./min
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min).
zgrubne i następnie szlifowanie
Materiał obrabiany:
Wafle krzemowe, typu N o 100 orientacjach, średnica 150 mm (6 cali), wyjściowa grubość 0,66 mm (0,026 cala) (uzyskane z Silicon Quest, CA) etap 1: 10 nm, etap 2: 5 μm, etap 3: 5 μm, dociągnięcie: 2 μm etap 1: 1 nm/s, etap 2: 0,7 nm/s, etap 3: 0,5 nm/s, dociągnięcie: 0,5 nm/s 590 obr./min, stała
100 obrotów
Usunięty materiał:
Prędkość podawania:
Prędkość obróbki:
Przerwa:
Proces szlifowania zgrubnego: Prędkość tarczy: 3400 obr./min
PL 204 390 B1
Chłodziwo: Woda dejonizowana
Prędkość przepływu chłodziwa: 3 galony/min (11 litrów/min). Materiał obrabiany:
Usunięty materiał: Prędkość podawania: Prędkość obróbki: Przerwa:
Wafle krzemowe, typu N o 100 orientacjach, średnica 150 mm (6 cali), wyjściowa grubość 0,66 mm (0,026 cala) (uzyskane z Silicon Quest, CA) etap 1: 10 nm, etap 2: 5 μm, etap 3: 5 μm, dociągnięcie: 10 μm etap 1: 3 μm/s, etap 2: 2 nm/s, etap 3: 1 μm/s, dociągnięcie: 5 μm/s 590 obr./min, stała obrotów
Gdy narzędzia ścierne wymagały kształtowania i obciągania, warunki ustalone dla tego testu były następujące:
Operacja kształtowania i obciągania:
Tarcza gruba:
Prędkość tarczy: Przerwa:
Usunięty materiał: Prędkość podawania: Prędkość obróbki: Tarcza drobna:
Prędkość tarczy: Przerwa:
Usunięty materiał: Prędkość podawania: Prędkość obróbki:
zastosowanie grubej podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
1200 obr./min 25 obrotów etap 1: 190 μm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 20 μm etap 1: 5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 2 μm/s 50 obr./min, stała zastosowanie ekstra drobnej podkładki obciągającej Strasbaugh o średnicy 150 mm (6 cali)
1200 obr./min 25 obrotów etap 1: 150 μm, etap 2: 10 μm, dociągnięcie: 20 μm etap 1: 5 μm/s, etap 2: 0,2 μm/s, dociągnięcie: 2 μm/s 50 obr./min, stała.
Wyniki testu szlifowania z przykładu 7 są pokazane poniżej w tabeli 6. Dwieście wafli było obrobionych dokładnie przy użyciu porowatych tarcz spojonych żywicą według wynalazku (tarcze 7-A, 7-B i 7-C). Każda z tarcz według wynalazku wykazywała stosunkowo stabilną szczytową siłę normalną około 90N (to jest około 20 funtów) dla przynajmniej dwustu wafli. Ten typ rezultatów szlifowania jest wysoce pożądany przy wyrównywaniu wafli krzemowych, ponieważ ta stosunkowo niska siła i stabilne warunki minimalizują uszkodzenia termiczne i mechaniczne obrabianej części. Ponadto, porowata tarcza według wynalazku zapewniała wysoko pożądane powyżej opisane rezultaty szlifowania dla przynajmniej dwustu wafli krzemowych bez potrzeby obciągania tarczy.
Dodatkowo zaobserwowano, że typ z żywicą wpływa na szybkość zużycia tarczy ściernej. Tarcze 7-A i 7-C wykazują stosunkowo dużą szybkość zużycia rzędu odpowiednio 2,2 i 1,7 mikrona na wafel, zaś tarcza 7-B (zawierająca żywicę) wykazuje stosunkowo niską (i pożądaną) szybkość zużycia 0,5 mikrona na wafel.
Podsumowując, przykład 7 ukazuje, że tarcze według wynalazku zawierające spoiwo organiczne zapewniają bardzo pożądane rezultaty obróbki wafli krzemowych.
T a b e l a 6
Opis tarczy Szczytowa siła normalna (N) Prędkość zużycia (mikrony/wafel)
Tarcza 7-A (DZ 33-344) 90 2,2
Tarcza 7-B (IZ 29-346) 90 0,5
Tarcza 7-C (IZ 19-108) 90 1,7
Zastrzeżenia patentowe

Claims (38)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, składający się z kompozytu zawierającego wiele superściernych ziaren i matrycę spoiwa metalowego spieczone ze sobą, znamienny tym, że kompozyt zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 50 do 80% objętościowych i zawiera od
    PL 204 390 B1
    0,5 do 25% objętościowych ziarna ściernego i od około 19,5 do 49,5% materiału spoiwa, przy czym matryca spoiwa metalowego zawiera od około 35 do około 70% wagowych miedzi i od około 30 do około 65% wagowych cyny i od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu, zaś ziarna superścierniwa są dobrane z grupy zawierającej diament i sześcienny azotek boru i mają średni rozmiar cząstek mniejszy niż około 300 mikronów.
  2. 2. Wyrób ścierny według zastrz. 1, znamienny tym, że liczne połączone ze sobą pory mają średni rozmiar w zakresie od 25 mikronów do 500 mikronów.
  3. 3. Wyrób ścierny według zastrz. 1, znamienny tym, że liczne ziarna superścierne mają średni rozmiar cząstek od 0,5 mikronów do 75 mikronów.
  4. 4. Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, składający się z kompozytu zawierającego wiele superściernych ziaren i matrycę spoiwa niemetalowego spieczone ze sobą, znamienny tym, że kompozyt zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 40 do 80% objętościowych i zawiera od około 0,5 do 25% objętościowych ziarna ściernego oraz od 19,5 do 65% materiału niemetalowego spoiwa, przy czym ziarna superścierniwa są dobrane z grupy zawierającej diament i sześcienny azotek boru i mają średni rozmiar cząstek mniejszy niż około 300 mikronów.
  5. 5. Wyrób ścierny według zastrz. 4, znamienny tym, że liczne ziarna superścierne mają średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 75 mikronów.
  6. 6. Wyrób ścierny według zastrz. 4, znamienny tym, że niemetalowe spoiwo stanowi żywica fenolowa.
  7. 7. Tarcza szlifierska segmentowa, zawierająca rdzeń mający minimalną wytrzymałość właściwą 2,4 MPa*cm3/g, gęstość 0,5 do 0,8 g/cm3 i okrągłe obrzeże, wieniec ścierny zawierający wiele segmentów z wyrobu ściernego składającego się z kompozytu zawierającego wiele ziaren ściernych i matrycy spoiwa metalowego spieczonych ze sobą, znamienna tym, że kompozyt segmentów (10) zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 50 do 80% objętościowych, a pomiędzy rdzeniem (20) i każdym z wielu segmentów (10) jest umieszczone termicznie stabilne spoiwo.
  8. 8. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że spoiwo metalowe zawiera od 35 do 85% wagowych miedzi i od około 15 do 65% wagowych cyny.
  9. 9. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że spoiwo metalowe zawiera od 0,2 do 1,0% wagowych fosforu.
  10. 10. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że ziarno ścierne stanowi ziarno superścierne z grupy obejmującej diament i sześcienny azotek boru.
  11. 11. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że ziarno ścierne ma średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 300 mikronów.
  12. 12. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że liczne połączone ze sobą pory mają średni rozmiar w zakresie 25 mikronów do 500 mikronów.
  13. 13. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że każdy segment (10) ma przepuszczalność większą lub równa około 8 mm2 na sekundę na milimetr słupa wody.
  14. 14. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że termicznie stabilne spoiwo jest dobrane z grupy obejmującej spoiwo kleju epoksydowego, spoiwo metalurgiczne, spoiwo mechaniczne, spoiwo dyfuzyjne i ich kombinacje.
  15. 15. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 7, znamienna tym, że spoiwo metalowe zawiera od około 35 do około 85% wagowych miedzi i od około 15 do około 65% wagowych cyny i od około 0,2 do około 1,0% wagowych fosforu, a ziarno ścierne stanowi diament mający cząstki o wielkości od około 0,5 do około 300 mikronów, zaś połączone ze sobą pory mają średnią wielkość w zakresie od około 25 do około 500 mikronów.
  16. 16. Tarcza szlifierska segmentowa, zawierająca rdzeń mający minimalną wytrzymałość właściwą 2,4 MPa*cm3/g, gęstość 0,5 do 0,8 g/cm3 i okrągłe obrzeże, wieniec ścierny zawierający wiele segmentów z wyrobu ściernego składającego się z kompozytu zawierającego wiele ziaren ściernych i matrycy spoiwa niemetalowego spieczonych ze sobą, znamienna tym, że kompozyt segmentów (10) zawiera liczne połączone ze sobą pory w ilości od 40 do 80% objętościowych, a pomiędzy rdzeniem (20) i każdym z wielu segmentów (10) jest umieszczone termicznie stabilne spoiwo.
  17. 17. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 16, znamienna tym, że matrycę spoiwa niemetalowego stanowi matryca spoiwa organicznego.
  18. 18. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 17, znamienna tym, że matrycę spoiwa organicznego stanowi matryca żywicy fenolowej.
    PL 204 390 B1
  19. 19. Tarcza szlifierska segmentowa według zastrz. 16, znamienna tym, że matrycę spoiwa organicznego stanowi żywica fenolowa, ziarno ścierne stanowi diament mający średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 do 300 mikronów, termicznie stabilne spoiwo kleją ce stanowi epoksydowe spoiwo klejące.
  20. 20. Sposób wytwarzania wyrobu ściernego, w którym przygotowuje się mieszaninę przynajmniej ziaren ściernych i materiału spoiwa i kształtuje się wyrób z mieszaniny poprzez prasowanie do postaci kompozytu a następnie utwardzanie kompozytu, znamienny tym, że mieszaninę przygotowuje się z ziaren ś ciernych w iloś ci od 0,5 do 25% obję toś ciowych, materiał u spoiwa w iloś ci od 19,5 do 49,5% objętościowych oraz cząstek fazy dyspersyjnej w ilości od 50 do 80% objętościowych, a kompozyt ścierny ze sprasowanej mieszaniny obrabia się cieplnie, po czym zanurza się ten kompozyt w rozpuszczalniku przez czas odpowiedni do rozpuszczenia zasadniczo całej fazy dyspersyjnej, i doprowadza się do rozpuszczenia fazy dyspersyjnej w tym rozpuszczalniku przy pozostawieniu ziaren ściernych i materiału spoiwa nierozpuszczonymi w tym rozpuszczalniku, z utworzeniem wyrobu ściernego zawierającego co najmniej 50% objętościowych połączonych ze sobą porów.
  21. 21. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że prasowanie i obróbkę cieplną prowadzi się zasadniczo jednocześnie.
  22. 22. Sposób według zastrz. 21, znamienny tym, że mieszaninę prasuje się przez co najmniej pięć minut w temperaturze w zakresie od około 370 do 795°C pod ciśnieniem w zakresie od około 20 do około 33 MPa.
  23. 23. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że w mieszaninie stosuje się fazę dyspersyjną w zawartości procentowej cząstek w zakresie od 50% objętościowych do 70% objętościowych.
  24. 24. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że jako materiał spoiwa stosuje się spoiwo metalowe.
  25. 25. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że jako materiał spoiwa stosuje się spoiwo organiczne.
  26. 26. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że stosuje się ziarno ścierne o średnim rozmiarze cząstek w zakresie 0,5 mikronów do 75 mikronów.
  27. 27. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że jako fazę dyspersyjną stosuje się sól rozpuszczalną w wodzie.
  28. 28. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że stosuje się fazę dyspersyjną wybraną z grupy obejmującej cukier, dekstrynę, polioligomery sacharyny, chlorek sodu, chlorek potasu, chlorek magnezu, chlorek wapnia, krzemian sodu, metakrzemian sodu, fosforan potasu, krzemian potasu, węglan sodu, siarczan sodu, siarczan potasu, siarczan magnezu i ich mieszaniny.
  29. 29. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że stosuje się fazę dyspersyjną o rozmiarze cząstek w zakresie 25 mikronów do 500 mikronów.
  30. 30. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że jako rozpuszczalnik stosuje się wodę.
  31. 31. Sposób według zastrz. 20, znamienny tym, że wytwarza się wyrób ścierny mający przepuszczalność większą lub równą około 8 mm2 na sekundę na milimetr słupa wody.
  32. 32. Sposób wytwarzania wyrobu ściernego, w którym przygotowuje się mieszaninę przynajmniej ziaren ściernych i materiału spoiwa i kształtuje się wyrób z mieszaniny poprzez prasowanie do postaci kompozytu a następnie utwardzanie kompozytu, znamienny tym, że jako materiał spoiwa stosuje się materiał niemetalowy, a mieszaninę przygotowuje się z ziaren ściernych w ilości od 0,5 do 25% objętościowych, materiału spoiwa w ilości od 19,5 do 65% objętościowych i cząstek fazy dyspersyjnej w ilości od 40 do 80% objętościowych, a kompozyt ś cierny ze sprasowanej mieszaniny obrabia się cieplnie, po czym zanurza się ten kompozyt w rozpuszczalniku przez czas odpowiedni do rozpuszczenia zasadniczo całej fazy dyspersyjnej, i doprowadza się do rozpuszczenia fazy dyspersyjnej w tym rozpuszczalniku przy pozostawieniu ziaren ściernych i materiału spoiwa nierozpuszczonymi w tym rozpuszczalniku, z utworzeniem wyrobu ściernego zawierającego od 40 do 80% objętościowych połączonych ze sobą porów.
  33. 33. Sposób według zastrz. 32, znamienny tym, że jako niemetalowy materiał spoiwa stosuje się materiał spoiwa organicznego.
  34. 34. Sposób według zastrz. 33, znamienny tym, że jako materiał spoiwa organicznego stosuje się żywicę wybraną z grupy obejmującej żywice fenolowe, żywice epoksydowe, nienasycone żywice poliestrowe, żywice dwumelamidowe, i ich mieszaniny.
  35. 35. Sposób według zastrz. 32, znamienny tym, że jako ziarno ścierne stosuje się diament mający średni rozmiar cząstek w zakresie od 0,5 mikronów do 300 mikronów.
    PL 204 390 B1
  36. 36. Sposób według zastrz. 32, znamienny tym, że jako cząstki fazy dyspersyjnej stosuje się zasadniczo cząstki niejonowe.
  37. 37. Sposób według zastrz. 32, znamienny tym, że jako cząstki fazy dyspersyjnej stosuje się cukier.
  38. 38. Sposób według zastrz. 32, znamienny tym, że obróbkę cieplną prowadzi się po zanurzaniu i obejmuje ona wypalanie przez co najmniej jedną godzinę w temperaturze w zakresie od około 100 do około 200°C.
PL374507A 2001-11-21 2002-11-14 Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, tarcza szlifierska segmentowa i sposób wytwarzania wyrobu ściernego PL204390B1 (pl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/990,647 US6685755B2 (en) 2001-11-21 2001-11-21 Porous abrasive tool and method for making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL374507A1 PL374507A1 (pl) 2005-10-31
PL204390B1 true PL204390B1 (pl) 2010-01-29

Family

ID=25536373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL374507A PL204390B1 (pl) 2001-11-21 2002-11-14 Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, tarcza szlifierska segmentowa i sposób wytwarzania wyrobu ściernego

Country Status (31)

Country Link
US (2) US6685755B2 (pl)
JP (2) JP2005525242A (pl)
KR (1) KR100623900B1 (pl)
CN (1) CN100522487C (pl)
AR (1) AR037580A1 (pl)
AT (1) AT501411B1 (pl)
AU (1) AU2002360393B2 (pl)
BE (1) BE1015215A3 (pl)
BR (1) BR0214307B1 (pl)
CA (1) CA2463137C (pl)
CH (1) CH697479B1 (pl)
CZ (1) CZ2004633A3 (pl)
DE (1) DE10297449B4 (pl)
ES (1) ES2254032B2 (pl)
FI (1) FI20040684A7 (pl)
FR (1) FR2832339B1 (pl)
GB (2) GB2398076B (pl)
HU (1) HU228257B1 (pl)
IT (1) ITMI20022431A1 (pl)
LU (1) LU91078B1 (pl)
MX (1) MXPA04004810A (pl)
MY (1) MY129222A (pl)
NL (1) NL1021962C2 (pl)
NO (1) NO20042571L (pl)
NZ (1) NZ532338A (pl)
PL (1) PL204390B1 (pl)
SE (1) SE528186C2 (pl)
SK (1) SK2202004A3 (pl)
TW (1) TWI227183B (pl)
WO (1) WO2003045634A1 (pl)
ZA (1) ZA200403558B (pl)

Families Citing this family (124)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6813690B1 (en) * 2001-06-12 2004-11-02 Network Appliance, Inc. Caching media data using content-sensitive identifiers
JP3816014B2 (ja) * 2002-03-05 2006-08-30 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 円筒研削型砥石車
US20030217869A1 (en) * 2002-05-21 2003-11-27 Snyder Shelly Rosemarie Polycrystalline diamond cutters with enhanced impact resistance
US7131903B2 (en) * 2002-07-30 2006-11-07 Cinetic Landis Grinding Corp. Segmented superabrasive grinding device
US20050210756A1 (en) * 2004-03-25 2005-09-29 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Coated abrasive products and processes for forming same
JP4571821B2 (ja) * 2004-05-19 2010-10-27 株式会社ディスコ 電着砥石の製造方法
KR100616409B1 (ko) * 2004-08-30 2006-08-29 신현대다이아테크 주식회사 Ｐｖａ 연마지석 및 연마공구
JP2006294099A (ja) * 2005-04-07 2006-10-26 Asahi Glass Co Ltd 磁気記録媒体用ガラス基板の周面研磨装置及び製造方法
JP2006326811A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Asahi Diamond Industrial Co Ltd メタルボンド砥石の製造方法
US7883398B2 (en) * 2005-08-11 2011-02-08 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive tool
US20070105483A1 (en) * 2005-11-04 2007-05-10 Honeywell International Inc. Methods and apparatus for discrete mirror processing
US20070117497A1 (en) * 2005-11-22 2007-05-24 Cabot Microelectronics Corporation Friction reducing aid for CMP
US8740670B2 (en) 2006-12-28 2014-06-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Sapphire substrates and methods of making same
KR20160137681A (ko) * 2006-12-28 2016-11-30 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 사파이어 기판
CA2673660C (en) * 2006-12-28 2012-07-24 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Sapphire substrates and methods of making same
EP2094439A2 (en) * 2006-12-28 2009-09-02 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Sapphire substrates and methods of making same
US8894731B2 (en) * 2007-10-01 2014-11-25 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive processing of hard and /or brittle materials
MY161538A (en) * 2007-12-12 2017-04-28 Saint Gobain Abrasives Inc Multifunction abrasive tool with hybrid bond
US8357028B2 (en) 2008-06-13 2013-01-22 Saint-Gobain Abrasive, Inc. Self-bonded foamed abrasive articles and machining with such articles
US8216326B2 (en) * 2008-06-23 2012-07-10 Saint-Gobain Abrasives, Inc. High porosity vitrified superabrasive products and method of preparation
US8882868B2 (en) * 2008-07-02 2014-11-11 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive slicing tool for electronics industry
BRPI0918896B1 (pt) 2008-08-08 2019-06-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Ferramentas abrasivas tendo uma fase metálica contínua para a ligação de um componente abrasivos a um transportador
US8628385B2 (en) * 2008-12-15 2014-01-14 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of use
CN103878706A (zh) 2008-12-30 2014-06-25 圣戈班磨料磨具有限公司 生产粘结的磨轮的方法
US9097067B2 (en) * 2009-02-12 2015-08-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive tip for abrasive tool and method for forming and replacing thereof
AT507931B1 (de) * 2009-02-27 2011-01-15 Swarovski Tyrolit Schleif Schleifwerkzeug
CA2762278A1 (en) * 2009-05-19 2010-11-25 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method and apparatus for roll grinding
JP5541657B2 (ja) * 2009-07-01 2014-07-09 株式会社ディスコ 目立てボード
US8808413B2 (en) * 2009-08-03 2014-08-19 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive tool having controlled porosity distribution
WO2011017358A2 (en) * 2009-08-03 2011-02-10 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive tool having a particular porosity variation
KR101659078B1 (ko) * 2009-09-02 2016-09-22 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 절삭 휠용 조성물 및 이를 이용한 절삭 휠
CN102648072A (zh) 2009-10-27 2012-08-22 圣戈班磨料磨具有限公司 树脂粘结的磨料
JP5635112B2 (ja) * 2009-10-27 2014-12-03 サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド ガラス質ボンド砥粒
SG181522A1 (en) * 2009-12-11 2012-07-30 Saint Gobain Abrasives Inc Abrasive article for use with a grinding wheel
WO2011082377A2 (en) 2009-12-31 2011-07-07 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article incorporating an infiltrated abrasive segment
US9011206B2 (en) * 2010-01-13 2015-04-21 A.L.M.T. Corp. Super abrasive wheel with dispensing capability, method of manufacturing wafer using the same, and wafer
PL2593274T3 (pl) 2010-07-12 2017-09-29 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Artykuł ścierny do kształtowania materiałów przemysłowych
TWI454342B (zh) * 2010-08-16 2014-10-01 Saint Gobain Abrasives Inc 用於對超級磨料工件進行磨削之磨料物品
TWI453089B (zh) * 2010-08-16 2014-09-21 Saint Gobain Abrasives Inc 對包含超級磨料材料的工件進行磨削之方法
TWI613285B (zh) 2010-09-03 2018-02-01 聖高拜磨料有限公司 粘結的磨料物品及形成方法
TW201223699A (en) * 2010-09-03 2012-06-16 Saint Gobain Abrasives Inc Bonded abrasive articles, method of forming such articles, and grinding performance of such articles
US20120174493A1 (en) * 2010-12-28 2012-07-12 Saint-Gobain Abrasifs Robust binder bonded grinding wheel
RU2012154837A (ru) 2010-12-30 2015-02-10 Сэнт-Гобэн Эбрейзивс, Инк. Абразивный круг с утопленным центром и способ его изготовления
PL2658680T3 (pl) 2010-12-31 2021-05-31 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Wyroby ścierne zawierające cząstki ścierne o określonych kształtach i sposoby formowania takich wyrobów
US20140057534A1 (en) * 2011-04-18 2014-02-27 3M Innovative Properties Company Resin bonded grinding wheel
CN103702800B (zh) 2011-06-30 2017-11-10 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括氮化硅磨粒的磨料制品
WO2013003831A2 (en) 2011-06-30 2013-01-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles
TW201300199A (zh) 2011-06-30 2013-01-01 Saint Gobain Abrasives Inc 磨料物品及製造方法
JP5802336B2 (ja) 2011-09-26 2015-10-28 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド 研磨粒子材料を含む研磨製品、研磨粒子材料を使用する研磨布紙および形成方法
CN104114327B (zh) 2011-12-30 2018-06-05 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 复合成型研磨颗粒及其形成方法
US9266220B2 (en) 2011-12-30 2016-02-23 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and method of forming same
BR112014016159A8 (pt) 2011-12-30 2017-07-04 Saint Gobain Ceramics formação de partículas abrasivas moldadas
CN109054745A (zh) 2011-12-30 2018-12-21 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 成形磨粒及其形成方法
WO2013106602A1 (en) 2012-01-10 2013-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CA3056658C (en) 2012-01-10 2023-07-04 Doruk O. Yener Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same
US9242346B2 (en) 2012-03-30 2016-01-26 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products having fibrillated fibers
CN110013795A (zh) 2012-05-23 2019-07-16 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 成形磨粒及其形成方法
BR112014032152B1 (pt) 2012-06-29 2022-09-20 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc Partículas abrasivas tendo formatos particulares e artigos abrasivos
US9440332B2 (en) 2012-10-15 2016-09-13 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CN103111948A (zh) * 2012-12-14 2013-05-22 姜堰苏蒙砂轮有限公司 硬度可调的磨轧辊消振砂轮
US9278431B2 (en) 2012-12-31 2016-03-08 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of grinding
US9102039B2 (en) 2012-12-31 2015-08-11 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of grinding
WO2014106157A1 (en) 2012-12-31 2014-07-03 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of grinding
WO2014106173A1 (en) 2012-12-31 2014-07-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Particulate materials and methods of forming same
WO2014161001A1 (en) 2013-03-29 2014-10-02 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
US9833877B2 (en) 2013-03-31 2017-12-05 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of grinding
TW201502263A (zh) 2013-06-28 2015-01-16 Saint Gobain Ceramics 包含成形研磨粒子之研磨物品
WO2015006221A1 (en) * 2013-07-08 2015-01-15 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method for forming a workpiece
CA3114978A1 (en) 2013-09-30 2015-04-02 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and methods of forming same
EP3089851B1 (en) 2013-12-31 2019-02-06 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
TWI602658B (zh) 2013-12-31 2017-10-21 聖高拜磨料有限公司 研磨物件以及形成方法
US9771507B2 (en) 2014-01-31 2017-09-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same
US10557067B2 (en) 2014-04-14 2020-02-11 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9803119B2 (en) 2014-04-14 2017-10-31 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
CN110421493A (zh) * 2014-05-29 2019-11-08 圣戈班磨料磨具有限公司 具有包含聚合物材料的芯的磨料制品
US9902045B2 (en) 2014-05-30 2018-02-27 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles
CN104400671A (zh) * 2014-10-23 2015-03-11 秦科 一种高光磨削磨具及其制造方法
WO2016081302A1 (en) * 2014-11-21 2016-05-26 3M Innovative Properties Company Bonded abrasive articles and methods of manufacture
US9707529B2 (en) 2014-12-23 2017-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
US9914864B2 (en) 2014-12-23 2018-03-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and method of forming same
US9676981B2 (en) 2014-12-24 2017-06-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle fractions and method of forming same
CN104625987B (zh) * 2015-02-06 2018-05-29 贵阳高新恒至磨料磨具厂 一种抛光轮的生产配方方法
EP3277459B1 (en) 2015-03-31 2023-08-16 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
TWI634200B (zh) 2015-03-31 2018-09-01 聖高拜磨料有限公司 固定磨料物品及其形成方法
CH710934A1 (de) * 2015-04-01 2016-10-14 Reishauer Ag Offenporiges, keramisch gebundenes Schleifwerkzeug, Verfahren zu seiner Herstellung sowie für seine Herstellung verwendete Porenbildnermischungen.
CA3118262C (en) 2015-06-11 2023-09-19 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
CN118372187A (zh) 2016-05-10 2024-07-23 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料颗粒及其形成方法
KR102422875B1 (ko) 2016-05-10 2022-07-21 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 연마 입자들 및 그 형성 방법
US10391612B2 (en) * 2016-06-06 2019-08-27 Zhengzhou Research Institute For Abrasives & Grind Additive composition and composition binding agent for superhard material and preparation thereof, and self-sharpening diamond grinding wheel and preparation thereof
WO2018064642A1 (en) 2016-09-29 2018-04-05 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
WO2018093656A1 (en) * 2016-11-18 2018-05-24 3M Innovative Properties Company Metal hybrid grinding wheel with coated filler particles
CN108237484A (zh) * 2016-12-26 2018-07-03 圣戈班磨料磨具有限公司 形成研磨制品的方法
US10759024B2 (en) 2017-01-31 2020-09-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10563105B2 (en) 2017-01-31 2020-02-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
CN110770318A (zh) * 2017-06-19 2020-02-07 圣戈班磨料磨具有限公司 磨料制品及其形成方法
WO2018236989A1 (en) 2017-06-21 2018-12-27 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Particulate materials and methods of forming same
US10518387B2 (en) * 2017-07-18 2019-12-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Grinding element, grinding wheel and manufacturing method of semiconductor package using the same
IT201700085373A1 (it) * 2017-07-26 2019-01-26 Dellas S P A Procedimento per l’ottenimento di un utensile diamantato
CN107398836B (zh) * 2017-07-27 2019-08-16 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 一种结合剂、半导体封装加工用超薄砂轮及其制备方法
CN107446306A (zh) * 2017-08-09 2017-12-08 安徽昌悌进出口贸易有限公司 一种树脂基耐高温砂轮材料及其制备方法
US12319570B2 (en) * 2017-10-02 2025-06-03 Cellmo Materials Innovation, Inc. Method of making aluminum nitride foam
IT201700110864A1 (it) * 2017-10-04 2019-04-04 Saidtools Srl Utensile per affilatura
CN108453619B (zh) * 2017-12-30 2020-02-21 苏州赛尔科技有限公司 蓝宝石衬底用减薄砂轮
US20220048161A1 (en) * 2019-02-01 2022-02-17 Noritake Co., Limited Metal bond grindstone for hard and brittle material
CN110405649B (zh) * 2019-08-05 2020-08-04 衢州学院 一种添加具有耐水涂层可溶填料的溶胶凝胶抛光丸片及其制备方法
CN110883705A (zh) * 2019-12-11 2020-03-17 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 一种可导电的树脂结合剂砂轮及其制备工艺
CN114846112A (zh) 2019-12-27 2022-08-02 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料制品及其形成方法
CN114867582B (zh) 2019-12-27 2024-10-18 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料制品及其形成方法
WO2021133888A1 (en) 2019-12-27 2021-07-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive articles and methods of forming same
WO2022006201A1 (en) * 2020-06-30 2022-01-06 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Grinding ring with improved swarf extraction
US11667009B2 (en) * 2020-07-10 2023-06-06 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Bonded abrasive article and method of making the same
CN112454014B (zh) * 2020-10-29 2022-10-11 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种红外透明陶瓷晶粒尺寸的测量方法
US12397396B2 (en) * 2020-11-10 2025-08-26 Noritake Co., Limited Method for manufacturing porous metal bonded grindstone, and method for manufacturing porous metal bonded wheel
CN113146487B (zh) * 2021-01-21 2023-07-14 郑州伯利森新材料科技有限公司 一种单晶硅片精密磨削用砂轮及其制备方法
CN112873068A (zh) * 2021-01-28 2021-06-01 临颍德卡特新材料有限公司 一种高速金刚石滚轮及其制造方法
JP7716734B2 (ja) * 2021-02-25 2025-08-01 山形県 ポーラスメタルボンド砥石及びその製造方法
JP2023080665A (ja) * 2021-11-30 2023-06-09 旭ダイヤモンド工業株式会社 メタルボンド砥石
AU2022426850B2 (en) 2021-12-30 2025-09-18 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and methods of forming same
EP4457054A1 (en) 2021-12-30 2024-11-06 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and methods of forming same
CN114750081B (zh) * 2022-04-06 2024-04-02 郑州跃川超硬材料有限公司 一种自带气孔的陶瓷结合剂及其制备方法
JP7258385B1 (ja) 2022-07-19 2023-04-17 株式会社東京ダイヤモンド工具製作所 合成砥石、合成砥石アセンブリ、及び、合成砥石の製造方法
TWI877659B (zh) * 2022-07-19 2025-03-21 日商東京鑽石工具製作所股份有限公司 合成磨石、合成磨石組合件、及合成磨石的製造方法
CN115674473B (zh) * 2022-11-29 2024-09-27 苏州赛尔科技有限公司 一种碲化铋制冷片切割用金属烧结超薄切割刀
CN117020972A (zh) * 2023-08-28 2023-11-10 广东省科学院新材料研究所 多孔金属基金刚石工具及其制备方法

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE609989C (de) * 1931-09-08 1935-03-04 Degussa Umlaufender Schleifkoerper
GB1010506A (en) * 1960-11-30 1965-11-17 Carborundum Co Improvements in abrasive products
BE759502A (fr) 1969-11-28 1971-05-27 Bmi Lab Outil abrasif, en particulier meule de rectification, et son procede defabrication
US4010583A (en) * 1974-05-28 1977-03-08 Engelhard Minerals & Chemicals Corporation Fixed-super-abrasive tool and method of manufacture thereof
SE7803079L (sv) 1978-03-16 1979-09-17 Lindstroem O Framstellning av slipmedelspartiklar
US4912344A (en) 1983-03-16 1990-03-27 Fairchild Camera And Instrument Corporation TTL output stage having auxiliary drive to pull-down transistor
JPS59182064A (ja) * 1983-03-29 1984-10-16 Agency Of Ind Science & Technol 連続多気孔メタルボンド砥石及びその製造方法
JPS60118469A (ja) * 1983-11-30 1985-06-25 Disco Abrasive Sys Ltd メタルボンド砥石の製造方法
SU1227441A1 (ru) 1985-01-07 1986-04-30 Предприятие П/Я Р-6670 Масса дл изготовлени алмазного инструмента
JPH03161273A (ja) 1989-08-09 1991-07-11 Noritake Co Ltd 高速度工具鋼製圧延ロール研削用多孔性砥石
JPH03190670A (ja) 1989-12-18 1991-08-20 Fsk Corp 有気孔性超砥粒砥石
JP2696776B2 (ja) * 1990-02-28 1998-01-14 鐘紡株式会社 合成砥石およびその製造方法
JPH0716880B2 (ja) 1990-03-09 1995-03-01 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 巨大気孔を備えた多孔性砥石
JP3190670B2 (ja) 1990-11-08 2001-07-23 セイコーエプソン株式会社 ページモードプリンタ及びその印字方法
US5221294A (en) 1991-05-22 1993-06-22 Norton Company Process of producing self-bonded ceramic abrasive wheels
US5203886A (en) * 1991-08-12 1993-04-20 Norton Company High porosity vitrified bonded grinding wheels
JPH06262529A (ja) * 1993-03-05 1994-09-20 Seiichiro Ichikawa 石材研磨用ダイヤモンド砥石
US5429648A (en) 1993-09-23 1995-07-04 Norton Company Process for inducing porosity in an abrasive article
JP3281174B2 (ja) 1994-04-07 2002-05-13 松下電器産業株式会社 液晶表示デバイスおよびその欠陥救済確認の検査方法
JP3161273B2 (ja) 1995-03-14 2001-04-25 松下電器産業株式会社 燃焼制御装置
US5658360A (en) 1995-08-02 1997-08-19 Norton Company Compression molding of abrasive articles using water as a temporary binder
JPH09103965A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Alps Electric Co Ltd 多孔質超砥粒砥石とその製造方法
JPH09254041A (ja) * 1996-03-26 1997-09-30 Kanebo Ltd 合成砥石及びその製造法
US5738697A (en) * 1996-07-26 1998-04-14 Norton Company High permeability grinding wheels
US5738696A (en) 1996-07-26 1998-04-14 Norton Company Method for making high permeability grinding wheels
US5891206A (en) * 1997-05-08 1999-04-06 Norton Company Sintered abrasive tools
JPH1177975A (ja) * 1997-09-11 1999-03-23 Toshiba Mach Co Ltd 印刷機におけるインキ移しローラの駆動装置
US6074278A (en) * 1998-01-30 2000-06-13 Norton Company High speed grinding wheel
US6019668A (en) * 1998-03-27 2000-02-01 Norton Company Method for grinding precision components
US6102789A (en) * 1998-03-27 2000-08-15 Norton Company Abrasive tools
US6251149B1 (en) 1998-05-08 2001-06-26 Norton Company Abrasive grinding tools with hydrated and nonhalogenated inorganic grinding aids
US6394888B1 (en) 1999-05-28 2002-05-28 Saint-Gobain Abrasive Technology Company Abrasive tools for grinding electronic components

Also Published As

Publication number Publication date
CA2463137A1 (en) 2003-06-05
SE528186C2 (sv) 2006-09-19
AU2002360393B2 (en) 2006-04-13
GB0413881D0 (en) 2004-07-21
AT501411A1 (de) 2006-08-15
NO20042571L (no) 2004-06-18
DE10297449T5 (de) 2005-01-27
NZ532338A (en) 2009-08-28
BE1015215A3 (fr) 2004-11-09
NL1021962C2 (nl) 2003-12-02
MXPA04004810A (es) 2004-08-11
TW200300378A (en) 2003-06-01
US20030232586A1 (en) 2003-12-18
GB2421508B (en) 2006-08-16
GB2398076A (en) 2004-08-11
ES2254032A1 (es) 2006-06-01
FR2832339B1 (fr) 2006-01-13
AT501411B1 (de) 2007-09-15
GB2398076B (en) 2006-06-28
JP2005525242A (ja) 2005-08-25
IE20020855A1 (en) 2003-06-11
SE0401295D0 (sv) 2004-05-21
CA2463137C (en) 2007-09-25
BR0214307B1 (pt) 2011-09-06
MY129222A (en) 2007-03-30
DE10297449B4 (de) 2009-01-29
GB0602182D0 (en) 2006-03-15
LU91078B1 (en) 2004-05-19
US20030097800A1 (en) 2003-05-29
SE0401295L (sv) 2004-05-21
JP2008030194A (ja) 2008-02-14
KR20040053336A (ko) 2004-06-23
ZA200403558B (en) 2005-03-09
WO2003045634A1 (en) 2003-06-05
IE20060634A1 (en) 2006-12-29
ES2254032B2 (es) 2007-10-16
HUP0600059A2 (en) 2006-06-28
TWI227183B (en) 2005-02-01
CH697479B1 (de) 2008-11-14
CZ2004633A3 (cs) 2004-08-18
KR100623900B1 (ko) 2006-09-19
CN100522487C (zh) 2009-08-05
US6685755B2 (en) 2004-02-03
US6755729B2 (en) 2004-06-29
SK2202004A3 (en) 2004-10-05
NL1021962A1 (nl) 2003-05-27
BR0214307A (pt) 2004-10-26
PL374507A1 (pl) 2005-10-31
HK1071869A1 (zh) 2005-08-05
AR037580A1 (es) 2004-11-17
FI20040684L (fi) 2004-05-14
AU2002360393A1 (en) 2003-06-10
FI20040684A7 (fi) 2004-05-14
HU228257B1 (hu) 2013-02-28
ITMI20022431A1 (it) 2003-05-22
FR2832339A1 (fr) 2003-05-23
GB2421508A (en) 2006-06-28
CN1589189A (zh) 2005-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PL204390B1 (pl) Wyrób ścierny na segmentową tarczę szlifierską, tarcza szlifierska segmentowa i sposób wytwarzania wyrobu ściernego
EP2219824B1 (en) Abrasive processing of hard and/or brittle materials
JP2006346857A (ja) 研磨工具
HK1071869B (en) Porous abrasive tool and method for making the same
JPS62246474A (ja) 鏡面仕上げ用超砥粒砥石の製造法
JP2002220583A (ja) 工具用砥粒
IE84508B1 (en) Porous abrasive tool and method for making the same
IE84509B1 (en) Porous abrasive segments and tools incorporating the same