NL1011157C2

NL1011157C2 - Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop.

Info

Publication number: NL1011157C2
Application number: NL1011157A
Authority: NL
Inventors: Il Kim
Original assignee: Samsung Electro Mech
Priority date: 1998-07-22
Filing date: 1999-01-27
Publication date: 2000-08-22
Also published as: DE19859914A1; GB2339724A; CN1105020C; CN1242300A; JP3037672B2; GB9902053D0; JP2000037877A; GB2339724B; NL1011157A1

Description

Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktj etprinterkop ACHTERGROND VAN DE UITVINDING Gebied van de uitvinding

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, en meer in het bijzonder op een werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprin-5 terkop, waarin een anti-oxydatie film wordt gevormd over een trilplaat die integraal is gevormd met een kamerplaat, teneinde te voorkomen dat de trilplaat varieert in fysische eigenschappen en vorm tijdens een bewerkingsstap voor het af-zetten van oxide-piëzo-elektrische elementen onder gebruik-10 making van een sinteringsproces.

Beschrijving van de bekende techniek

Zoals alom bekend is, is een inktjetprinterkop een deel van een inktjetprinter voor het uitspuiten of schieten van inkt in de vorm van druppels onder gebruikmaking van een 15 aandrijver ("actuator") zoals een piëzo-elektrisch element.

Een trilplaat is operatief verbonden met een dergelijke aandrijver die is opgebouwd uit een piëzo-elektrisch element op een dergelijke wijze dat het wordt gebogen wanneer het piëzo-elektrische element wordt vervormd te wijten aan 20 een elektrische kracht die erop wordt aangebracht, waardoor inkt naar buiten wordt afgevoerd vanuit een oplossingskamer.

In het algemeen worden oxide-piëzo-elektrische elementen in hoofdzaak gebruikt als piëzo-elektrische elementen voor printerkopaandrijvers.

25 In dergelijke printerkopaandrijvers wordt een oxide- piëzo-elektrisch element dat wordt gebruikt zodanig geconfigureerd dat deze longitudinale expansie en contractie ervan genereert wanneer een spanning intermitterend erop wordt aangebracht, zodat een trilplaat die aan het onderoppervlak van 30 het oxide-piëzo-elektrisch element is bevestigd wordt gebogen, waardoor wordt veroorzaakt dat inkt die is opgenomen in een kamerplaat naar buiten wordt afgevoerd. Aldus wordt een 1011157 2 bedrukking verkregen.

Fig. 11 licht de structuur toe van een algemene inktjetprinterkop die algemeen wordt gebruikt.

Onder verwijzing naar fig. 11 omvat de inktjetprin-5 terkop een mondstukplaat 100, een reservoir 200, een kanaal-plaat 300, een restrictorplaat 400, een kamerplaat 500, en een trilplaat 600. De mondstukplaat 100, reservoir 200, ka-naalplaat 300, restrictorplaat 400 en kamerplaat 500 hebben een mondstuk 110, een reservoir 210, een oplossingskanaal 10 310, een restrictor 410 en een oplossingskamer 510, die res pectievelijk verschillende omvangen en vormen hebben. Oplos-singspasseringen 220, 320 en 420 met dezelfde diameter worden ook gevormd door het respectievelijke reservoir 200, kanaal-plaat 300 en restrictorplaat 400. Gelamineerd op de trilplaat 15 600 zijn een lagere elektrode 700, een oxide-piëzo-elektrisch element 800 en een bovenelektrode 900.

De trilplaat 600 is vervaardigd uit keramiek zoals zirkonia (Zr02) . De trilplaat 600 wordt gevormd door het vormen van een groene plaat onder gebruikmaking van een kera-20 misch materiaal, en vervolgens het sinteren van de groene plaat bij een hoge temperatuur bijvoorbeeld 1.500°C.

De onderelektrode 700 en oxide-piëzo-elektrisch element 800 worden achtereenvolgens gelamineerd op de trilplaat 600. In het bijzonder wordt het lamineren van het oxide-25 piëzo-elektrisch element 800 verkregen onder gebruikmaking van een alom bekend zeefdrukproces. Het gelamineerde oxide-piëzo-elektrisch element 800 wordt vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 1.100°C.

Keramiek, die wordt gebruikt om de trilplaat 600 te 30 vormen, vertoont een slecht bewerkbaarheid in een volledig gesinterde toestand. Om deze reden is het onmogelijk om een micro-structuur te vormen onder gebruikmaking van een dergelijk keramisch materiaal. Bovendien kan een structuur die uit een dergelijk keramisch materiaal is gevormd, worden vervormd 35 tijdens een bewerkingsstap voor het verschaffen van fysische eigenschappen verbonden met keramiek aan de structuur onder gebruikmaking van een sinteringsproces bij hoge temperatuur.

Als gevolg is het moeilijk om een structuur te vervaardigen met micro-afmetingen onder gebruikmaking van kera- 10111 57 i 3 miek. Wanneer de trilplaat 600 in hoofdzaak is vervaardigd uit een dergelijk keramisch materiaal, vertoont het slechte mechanische eigenschappen. In dit geval kan een hoge bros-heidsbreukeigenschap worden vertoond.

5 Hoewel de sinteringstemperatuur van het piëzo-elek- trisch element 800 gelamineerd op de trilplaat 600 lager is dan die van de trilplaat 600, is deze zeer hoog. D.w.z. circa 1.100°C. Om deze reden kan er een serieus probleem zijn in het feit dat de trilplaat 600, die reeds is gesinterd, kan 10 variëren in fysische eigenschappen tijdens de bewerkingsstap voor het sinteren van de het piëzo-elektrisch element 800.

SAMENVATTING VAN DE UITVINDING

Zodoende is het een doel van de uitvinding om een werkwijze te verschaffen voor het vervaardigen van een aan-15 drijver van een inktjetprinterkop, waarbij een trilplaat wordt opgebouwd uit een dunne metaalplaat en gelamineerd met een anti-oxydatie laag, zodat de fysische eigenschappen en vorm ervan nog steeds worden behouden in een thermisch proces dat wordt uitgevoerd bij een hoge temperatuur, waardoor een 20 verbetering wordt verkregen in de betrouwbaarheid verbonden met de prestatie.

Een ander doel van de uitvinding is om een werkwijze te verschaffen voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop die in staat is om te voorkomen dat de 25 aandrijver wordt geërodeerd tijdens contact met inkt, waardoor een verbetering in duurzaamheid wordt verkregen.

Volgens de onderhavige uitvinding worden deze doelen bereikt door het verschaffen van een werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, welke 30 werkwijze de stappen omvat van het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze dat deze integraal met een kamerplaat is, het vormen van een anti-oxydatie film van een gewenste dikte over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en trilplaat, en het navolgend lamineren van een piëzo-elek-35 trisch element en een bovenèlektrode op de trilplaat gevormd met de anti-oxydatie film. Wanneer de kamerplaat geen oplos-singskamer heeft, wordt de vorming van een oplossingskamer in de kamerplaat uitgevoerd onder gebruikmaking van een etspro- 1011157 4 ces na het lamineren van de bovenelektrode. Aldus wordt een gewenste printerkop vervaardigd.

De vorming van de anti-oxydatie film kan op verschillende wijzen worden uitgevoerd afhankelijk van de mate-5 rialen van de kamerplaat en de trilplaat en de gebruikte oxy-datiemethode.

Wanneer de anti-oxydatie film wordt gevormd over de kamerplaat en trilplaat, is het mogelijk om direct het piëzo-elektrische element te lamineren, hetgeen een sinteringspro-10 ces bij hoge temperatuur voor de laminering ervan vereist, op de trilplaat. Tijdens het sinteren van het piëzo-elektrische element behoudt de trilplaat nog steeds de fysische eigenschappen ervan vanwege de anti-oxydatie film. Dienovereenkomstig is het mogelijk om de betrouwbaarheid van de kopvervaar-15 diging en de verkregen produkten verder te verbeteren.

KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN

Andere doelen en aspecten van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende beschrijving van de uitvoeringsvormen met verwijzing naar de bijgaande tekeningen waar-20 in:

Fig. 1 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding; 25 Fig. 2 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een tweede uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Fig. 3 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen 30 van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een derde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Fig. 4 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstem-35 ming met een vierde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding ;

Fig. 5 navolgende bewerkingsstappen illustreert voor het vormen van een oplossingskamer in overeenstemming met de 1011157 5 vierde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Fig. 6 een werkwijze illustreert voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een vijfde uitvoeringsvorm van de onderhavige 5 uitvinding;

Fig. 7 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een zesde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding; 10 Fig. 8 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een zevende uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Fig. 9 een werkwijze toelicht voor het vervaardigen 15 van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een achtste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Fign. 10A tot IOC grafieken zijn, die respectievelijk een variatie weergeven in samenstellingsverhouding ver-20 toond tussen een nikkelsubstraat en een chroomlaag gevormd op het nikkelsubstraat voor en na de vorming van een anti-oxyda-tie film in overeenstemming met de onderhavige uitvinding, afhankelijk van de diepte van het nikkelsubstraat; en

Fig. 11 is een dwarsdoorsnede-aanzicht dat de struc-25 tuur van een algemene inktjetprinterkop toelicht.

BESCHRIJVING VAN DE VOORKEURSUITVOERINGSVORMEN

Fig. 1 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uit-30 vinding. Volgens het bovenste aanzicht van fig. 1 wordt een trilplaat 20 getoond die integraal is gevormd met een kamer-plaat 10 voorzien van een oplossingskamer 11.

Een enkel lichaam kan worden vervaardigd om de ka-merplaat 10 en trilplaat 20 integraal met elkaar te vormen.

35 In dit geval is de oplossingskamer 11 navolgend gevormd in het gedeelte van het lichaam dat overeenkomt met de kamer-plaat 10. In plaats daarvan kunnen de kamerplaat 10 en trilplaat 20 afzonderlijk zijn gevormd. Na te zijn gevormd met de 1011157 6 oplossingskamer 11 wordt de verkregen kamerplaat 10 gekoppeld met de trilplaat 20 die afzonderlijk is gevormd van de kamerplaat 10.

De structuur die de kamerplaat 10 en trilplaat 20 5 integraal met elkaar omvat, wordt vervolgens geladen in een houder opgenomen in een verwarmingsoven 30, samen met metaal-poeder 40 dat op de kamerplaat 10 en trilplaat 20 moet worden bekleed.

Voor het metaalpoeder 40 kan in hoofdzaak aluminium 10 (Al) of chroom (Cr) worden gebruikt die een anti-oxydatie eigenschap vertonen. Nikkel (Ni) of kobalt (Co) kan worden toegevoegd aan het aluminium of chroom.

Een actief middel aangepast om een actieve coating van het metaalpoeder 40 te verschaffen, respectievelijk een 15 anti-sinteringsmiddel aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder 40 gaat vloeien en wordt gesinterd, kan worden toegevoegd aan de oven 30 in de vorm van een poeder, in bepaalde verhoudingen met betrekking tot het metaalpoeder 40.

Het actieve middel kan een halogeenverbinding omvat-20 ten zoals natriumchloride (NaCl) of ammoniumchloride (NH4C1) . Het anti-sinteringsmiddel kan aluminiumoxide (Al203) of zirko-nia omvatten (Zr02) .

De oven 30 wordt vervolgens verwarmd bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, bijvoorbeeld een redu-25 cerende atmosfeer die reducerend gas bevat zoals waterstof (H2) of een inert atmosfeer bevattend inert gas zoals argon (Ar) , helium (He) , of ammonium (N2) en/of in een vacuümom-standigheid van 10"5 tot 50 Torr.

Bij voorkeur is de verwarmingstemperatuur van de 30 oven 30 circa 500°C of meer.

Wanneer de oven 30 wordt verwarmd, wordt het metaalpoeder 40 gesmolten, zodat het wordt bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 die zijn opgenomen in de houder, waardoor een anti-oxydatie me-35 taalfilm 80 wordt gevormd over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

De verkregen structuur die is bekleed met de anti-oxydatie metaalfilm 80 wordt thermisch behandeld bij een temperatuur van circa 600 tot 1500°C in een oxydatie-atmosfeer.

T011157 7

Door deze thermische behandeling wordt de metaalfilm 80 die is bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamer-plaat 10 en trilplaat 20 geoxideerd, waardoor een anti-oxyda-tie film 50 over de blootgestelde oppervlakken van die platen 5 10 en 20 wordt gevormd.

De anti-oxydatie film 50 is zeer vast, heeft met name een zeer hoge interkorreldichtheid, zodat deze dient om een intra-metaaloxydatie te voorkomen.

Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dik-10 te van circa 0,03 tot 5 μτη. Wanneer de anti-oxydatie film 50 een dikte heeft die de bovengrens overschrijdt, wordt de trilprestatie van de trilplaat 20 in grote mate gedegradeerd.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd 15 met de anti-oxydatie film 50 onder gebruikmaking van een zeefdrukproces, en vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Ten slotte wordt een bovenelektrode 70 gelamineerd over het oxide-piëzo-elektrische element 60. Aldus wordt een inktjetprinterkop gevormd.

20 Aangezien de anti-oxydatie film 50 is gevormd over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en de trilplaat 20 volgens de boven genoemde methode, is het mogelijk om de trilplaat 20 te beschermen tijdens de bewerkings-stap voor het sinteren van het oxide-piëzo-elektrische ele-25 ment 60 bij een hoge temperatuur. Dienovereenkomstig is mogelijk om te voorkomen dat de trilplaat 20 varieert in fysische eigenschappen of wordt vervormd.

Fig. 2 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een 30 tweede uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 2 worden de elementen die respectievelijk overeenkomen met die van fig. 1 aangeduid met dezelfde verwijzingscijfers. Onder verwijzing naar het bovenste aanzicht van fig. 2 wordt een trilplaat 20 getoond die integraal is gevormd met een 35 kamerplaat 10 voorzien van een oplossingskamer 11.

Deze uitvoeringsvorm wordt gekenmerkt doordat een anti-oxydatie metaalfilm 80 is aangebracht over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 die integraal met elkaar zijn door gebruikmaking van een vacuüm- 1011157 8 afzettingsproces zoals een verstuivings- of verdampingsproces .

Het afzetten van de anti-oxydatie metaalfilm 80 kan worden verkregen door het afzetten van een geoxideerd metaal-5 materiaal over de blootgestelde oppervlakken van de kamer-plaat 10 en trilplaat 20. In plaats daarvan kan het afzetten van de anti-oxydatie metaalfilm 80 worden verkregen door het afzetten van een metaalmateriaal dat een anti-oxydatie metaal bevat.

10 Hoewel de anti-oxydatie metaalfilm 80 reeds in een geoxideerde toestand is, wordt de oxydatie ervan verder uit-gevoerd wanneer de kamerplaat 10 en trilplaat 20 voorzien van de anti-oxydatie metaalfilm 80 worden onderworpen aan een thermische behandeling bij een temperatuur van circa 600 tot 15 1.500°C. Als gevolg wordt een vaste anti-oxydatie film 50 met een zeer hoge dichtheid gevormd over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dikte van circa 0,03 tot 5 μτη, zoals in de eerste uitvoerings-20 vorm van de onderhavige uitvinding.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd met de anti-oxydatie film 50, en vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Ten slotte wordt 25 een bovenelektrode 70 gelamineerd over het oxide-piëzo-elek-trische element 60. Aldus wordt een inktjetprinterkop vervaardigd.

Volgens de tweede uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding is er een voordeel in het feit dat het niet nood-30 zakelijk is om de oven 30 te gebruiken, zoals dit vereist is in de eerste uitvoeringsvorm, aangezien de vorming van de anti-oxydatie film 50 wordt verkregen door het eenvoudig af-zetten van de anti-oxydatie metaalfilm 80 over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20. In 35 dit geval wordt echter de vormingsdoelmatigheid van de anti-oxydatie film 50 verminderd vergeleken met de eerste uitvoeringsvorm.

Volgens de tweede uitvoeringsvorm is het mogelijk om te voorkomen dat de trilplaat 20 varieert in fysische eigen- i 1011157 9 schappen of vorm tijdens de bewerkingsstap voor het sinteren van het oxide-piëzo-elektrische element 60 aangebracht over de trilplaat 20 bij een hoge temperatuur.

Fig. 3 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen 5 van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een derde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding.

In fig. 3 worden elementen die respectievelijk overeenkomen met die van fign. 1 en 2 aangeduid door dezelfde verwijzingscijfers. Onder verwijzing naar het bovenste aan-10 zicht van fig. 3 wordt een trilplaat 20 getoond die integraal is gevormd met een kamerplaat 10 voorzien van een oplossings-kamer 11.

De kamerplaat 10 en trilplaat 20 zijn vervaardigd uit een materiaal dat een anti-oxydatie metaal bevat.

15 Wanneer de kamerplaat 10 en trilplaat 20, die een anti-oxydatie metaal bevatten, worden onderworpen aan een thermische behandeling bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C, worden de blootgestelde oppervlakken ervan geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film 50 erop wordt gevormd. 20 Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dik te van circa 0,03 tot 5 μπι, zoals in de voorgaande uitvoeringsvormen van de onderhavige uitvinding.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd 25 met de anti-oxydatie film 50, en vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Ten slotte wordt een bovenelektrode 70 gelamineerd over het oxide-piëzo-elektrische element 60. Aldus wordt een inktjetprinterkop vervaardigd .

30 Fig. 4 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een vierde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 4 worden elementen die respectievelijk overeenkomen met die van fig. 1 aangeduid door dezelfde verwijzingscijfers. Deze 35 uitvoeringsvorm wordt gekenmerkt door het feit dat een trilplaat 20 integraal wordt gevormd met een kamerplaat 10 voorzien zonder oplossingskamer. Volgens deze uitvoeringsvorm wordt de kamerplaat 10 in een laatste bewerkingsstap gevormd met een gewenste oplossingskamer.

C · *' ’ —V t o - 1 11 Cl 10

Wanneer de kamerplaat 10 voorzien van de oplossings-kamer 11 wordt gebruikt als in de eerste tot derde uitvoeringsvormen, kan de trilplaat 20 die het bovengedeelte van de oplossingskamer 11 bedekt variëren in fysische eigenschappen 5 tijdens een thermische behandeling uitgevoerd bij een hoge temperatuur bij de vorming van de anti-oxydatie film 50, aangezien deze is opgebouwd uit een dunne plaat.

Wanneer de trilplaat 20 thermisch wordt behandeld bij een hoge temperatuur van circa 600 tot 1.500°C onder vor-10 ming van een anti-oxydatie film, kan deze variëren in fysische eigenschappen, zodat deze kan worden vervormd.

Om deze reden wordt de trilplaat 20, volgens de vierde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding, gekoppeld aan de kamerplaat 10 zonder oplossingskamer, zodat wordt 15 voorkomen dat deze varieert in fysische eigenschappen tijdens een thermische behandeling bij een hoge temperatuur.

Volgens de vierde uitvoeringsvorm wordt de structuur die de kamerplaat 10 en trilplaat 20 integraal met elkaar omvat geladen in een houder die is opgenomen in een verwar-20 mingsoven 30, samen met metaalpoeder 40 dat op het blootgestelde oppervlak van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 moet worden bedekt.

Voor het metaalpoeder 40 kan in hoofdzaak aluminium of chroom worden gebruikt dat een anti-oxydatie eigenschap 25 vertoont. Nikkel of kobalt kan aan het aluminium of chroom worden toegevoegd.

Een actief middel dat is aangepast om een actieve coating van het metaalpoeder 40 te verschaffen, respectievelijk een anti-sinteringsmiddel dat is aangepast om te voorko-30 men dat het metaalpoeder 40 gaat stromen en wordt gesinterd kan worden toegevoegd aan de oven 30 in de vorm van poeder, in bepaalde verhoudingen met betrekking tot het metaalpoeder 40.

Het actieve middel kan een halogeenverbinding bevat-35 ten zoals natriumchloride (NaCl) of ammoniumchloride (NH4C1) . Het anti-sinteringsmiddel kan aluminiumoxide (Al203) of zirko-nia (Zr02) bevatten.

De oven 30 wordt vervolgens verwarmd bij een temperatuur in een gewenste atmosfeer, bijvoorbeeld een reduceren i 1011157 11 de atmosfeer die reducerend gas bevat zoals waterstof (H2) of een inert atmosfeer die een inert gas bevat zoals argon (Ar), helium (He), of ammonium (N2) , en/of in een vacuümomstandig-heid van 10'5 tot 50 Torr. Wanneer de oven 30 wordt verwarmd, 5 wordt het metaalpoeder 40 gesmolten, zodat deze wordt bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20, waardoor een anti-oxydatie metaalfilm 80 over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 wordt gevormd.

10 Bij voorkeur is de verwarmingstemperatuur van de oven 30 circa 500°C of meer.

De verkregen structuur die is bekleed met de anti-oxydatie metaalfilm 80 wordt thermisch behandeld bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C in een oxydatie-atmosfeer. 15 Door deze thermische behandeling wordt de metaalfilm 80 die over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 is aangebracht geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film 50 over de blootgestelde oppervlakken van die platen 10 en 20 wordt gevormd.

20 De anti-oxydatie film 50 is zeer vast, heeft met name een zeer hoge inter-korreldichtheid, zodat wordt voorkomen dat deze wordt geoxideerd in het oppervlak ervan.

Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dikte van circa 0,03 tot 5 μτη. Wanneer de anti-oxydatie film 50 25 een overmatige dikte heeft, wordt de trilprestatie van de trilplaat 20 sterk verminderd.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20, gevormd met de anti-oxydatie film 50 onder gebruikmaking van een 30 zeefdrukproces, en vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Een bovenelektrode 70 wordt vervolgens gelamineerd over het oxide-piëzo-elektrische element 60. .......

Ten slotte wordt een oplossingskamer 11 gevormd bij 35 het lagere oppervlak van de kamerplaat 10.

Teneinde de oplossingskamer 11 te vormen, wordt eerst een foto-resistentë film 90 bekleed over het benedenop-pervlak van de kamerplaat 10 en vervolgens op geschikte wijze in een patroon gebracht onder gebruikmaking van een masker in

10111ST

12 overeenstemming met lichtblootstellings-, ontwikkelings- en spoelprocessen. Dat wil zeggen, de foto-resistente film 90 wordt gedeeltelijk verwijderd om een patroon achter te laten met een oppervlakte minder dan of gelijk aan dat van de op-5 lossingskamer 11 die moet worden gevormd. Onder gebruikmaking van het foto-resistente patroon als een masker wordt vervolgens de kamerplaat 10 geëtst, waardoor de oplossingskamer 11 wordt gevormd.

Aldus wordt een gewenste inktjetprinterkop vervaar- 10 digd.

Fig. 6 toont een werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een vijfde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 6 worden elementen die respectievelijk overeenkomen met die van 15 fign. 4 en 5 aangeduid door dezelfde verwijzingscijfers. Deze uitvoeringsvorm is vergelijkbaar met de vierde uitvoeringsvorm in het feit dat een trilplaat 20 integraal wordt gevormd met een kamerplaat 10 voorzien zonder oplossingskamer, zoals in de vierde uitvoeringsvorm.

20 In overeenstemming met deze uitvoeringsvorm wordt een anti-oxydatie metaalfilm 80 afgezet op de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 door gebruik van een vacuümafzettingsproces zoals een verstuivings-of verdampingsproces.

25 Het afzetten van de anti-oxydatie metaalfilm 80 kan worden verkregen door het afzetten van een geoxideerd metaal-materiaal over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20. In plaats daarvan kan de afzetting van de anti-oxydatie metaalfilm 80 worden verkregen door het 30 afzetten van een metaalmateriaal dat een anti-oxydatie metaal bevat.

Hoewel de anti-oxydatie metaalfilm 80 reeds in een geoxideerde toestand is, wordt de oxydatie ervan verder uit-gevoerd wanneer de kamerplaat 10 en trilplaat 20 voorzien van 35 de anti-oxydatie metaalfilm 80 worden onderworpen aan een thermische behandeling bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C. Als gevolg wordt een vaste anti-oxydatie film 50 met een zeer hoge dichtheid verkregen over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

1011157 13

Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dikte van circa 0,03 tot 5 μπι, zoals in de eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 5 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd met de anti-oxydatie film 50, en vervolgens gesinterd bij een hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Een bovenelektrode 70 wordt vervolgens afgezet op het oxide-piëzo-elektrische element 60.

10 Ten slotte wordt een oplossingskamer 11 gevormd bij het benedenoppervlak van de kamerplaat 10.

Teneinde de oplossingskamer 11 te vormen wordt een fotobestendige film 90 eerst bekleed over het benedenoppervlak van de kamerplaat 10 en vervolgens op gepaste wijze een 15 patroon aangebracht onder gebruikmaking van een masker in overeenstemming met lichtblootstellings-, ontwikkelings-, en spoelprocessen. Dat wil zeggen, de foto-resistente film 90 wordt gedeeltelijk verwijderd om een patroon achter te laten met een oppervlak minder dan of gelijk aan dat van de oplos-20 singskamer 11 die moet worden gevormd. Onder gebruikmaking van het foto-resistente patroon als een masker wordt de kamerplaat 10 vervolgens geëtst, waardoor de oplossingskamer 11 wordt gevormd.

Aldus wordt een gewenste inktjetprinterkop verkre- 2 5 gen.

Fig. 7 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een zesde uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 7 zijn elementen die respectievelijk overeenkomen met die van 30 fign. 4 tot 6 aangeduid door dezelfde verwijzingscijfers.

Deze uitvoeringsvorm is vergelijkbaar met de derde uitvoeringsvorm, met dit verschil dat een trilplaat 20 integraal is gevormd met een kamerplaat 10 voorzien zonder oplossingskamer. In overeenstemming met de zesde uitvoeringsvorm van de 35 onderhavige uitvinding zijn de kamerplaat 10 en trilplaat 20 vervaardigd uit een materiaal dat een anti-oxydatie metaal bevat, zoals in de derde uitvoeringsvorm.

Wanneer de kamerplaat 10 en trilplaat 20 die een anti-oxydatie metaal bevatten, worden onderworpen aan een 1011157 14 thermische behandeling bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C, worden de blootgestelde oppervlakken ervan geoxideerd, waardoor een vaste anti-oxydatie film 50 wordt gevormd met een zeer hoge dichtheid daarop.

5 Bij voorkeur heeft de anti-oxydatie film 50 een dik te van circa 0,03 tot 5 μτη.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd met de anti-oxydatie film 50, en vervolgens gesinterd bij een 10 hoge temperatuur van circa 900 tot 1.100°C. Een bovenelektrode 70 wordt vervolgens afgezet op het oxide-piëzo-elektrisch element 60.

Ten slotte wordt een oplossingskamer 11 gevormd bij het benedenoppervlak van de kamerplaat 10, zoals in de vierde 15 en vijfde uitvoeringsvormen.

Teneinde de oplossingskamer 11 te vormen, wordt eerst een foto-resistente film 90 bekleed over het lagere oppervlak van de kamerplaat 10 en vervolgens op geschikte wij ze een patroon aangebracht onder gebruikmaking van een 20 masker in overeenstemming met lichtblootstellings-, ontwikke-lings- en spoelprocessen. Dat wil zeggen dat de foto-resis-tente film 90 gedeeltelijk wordt verwijderd om een patroon achter te laten met een oppervlak minder dan of gelijk aan dat van de oplossingskamer 11 die moet worden gevormd. Onder 25 gebruikmaking van het foto-resistente patroon als een masker wordt de kamerplaat 10 vervolgens geëtst, waardoor de oplossingskamer 11 wordt gevormd.

Aldus wordt een gewenste inktjetprinterkop verkregen.

30 Fig. 8 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop in overeenstemming met een zevende uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 8 worden elementen die respectievelijk overeenkomen met die van fig. 1 aangeduid door dezelfde verwij-35 zingscijfers. In overeenstemming met deze uitvoeringsvorm wordt een trilplaat 20 integraal gevormd met een kamerplaat 10 voorzien van een oplossingskamer 11, zoals in de eerste uitvoeringsvorm. De verkregen structuur die de kamerplaat 10 en trilplaat 20 integraal met elkaar bevat, wordt vervolgens i 1011157 15 geladen in een houder die is opgenomen in een verwarmingsoven 30, samen met metaalpoeder 40 dat moet worden bekleed over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

5 Voor het metaalpoeder 40 kan in hoofdzaak aluminium of chroom worden gebruikt die een anti-oxydatie eigenschap vertonen. Nikkel of kobalt kan worden toegevoegd aan het aluminium of chroom.

Een actief middel dat is aangepast om een actieve 10 coating van het metaalpoeder 40 te verschaffen, respectievelijk een anti-sinteringsmiddel dat is aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder 40 stroomt en wordt gesinterd kan worden toegevoegd in de oven 30 in de vorm van het poeder, in bepaalde verhoudingen met betrekking tot het metaalpoeder 40. 15 Het actieve middel kan een halogeenverbinding omvat ten zoals natriumchloride (NaCl) of ammoniumchloride (NH4C1) . Het anti-sinteringsmiddel kan aluminiumoxide (Al203) of zirko-nia (Zr02) bevatten.

De oven 30 wordt vervolgens verwarmd bij een hoge 20 temperatuur in een gewenste atmosfeer, bijvoorbeeld een reducerende atmosfeer die reducerend gas bevat zoals waterstof (H2) of een inerte atmosfeer die inert gas bevat zoals argon (Ar), helium (He), of ammonium (N2) en/of in een vacuüm-omstandigheid van 10'5 tot 50 Torr.

25 Bij voorkeur is de verwarmingstemperatuur van de oven 30 circa 500°C of meer.

Wanneer de oven 30 wordt verwarmd, wordt het metaalpoeder 40 gesmolten, zodat het wordt bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en de trilplaat 20 30 opgenomen in de houder, waardoor een anti-oxydatie metaalfilm 80 over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 wordt gevormd.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 aangebracht op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 ge-35 vormd met de anti-oxydatie metaalfilm 80, en vervolgens gesinterd in overeenstemming met een thermische behandeling in een oxydatie-atmosfeer. Door deze thermische behandeling wordt de metaalfilm 80 die is bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 ook geoxi- 1011157 16 deerd, waardoor een anti-oxydatie film 50 wordt gevormd over de blootgestelde oppervlakken van die platen 10 en 20.

Zoals vergeleken met de eerste uitvoeringsvorm, wordt deze zevende uitvoeringsvorm gekenmerkt doordat de vor-5 ming van een anti-oxydatie film 50 wordt verkregen na sinteren van het oxide-piëzo-elektrisch element 60 dat is gelamineerd op de trilplaat 20. In het geval van de eerste uitvoeringsvorm wordt de vorming van de anti-oxydatie film 50 verkregen voorafgaande aan het lamineren van het oxide-piëzo-10 elektrische element 60.

Ten slotte wordt een bovenelektrode 70 gelamineerd over het gesinterde oxide-piëzo-elektrische element 60. Aldus wordt een inktjetprinterkop verkregen.

Fig. 9 licht een werkwijze toe voor het vervaardigen 15 van een aandrijver van een inktjetprinterkop volgens een achtste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In fig. 9 worden elementen die respectievelijk overeenkomen met die van fig. 8 aangeduid door dezelfde verwijzingscijfers. Deze uitvoeringsvorm is verschillend van de zevende uitvoe-20 ringsvorm en vergelijkbaar met de vierde uitvoeringsvorm in het feit dat een trilplaat 20 integraal is gevormd met een kamerplaat 10 voorzien zonder oplossingskamer. In overeenstemming met deze uitvoeringsvorm is de kamerplaat 10 gevormd met een gewenste oplossingskamer in een laatste bewerkings-25 stap.

Volgens de achtste uitvoeringsvorm wordt de structuur die de kamerplaat 10 en de trilplaat 20 integraal met elkaar bevat vervolgens geladen in een container opgenomen in een verwarmingsoven 30, samen met metaalpoeder 40 dat moet 30 worden bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

Voor het metaalpoeder 40 kan in hoofdzaak aluminium of chroom worden gebruikt die een anti-oxydatie eigenschap vertonen. Nikkel of kobalt kan worden toegevoegd aan het alu-35 minium of chroom.

Een actief middel dat is aangepast om een actieve coating van het metaalpoeder 40 te verschaffen, respectievelijk een anti-sinteringsmiddel aangepast om te voorkomen dat metaalpoeder 40 stroomt en wordt gesinterd kan worden toege- 1011157 17 voegd aan de oven 30 in de vorm van poeder, in bepaalde verhoudingen met betrekking tot het metaalpoeder 40.

Het actieve middel kan een halogeenverbinding bevatten zoals natriumchloride (NaCl) of ammoniumchloride (NH4C1) .

5 Het anti-sinteringsmiddel kan aluminiumoxide (Al203) of zirko-nia (Zr02) bevatten.

De oven 30 wordt vervolgens verwarmd bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, bijvoorbeeld een reducerende atmosfeer die reducerend gas bevat zoals waterstof 10 (H2) of een inerte atmosfeer die inert gas bevat zoals argon (Ar), helium (He), of ammonium (N2) en/of in een vacuüm-omstandigheid van 10'5 tot 50 Torr.

Bij voorkeur is de verwarmingstemperatuur van de oven 30 circa 500°C of meer.

15 Wanneer de oven 30 wordt verwarmd, wordt het metaal poeder 40 gesmolten, zodat het wordt bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20, waardoor een anti-oxydatie metaalfilm 80 over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 wordt 20 gevormd.

Daarna wordt een oxide-piëzo-elektrisch element 60 afgezet op een gewenst gedeelte van de trilplaat 20 gevormd met het anti-oxydatie metaalfilm 80, en vervolgens gesinterd in overeenstemming met een thermische behandeling in een oxy-25 datie-atmosfeer. Door deze thermische behandeling wordt de metaalfilm 80 die is bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 ook geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film 50 over de blootgestelde oppervlakken van die platen 10 en 20 wordt gevormd.

30 De sinteringstemperatuur is circa 600 tot 1.500°C.

Een bovenelektrode 70 wordt vervolgens gelamineerd over het oxide-piëzo-elektrische element 60. Navolgend wordt een foto-resistente film 90 bekleed over het benedenoppervlak van de kamerplaat 10 en vervolgens wordt op geschikte wijze 35 een patroon aangebracht onder gebruikmaking van een masker in overeenstemming met lichtblootstellings-, ontwikkelings- en spoelprocessen. Dat wil peggen, de foto-resistente film 90 wordt gedeeltelijk verwijderd om een patroon achter te laten met een oppervlak minder dan of gelijk aan dat van een oplos-

Wf 1157 18 singskamer die moet worden gevormd. Onder gebruikmaking van het foto-resistente patroon als een masker wordt de kamer-plaat 10 vervolgens geëtst, waardoor een oplossingskamer 11 wordt gevormd.

5 Aldus wordt een gewenste inktjetprinterkop verkre gen.

In de boven genoemde uitvoeringsvorm is de anti-oxy-datie film 50 bekleed over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 opgebouwd uit een chroom-10 oxide film of aluminiumoxide film. Teneinde een dergelijke anti-oxydatie film 50 te vormen, is het wenselijk om de thermische behandeling uit te voeren in een oxydatie-atmosfeer gedurende één uur of meer.

De anti-oxydatie film 50, die is opgebouwd uit een 15 chroom-oxide film of aluminium-oxide film, is zeer stabiel aangezien het een vaste oxide film is met een hoge dichtheid. Aangezien geen verdere oxydatie wordt uitgevoerd na een bepaalde oxydatietijd is verlopen, wordt de anti-oxydatie film gevormd tot een constante dikte.

20 Wanneer de kamerplaat 10 en trilplaat 20 bijvoor beeld in hoofdzaak zijn vervaardigd uit nikkel en chroom, hetgeen een anti-oxydatie metaal is, en is afgezet over die platen 10 en 20 in de oven 30 zoals in de eerste, vierde en achtste uitvoeringsvormen van de onderhavige uit-25 vinding, dan vertoont de verkregen structuur een samenstel-lingsverhouding tussen nikkel en chroom getoond in fig. 10A in de chroom-afgezette toestand. Onder verwijzing naar fig. 10A kan het worden gevonden dat een chroomlaag, hetgeen een anti-oxydatie metaal is, wordt gevormd tot een bepaalde dikte 30 over het oppervlak van een substraat, met name een nikkelsub-straat. Wanneer deze structuur thermisch wordt behandeld bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C, varieert de samen-stellingsverhouding tussen nikkel en chroom scherp bij de grens tussen het nikkelsubstraat en chroomlaag, zoals getoond 35 in fig. 10B. Wanneer de thermische behandeling wordt uitge-voerd in een oxydatie-atmosfeer, dan wordt het gedeelte van de chroomlaag die aanwezig is bij de grens tussen het nikkelsubstraat en chroomlaag veranderd in een chroom-oxide film hetgeen een anti-oxydatie film is. Op dit moment wordt het i 1011157 19 gedeelte van het nikkelsubstraat dat aanwezig is bij de grens tussen het nikkelsubstraat en chroomlaag veranderd in een chroom-nikkel legeringfilm die chroom in een verminderd gehalte en nikkel in een toegenomen gehalte bij een toegenomen 5 diepte van het nikkelsubstraat bevat.

Dat wil zeggen, de chroomlaag wordt langzaam aan veranderd in een chroom-oxide film vanuit de oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 in overeenstemming met de oxydatie ervan. Aldus wordt een vaste anti-oxydatie film met 10 een hoge dichtheid gevormd op en in de oppervlakken van de kamerplaat 10 en trilplaat 20. De anti-oxydatie film vertoont een verminderde dichtheid bij een toegenomen diepte van de kamerplaat 10 en trilplaat 20. Het nikkelsubstraat wordt nog steeds behouden bij een bepaalde diepte van de kamerplaat 10 15 en trilplaat 20.

De anti-oxydatie film die gevormd is over de kamerplaat 10 en trilplaat 20 na de oxydatie dient om te voorkomen dat zuurstof penetreert in de kamerplaat 10 en trilplaat 20, waardoor wordt voorkomen dat die platen 10 en 20 verder wor-20 den geoxideerd. De anti-oxydatie film vertoont ook een weerstand tegen warmte van een hoge temperatuur. Dienovereenkomstig kunnen de kamerplaat 10 en trilplaat 20 in een stabiele toestand worden gehouden.

In het bijzonder wanneer de vorming van de anti-oxy-25 datie film 50 over de trilplaat 20 wordt verkregen voorafgaande aan of tegelijk met het sinteren van het oxide-piëzo-elektrische element 60, wordt de trilplaat 20 niet beïnvloed door warmte van een hoge temperatuur gebruikt bij het sinteren van het oxide-piëzo-elektrische element. Dienovereenkom-30 stig is het mogelijk om te voorkomen dat de trilplaat 20 varieert in fysische eigenschappen of vorm.

Wanneer de anti-oxydatie film 50 ook wordt gevormd over het binnenoppervlak van de oplossingskamer 11 die is gedefinieerd in de kamerplaat 10, is het mogelijk om te voor-35 komen dat de gedeeltes van de kamerplaat 10 en trilplaat 20 die de oplossingskamer 11 begrenzen, worden geërodeerd door inkt dat daarmee in contact komt.

Aangezien de anti-oxydatie film 50 in het algemeen een isolatie-eigenschap vertoont, kan de vorming van een on- 1011157 20 derelektrode worden verkregen onder gebruikmaking van een dikke film vormingsproces zoals een zeefdrukproces, voorafgaande aan het afzetten van het oxide-piëzo-elektrisch element op de trilplaat 20. Elektrische lijnen kunnen ook worden 5 gevormd op de anti-oxydatie film 50 om een stabiele toevoer van spanning te verkrijgen op het oxide-piëzo-elektrische element 60.

Wanneer de anti-oxydatie metaalfilm 80 die gelamineerd is over de kamerplaat 10 en trilplaat 20 thermisch 10 wordt behandeld in een oxydatie-atmosfeer, wordt deze geoxideerd en veranderd tot de anti-oxydatie film 50. Tijdens een dergelijke oxydatie vindt een aanzienlijke variatie in volume plaats in de kamerplaat 10 en trilplaat 20.

Om deze reden kan de koppeling tussen de kamerplaat 15 10 en trilplaat 20 op onvoldoende wijze worden verkregen wan neer de anti-oxydatie film wordt gevormd over alleen de trilplaat 20. Dienovereenkomstig verdient het de meeste voorkeur dat de vorming van de anti-oxydatie film 50 wordt uitgevoerd nadat de kamerplaat 10 en trilplaat 20 integraal met elkaar 20 zijn verbonden.

Wanneer de printerkopvervaardiging wordt uitgevoerd op de boven beschreven wijze, is er geen probleem, zelfs wanneer de trilplaat 20 licht wordt vervormd. Dit is vanwege dat de vervorming van de trilplaat 20 simultaan plaatsvindt met 25 een vervorming van de kamerplaat 10. Dienovereenkomstig is er een gunstig voordeel in het feit dat de printerkop gefabriceerd zoals hierboven op zekere wijze kan worden beschermd tegen externe invloeden.

Hoewel de voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvin-30 ding zijn beschreven voor toelichtende doeleinden, zullen deskundigen in de techniek begrijpen dat verscheidene modificaties, toevoegingen en vervangingen mogelijk zijn, zonder weg te gaan van het kader en de geest van de uitvinding zoals beschreven in de bijgaande conclusies.

1011157

Claims

1. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrij-ver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze 5 dat deze integraal is met een kamerplaat is die een oplos-singskamer heeft; het mengen van metaalpoeder, dat moet worden bekleed over de kamerplaat en trilplaat die integraal met elkaar zijn verbonden, met een actief middel dat is ingesteld om het coa- 10 tingproces te activeren en een.anti-sinteringsmiddel dat is aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder stroomt en wordt gesinterd, in een gewenste samenstellingsverhouding, waardoor een poedermengsel wordt geleverd, en vervolgens het laden van het mengsel samen met de kamerplaat en de trilplaat 15 in een oven; het verwarmen van de oven bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, waardoor een anti-oxydatie metaal-film over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; 20 het thermisch behandelen van de kamerplaat en de trilplaat in een oxydatie-atmosfeer, op een dergelijke wijze dat de anti-oxydatie metaalfilm wordt geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film over de blootgestelde oppervlakken wordt gevormd van de kamerplaat en de trilplaat; 25 het af zetten van _een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die is bekleed met de anti-oxydatie film volgens een sinteringsproces; en het lamineren van een bovenelektrode op het oxide-piëzo-elektrisch element.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

3. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

4. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij het 35 metaalpoeder aluminium en chroom bevat waaraan nikkel en kobalt zijn toegevoegd. t0l11S7

5. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de atmosfeer van de oven een reducerende atmosfeer is.

6. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de atmosfeer van de oven een inerte atmosfeer is die inert gas bevat.

7. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de atmos feer van de oven een vacuümatmosfeer van circa 10'5 tot 50 Torr is.

8. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat in de 10 oxydatie-atmosfeer wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C.

9. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijving van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: 15 het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze dat deze integraal is met een kamerplaat met een oplossings- kamer; het afzetten van een anti-oxydatie metaalfilm over blootgestelde oppervlakken van een kamerplaat en een tril- 20 plaat die integraal met elkaar zijn verbonden in overeenstemming met een vacuümafzettingsproces; het thermisch behandelen van de kamerplaat en de trilplaat op een dergelijke wijze dat de anti-oxydatie metaalfilm wordt geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film 25 over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die bekleed is met de anti-oxydatie film in overeenstemming met een sinteringspro- 30 ces; en het lamineren van een bovenelektrode over het oxide-piëzo-elektrische element.

10. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij het me-taalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

11. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij het me- taalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

12. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij het me-taalpoeder aluminium en chroom bevat waaraan nikkel en kobalt zijn toegevoegd. i 1011157

13. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij de anti-oxydatie metaalfilm in een geoxideerde toestand is voorafgaande aan de laminatie hiervan.

14. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij de anti-5 oxydatie metaalfilm een anti-oxydatie metaal bevat.

15. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C.

16. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrij-10 ver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: het vormen van een trilplaat die een anti-oxydatie metaal bevat en op een dergelijke wijze dat deze integraal is met een kamerplaat met een oplossingskamer; 15 het thermisch behandelen, bij een hoge temperatuur, van de kamerplaat en de trilplaat die op een zodanige wijze met elkaar integraal zijn gekoppeld dat ze worden geoxideerd op de blootgestelde oppervlakken ervan, waardoor een anti-oxydatie film over de blootgestelde oppervlakken wordt ge-20 vormd; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat bekleed met de anti-oxydatie film volgens een sinteringsproces; en het lamineren van een bovenelektrode over het oxide-25 piëzo-elektrische element.

17. Werkwijze volgens conclusie 16, waarbij het me-taalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

18. Werkwijze volgens conclusie 16, waarbij het me-taalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

19. Werkwijze volgens conclusie 16, waarbij de ther mische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C.

20. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen 35 omvat van: het vormen van een trilplaat op een zodanige wijze dat deze integraal met een kamerplaat is die geen oplossings-kamer heeft; 1011157 het mengen van metaalpoeder, dat over de kamerplaat en de trilplaat die integraal met elkaar zijn gekoppeld moet worden bekleed, met een actief middel aangepast om het coa-tingsproces te activeren en een anti-sinteringsmiddel dat is 5 aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder stroomt en wordt gesinterd, in een gewenste samenstellingsverhouding, waardoor een poedermengsel wordt verkregen, en vervolgens het laden van het mengsel samen met de kamerplaat en de trilplaat in een oven; 10 het verwarmen van de oven bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, waardoor een anti-oxydatie metaal-film over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; het thermisch behandelen van de kamerplaat en de 15 trilplaat in een oxydatie-atmosfeer op een zodanige wijze dat de anti-oxydatie metaalfilm wordt geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element 20 op een bovenoppervlak van de trilplaat die is bekleed met de anti-oxydatie film volgens een sinteringsproces; het lamineren van een bovenelektrode over het oxide-piëzo-elektrische element; en het in een patroon brengen van de kamerplaat, waar-25 door een oplossingskamer in de kamerplaat wordt gedefinieerd.

21. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

22. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

23. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij het me taalpoeder aluminium en chroom bevat, waaraan nikkel en kobalt zijn toegevoegd.

24. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij de atmosfeer van de oven een reducerende atmosfeer is.

25. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij de at mosfeer van de oven een inerte atmosfeer is die inert gas bevat .

26. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij de atmosfeer van de oven van vacuümatmosfeer van circa 10'5 tot 50 i 1011157 Torr is.

27. Werkwijze volgens conclusie 20, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat in de oxydatie-atmosfeer wordt uitgevoerd bij een temperatuur van 5 circa 600 tot 1.500°C.

28. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze 10 dat deze integraal is met een kamerplaat zonder oplossingska-mer; het afzetten van een anti-oxydatie metaalfilm over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat die integraal met elkaar zijn gekoppeld in overeenstemming 15 met een vacuümafzettingsproces; het thermisch behandelen van de kamerplaat en de trilplaat op een zodanige wijze dat de anti-oxydatie metaalfilm wordt geoxideerd, waardoor een anti-oxydatie film over de blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de tril-20 plaat wordt gevormd; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die is bekleed met de anti-oxydatie film in overeenstemming met een sinteringspro-ces; 25 het lamineren van een bovenelektrode over het oxide- piëzo-elektrisch element; en het in een patroon brengen van de kamerplaat, waardoor een oplossingskamer in de kamerplaat wordt gedefinieerd.

29. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij het me-30 taalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

30. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij het me-taalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

31. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij het me-taalpoeder aluminium en chroom bevat, waaraan nikkel en ko- 35 balt zijn toegevoegd.

32. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij de anti-oxydatie metaalfilm in een geoxideerde toestand is voorafgaande aan de laminatie ervan.

33. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij de anti- 101115? oxydatie metaalfilm een anti-oxydatie metaal bevat.

34. Werkwijze volgens conclusie 28, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C.

35. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrij ver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: het vormen van een trilplaat die een anti-oxydatie metaal bevat op een zodanig wijze, dat deze integraal is met 10 een kamerplaat zonder oplossingskamer; het thermisch behandelen bij een hoge temperatuur van de kamerplaat en de trilplaat die integraal samen zijn gekoppeld op een dergelijke wijze dat ze worden geoxideerd bij de blootgestelde oppervlakken ervan, waardoor een anti-15 oxydatie film wordt gevormd over de blootgestelde oppervlakken; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die bekleed is met de anti-oxydatie film volgens een sinteringsproces; 20 het lamineren van een bovenelektrode op het oxide- piëzo-elektrische element; het aanbrengen van een patroon op de kamerplaat, waardoor een oplossingskamer in de kamerplaat wordt gedefinieerd.

36. Werkwijze volgens conclusie 35, waarbij het me- taalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

37. Werkwijze volgens conclusie 35, waarbij het me-taalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

38. Werkwijze volgens conclusie 35, waarbij de ther-30 mische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C.

39. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: 35 het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze dat deze integraal is met een kamerplaat met een oplossingskamer; het mengen van metaalpoeder, dat moet worden bekleed over de kamerplaat en de trilplaat die integraal zijn samen 1011157 gekoppeld, met een actief middel dat is aangepast om het coa-tingproces te activeren en een anti-sinteringsmiddel dat is aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder stroomt en wordt gesinterd, in een gewenste samenstellingsverhouding, 5 waardoor een poedermengsel wordt verkregen, en vervolgens het laden van het mengsel samen met de kamerplaat en de trilplaat in een oven; het verwarmen van de oven bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, waardoor een anti-oxydatie metaal-10 film over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die is bekleed met de anti-oxydatie metaalfilm, en het sinteren van het oxide-15 piëzo-elektrisch element in een oxydatie-atmosfeer in overeenstemming met een sinteringsproces, terwijl blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat worden geoxideerd; en het lamineren van een bovenelektrode op het oxide-20 piëzo-elektrisch element.

40. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

41. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

42. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij het me taalpoeder aluminium en chroom bevat waaraan nikkel en kobalt zijn toegevoegd.

43. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij de atmosfeer van de oven een reducerende atmosfeer is.

44. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij de at mosfeer van de oven een inerte atmosfeer is, die inert gas bevat.

45. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij de atmosfeer van de oven een vacuümatmosfeer is van circa 10'5 tot 35 50 Torr.

46. Werkwijze volgens conclusie 39, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat in de oxydatie atmosfeer wordt uitgevoerd bij een temperatuur van circa 600 tot 1.500°C. 1011157

47. Werkwijze voor het vervaardigen van een aandrijver van een inktjetprinterkop, welke werkwijze de stappen omvat van: het vormen van een trilplaat op een dergelijke wijze 5 dat deze integraal is met een kamerplaat zonder oplossingska-mer ; het mengen van metaalpoeder, dat moet worden bekleed over de kamerplaat en de trilplaat die integraal met elkaar zijn gekoppeld, met een actief middel dat is aangepast om het 10 coatingproces te activeren en een anti-sinteringsmiddel dat is aangepast om te voorkomen dat het metaalpoeder stroomt en wordt gesinterd, in een gewenste samenstellingsverhouding, waardoor een poedermengsel wordt geleverd, en vervolgens het laden van het mengsel samen met de kamerplaat en de trilplaat 15 in een oven; het verwarmen van de oven bij een hoge temperatuur in een gewenste atmosfeer, waardoor een anti-oxydatie metaal-film over blootgestelde oppervlakken van de kamerplaat en de trilplaat wordt gevormd; 20 het afzetten van een oxide-piëzo-elektrisch element op een bovenoppervlak van de trilplaat die is bekleed met de anti-oxydatie metaalfilm, en het sinteren van de oxide-piëzo-elektrisch element in een oxydatie-atmosfeer in overeenstemming met een sinteringsproces, terwijl blootgestelde opper-25 vlakken van de kamerplaat en trilplaat worden geoxideerd; het lamineren van een bovenelektrode over het oxide-piëzo-elektrisch element; en het aanbrengen van een patroon op de kamerplaat, waardoor een oplossingskamer in de kamerplaat wordt gedefi-30 nieerd.

48. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak aluminium bevat.

49. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij het metaalpoeder in hoofdzaak chroom bevat.

50. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij het me taalpoeder aluminium en chroom bevat, waaraan nikkel en kobalt zijn toegevoegd.

51. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij de atmosfeer van de oven een reducerende atmosfeer is. Toil 157

52. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij de atmosfeer van de oven een inerte atmosfeer is die inert gas bevat .

53. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij de at- 5 mosfeer van de oven een vacuümatmosfeer is van circa 10"5 tot 50 Torr.

54. Werkwijze volgens conclusie 47, waarbij de thermische behandeling voor de kamerplaat en de trilplaat in de oxydatie atmosfeer wordt uitgevoerd bij een temperatuur van 10 circa 600 tot 1.500°C. 101115?