JPS59146861A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 記録を行なう液体噴射配録ヘッドに関する。

インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点において
最近関心を集めている。

その中で、例えば特開昭．ｆｆ　ｇ　−　、５−　／　
ｇ　３　７号公報、トイツ公開（ＤＯＴＪＳ）第．２ｇ
’ｌ３０１，ｌｌ号公報に記載されである液体噴射記録
法は、熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の為
の原動力を得るという点において、他の液体噴射記録法
とは、異なる特徴を有している。

即ち、上記の公報に開示されである記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態
変化を起し、該状態変化に基く作用力によって、記録ヘ
ッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔的
液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行
われるという特徴である。

殊に、ＤＯＬ８　．２ｇ４１３０乙グ号公報に開示され
ている液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ　ｄθｍ
ａｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく
、記録ヘッド部をｆｕｌｌ　１ｊｎｅタイプで高密度マ
ルチオリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化出来
るので、高解像度、高品質の画像を高速で得られるとい
う特徴を有している。

」−記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液
体を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体に
作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路
とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段と
しての電気熱変換体とを具備している。

そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備している。

この様な液体噴射記録ヘッドの構造を示す典型的な例が
第１図（ａ）、及び第１図（ｂ）に示される。

第１図＋ａ、ｌは、本発明に係わる液体噴射記録ヘッド
のオリフィス側から県だ上面部分図、第１図（１〕）は
、第１図（ａ、）に一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した
場合の切断面部分図である。

図に示される記録ヘッド７０／は、その表面に電気熱変
換体１０２が設けられている基板１０３の表面に、所定
の線密度で所定の１］と深さの溝が所定数設けられてい
る溝付板／θグで覆う様に接合することによって、オリ
フィス７０左と液吐出部１０乙が形成された構造を有し
ている。

図に示す記録ヘッドの場合、オリフィス７０左を複数有
するものとして示されであるが、勿論本発明においては
、これに限定されるものではなく単一オリフィスの場合
の記録ヘッドも本発明の範鴎に這入るものである。

液吐出部１０乙は、その終端に液体を吐出させる為のオ
リフィス／θりと、電気熱変換体１０２より発生される
熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生し、その体積
の膨張と収縮に依る急激な状態変化を引起す処である熱
作用部１０７とを有する。

熱作用部１０７は、電気熱変換体１０２の熱発生部１０
ｇの上部に位置し、熱発生部１０ｇの液体と接触する面
としての熱作用面／θ９をその底面としている。

熱発生部／θｇは、基板１０３上に設けられた下部層／
１０、該下部層／１０上に設けられた発熱抵抗層／／／
、該発熱抵抗層／／／上に設けられた上部層／／２とで
構成される。発熱抵抗層／／／には、熱を発生させる為
に該層／／／に通電する為の電極／／３．／／’ｌがそ
の表面に設けられである。電極／／３は、各液吐出部の
熱発生部に共通の電極であり、電極／／ケは、各液吐出
部の熱発生部を選択して発熱させる為の選択電極であっ
て、液吐出部の液流路に沿って設けられである。

上部層／／２は、熱発生部／θｇに於いては発熱抵抗層
／／／を、使用する液体から化学的・物理的に保護する
為に発熱抵抗層／／／と液吐出部１０乙の液流路を満た
している液体とを隔絶すると共に、液体を通じて電極／
／３．／／’１間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層
／／／の保護的機能を有している。

又、上部層／／、２は、隣接する電極間に於ける電気的
リークを防止する役目も荷っている。殊に、各選択電極
間に於ける電気的リークの防止、或いは各液流路下にあ
る電極が何等かの理由で電極と液体とが接触し、これに
通電することによって起る電蝕の防止は、重要であって
、この為にこの様な保護層的機能を有する上部層／／、
２が少なくとも液流路下に於ける電極上に設けられてい
る。

更に、各液吐出部に設けられである液流路は、各液吐出
部の上流に於いて、液流路の一部を構成する共通液室を
介して連通されているが、各液吐出部に設けられた電気
熱変換体に接続されている電極は、その設計上の都合に
より、熱作用部の上流側に於いて前記共通液室下を通る
様に設けられている。

従って、この部分に於いても電極が液体と接触するのを
［りｂ止すべく　’ＡｉＪ記した］一部層が設けられて
いるのが一般的である。

ところでマルチオリフィス化タイプの液体噴射記録−＼
ラドの場合には、基板−トに多数の微細な電気熱変換体
を同時に形成する為に、製造過程に於いて、基板上では
各層の形成と、形成された層の一部除去の繰返しが成さ
れ、−」一部層が形成される段階では、上部層の形成さ
れるその表向はスラツプウエノチ部（段差部）のある微
細な凹凸状となっているので、この段差部に於ける上部
層の被覆性（５ｔｅｐ　ｃｏｖｅｒａＢｅ性）が重要と
なっている。

詰り、この段差部の被位性が悪いと、その部分での液体
の浸透が起り、電帥或いは電気的絶縁破壊を起す誘引と
なる。

又、記録密度を向」ニさせるだめには、電気熱変換体及
びリード電極等のパータン密度を上げなくてはならず、
従ってリ−１・電極間の層間幅は減少する。これに伴い
エツチング法により形成した電極はエツチング時の残渣
、こみ等によりそれぞれ隣接配線部とのショー１−　、
ブリッジもし７くは断線を引き起し易くなり、液体噴射
記録ヘッドの製造ナナりを著しく低下させる原因となっ
ている。従って電極部には、特に段差部における被覆性
が良好であること、／ヨー］・、ブリッジもしくは断線
などの欠陥の発生ずる確率が低いことが要求される。

面乍ら、従来に於いては、これ等の要求の総てを満足し
、総合的な使用ｌｔ１久性に優れだ液体噴射記録ヘッド
は提案されてない。

本発明は−」二記の諸点に鑑み成さオＬだものであって
、頻繁なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合
的な耐久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に
匂って安定的に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを主たる目的とする。

又、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性の
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。

更には、マルチオリフィス化した場合にも製造歩留りの
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。

本発明の液体噴射記録ヘッドは、液体を吐出して飛翔的
液滴を形成する為に設けられたオリフィスど、該オリフ
ィスに連通し、前記液滴を形成する為の熱エネルギーが
液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする
液流路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発熱
抵抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置する
電極が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成され
ている電気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドに
おいて、発熱抵抗層上の電極部以外の部分妬は電極間分
離層が設けられており、少なくとも該電極間分離層が、
電極を形成する導電性材料を変質して無機絶縁拐料化す
ることによって形成されたものであることを特徴とする
液体噴射記録ヘッドである。

以下、図面に従って本発明を具体的に説明する。

第λ図ｆａ、１には、本発明の液体噴射記録ヘッドの好
適な実施態様例の構造の主要部を説明する為のオリフィ
ス側から見た正面部分図が、第２図ｆｂｌには、第λ図
＋ａ、ｌに一点鎖線Ａ　Ａ’で示した部分で切断した場
合の切断面部分図が示されており、第２図（ａ、ｌは、
第１図（ａｊに相当し、第２図（１〕）は第１図（ｂｌ
に相当するものである。

図に示される液体噴射記録ヘット、２００は、所望数の
電気熱変換体２０／が設けられた熱を液吐出に利用する
液体噴射記録（ザーマルインクシエツ）：Ｔ／Ｊと略記
する）用の基板、２０．２と、前記電気熱変換体２０／
に対応して設けられた溝を所望教育する溝付板、２０３
とでその主要部が構成されている。

Ｔ／Ｊ基板２０２と溝付板ノθ３とは、所定個所で接着
剤等で接合されることでＴ／Ｊ基板２０．２の電気熱変
換体、２０／の設けられている部分と、溝付板、、２０
３の溝の部分とによって液流路２０ｑを形成しており、
該液流路λθｑは、その構成の一部に熱作用部、２０ｋ
を有する。

Ｔ／Ｊ基板２０．：２は、ンリコン、ガラス、セラミッ
クス等で構成されている支持体、２０乙、該支持体２０
乙上に８１０２等で構成される下部層、２０７、発熱抵
抗層、２０ｇ、発熱抵抗層２０ｇの表向には、液流路、
２０ｑに沿って電極、２０９ならびに！１０及び電極部
以外の部分を覆う電極間分離層、２７グそして更に電極
、２０９．．２１０及び電極間分離層、２７グを覆う様
に無機質材料で構成された上部層、２／／とを具備して
いる。電気熱変換体、２０／は、その主要部として熱発
生部、２／２を有し、熱発生部２／２は支持体、２０乙
上に支持体！θ乙側より順次発熱抵抗層、２０ｇ、電極
間分離層２／ｌｌ、上部層、２／／とが積層されて構成
されており、上部層２／／の表面（熱作用面）ノ／３は
、液流路、２ｏｌｌ中を満たす液体と直に接触している
。

第１図に示す液体噴射記録ヘッド２００の場合には、」
二部層、２／／は、該層、２／／の機械的な強度を一層
高める為に、層、２／乙、層２／７を設けた二重層構造
とされていて、層２／乙は、例えばＳ］０２等の無機酸
化物や８１３Ｎ４　　等の無機窒化物等の比較的電気絶
縁性、熱伝導性、及び耐熱性に優れた無機質利料で構成
され、層！／７は粘りがあって、比較的機械的強度に優
れ層２／乙に対して密着性と接着性のある、例えば層、
２／乙が５ｉ０２で形成されている場合にはＴａ等の金
属材料で構成される。

この様に上部層、２／／の表面層を金属等の比較的粘り
があって機械的強度のある無機質材料で構成することに
よって、熱作用面ノ／３に於いて、液体吐出の際に生ず
るキャビテーション作用かラノノヨツクを充分吸収する
ことが出来、電気熱変換体、２０／の寿命を格段に延ば
す効果がある。

面乍ら、上部層、２／／の表面層として設けられる層２
／７は、本発明に於いては、必ずしも要するものではな
い。

本発明では」二連のように発熱抵抗層！θｇ」−の電極
部以外の部分には電極間分離層、、２／＆が設けられて
いるのであるが、該電極間分離層、２７グは電極を形成
する導電性材料を変質して無機絶縁材料化することによ
って形成されることが特徴となっている。

電極間分離層、２７グは熱作用面、２　／　、？及び電
極配線のない部分に設けられ、その主な役目は電極及び
素子間を歩留りよく分離し、且電極端部のカバレージ性
を良くすることである。

電極間分離層、、２／４は上記の役目を果すことが出来
るよう々無機絶縁材料で構成されるが、更に該分離層は （１）成膜性が良いこと。

（２）緻密な構造でかつピンホールやクラックがないこ
と。

（３）　　使用インクに対して変質、溶解しないこと。

（４）　　成膜したときの絶縁性がよいこと。

（５）　　耐熱性が高いこと。

等の物性を具備していることが望ましい。その様な無機
絶縁材料として例えば、Ａ７？、　Ｔａ、　Ｔｉ、　Ｚ
ｒ。

Ｈｆ、　Ｖ、　Ｎｂ、　Ｍｇ、　Ｓ　ｉ　、　Ｍｏ、　
Ｗ、　Ｙ、　Ｌａ等の金属およびそれら合金の酸化物、
炭化物、窒化物、硼化物等が挙げられ、電極及び素子間
に上述の物性が得られるような層の形式が可能なもので
あれば良い。

一方、電極ノ０９及び、２／θを構成する材料としては
、その変質無機絶縁材料化により上述の物性を持つ層が
形成可能なものであり、且導電性材料であればよく、た
とえばＡ　Ｉ　、　Ｔ　ａ、　、　Ｔ　ｊ　、　Ｚ　ｒ
　。

Ｈｆ　、　Ｖ、　Ｎｂ、　Ｍｇ、　Ｓ　ｉ、　Ｍｏ、　
Ｗ、　Ｙ、　Ｌａ　等の金属およびそれらの合金が挙げ
られ、これら材料を使用して蒸着等の手法で所定位置に
所定の大きさ。

形状、厚さで設けられる。

電極を形成する導電性材料を変質して無機絶縁材料化す
る方法として好捷しい方法は、後述の実施例に示すよう
にその部分を陽極酸化法によって酸化物に変質せしめる
ことである。この方法で形成された金属酸化物層は、電
極間分離層として要求される上述の物性を満足する理想
的な層となる。

酸化物層の形成は空気又は酸素中での加熱酸化や酸化剤
による化学的酸化によって行なってもよい。

又導電性材料の変質は酸化による酸化物層の形成に限ら
ず、窒化、硼化、炭化等による窒化物、硼化物、炭化物
層の形成であってもよい。

上部層、、２／／を構成する材料としては、上記した無
機質材料の他に酸化チタン、酸化バナジウム。

酸化ニオブ、酸化モリブデン、酸化タンタル、酸化タン
クステン、酸化クロム、酸化ジルコニウム。

酸化・・フニウノ・、酸化ランタン、酸化イツトリウム
、酸化マンガン等の遷移金属酸化物、更に酸化アルミニ
ウム、酸化カル／ラム、酸化ストロンテウｊ・、酸化バ
リウム、酸化シリコン等の金属酸化物及びそれらの複合
体、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ボロン、窒
化タンタル等高抵抗窒化物及びこれら酸化物、窒化物の
複合体、更にアモルファスンリコン、アモルファスセレ
ン等の半導体などバルクでは低抵抗であってもスパッタ
リング法、ＣＶＩ）法、蒸着法、気相反応法、液体コー
ティング法等の製造過程で高抵抗化し得る薄膜材料を挙
げることが出来、その層厚としては一般に０７μｍ−左
／ｌ　ｒｎ　＋好捷しくけ０２μｍ〜３μｍとされるの
が望−ましい。

下部層２０７は、主に熱発生部２／、２より発生ずる熱
の支持体２０乙側への流れを制御する層として設けられ
るもので、熱作用部２０左に於いて液体に熱エネルギー
を作用させる場合には、熱発生部、２７．２より発生す
る熱が熱作用部ノθ左側にＪ：り多く流れるようにし、
電気熱変換体、２ｏ／への通電がＯＦＩｉ’された際に
は、熱発生部、２／２に残存している熱が、支持体ノθ
乙側に速やかに流れる様に構成材料の選択と、その層厚
の設計が成される。下部層、、２０りを構成する材料と
しては、先に挙げ′ｋｓｊ、（→２の他に酸化ジルコニ
ウム、酸化タンタル、酸化マグネシウム、酸化アルミニ
ウム等の金属酸化物に代表される無機質利相が挙げられ
る。

発熱抵抗層：２０ｇを構成する月相は、通電されること
によって、所望通りの熱が発生するものであれば大概の
ものが採用され得る。

その様な材料としては、具体的には例えば窒化タンタル
、ニクロム、銀−パラジウム合金、ンリコン半導体、或
いはハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン、タ
ンタル、タングステン、モリブテン、ニオブ、りｒＪ　
Ａ　、バナジウム等の金属の硼化物等が好寸しいものと
して挙げられる。

これ等の発熱抵抗層、２０ｇを構成する材料の中、殊に
金属硼化物が優れたものとして挙げることが出来、その
中でも最も特性の優れているのが０１１１化ハフニウム
であり、次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化
タンタル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となってい
る。

発熱抵抗層、２０ｇは、」−記した材料を使用して、電
子ビーム蒸着やスパッターリング等の手法を用いて形成
することが出来る。

溝付板２０３及び熱作用部、、２０！；の上流側に設け
られる共通液室構成部材を構成する材料としては、記録
ヘッドの工作時の、或いは使用時の環境下に於いて形状
に熱的影響を受けないか或いは殆んど受けないものであ
って微細精密加工が容易に適用され得ると共に面積度が
所望通りに容易に出、更には、それ等によって形成され
る流路中を液体がスムーズに流れ得る様に加工し得るも
のであれば、大概のものが有効である。

第１図（ｃ）は、第１図（ｂｉに示す一点鎖線Ｂ　Ｂ’
で切断した場合の切断面部分図である。

第１図に示しだ液体噴射記録ヘッド２００は第１図（６
，１に示す様に、電極間分離層ス／ｑは電極上部には設
けられていないが、変形例として電極上部にもこの層、
２／ｑを設けても良い。この場合にはもしこの層、２／
ダが」一部層２７／のうちの層２／乙の特性を兼ね備え
ている場合は層、２／乙を設ける必要性は々く、寸だ、
−１一部層、２／／全ての機能をこの層、２．／ｑがも
つ場合は、」二部層２／／を設けず、この層、２／ψが
直接インク（液体）と接する構造であっても良い。

以下、本発明を実施例に従って説明する。

〈実施例〉 ８ｉウエハを熱酸化によりＳμｍ厚のＳ　ｉ、０２膜を
形成し基板とした。基板にス・くツタにより発熱抵抗層
としてＨｆＢ２を：１００ＯＮの厚みに形成し、続いて
フオ）　ＩＪソ工程により発熱抵抗体のノ（タ一層５Ｏ
Ａ、Ａ／？層１００００ｋを連続的に堆積した。

次に、第１図（ｄ、）の如きパターンをフォトリソによ
り形成し、Ａ、ｌ露出部を陽極酸化して電極間分離層部
及び電極部を形成した。

以下に、Ａｅｌ露出部陽極酸化工程を示す。

発熱抵抗層が所定のパターンに形成され、導電材料のＡ
／がその上を覆った支持体を洗浄、乾燥後ホトレジスト
ＯＭ　Ｒ・−ｇ３（東京応化製）をスピンナーで塗布し
、乾燥後マスクアライナ−を用いて露光し、現像処理を
行ない所望の陽極酸化用パターンを得た。

次に、／　Ｑ　％　Ｈ３ＰＯ４溶液を用い、浴温１０ｃ
で電流密度左ｍ　Ａ、　／　ｃｒｄ　、対電極をＰ　ｔ
として、７．２分間陽極酸化した。（陽極酸化中は試別
はジグに固定し電解浴は充分スターラーにより攪拌を行
った。）水洗、乾燥後ＯＭＲ・用剥離液でホトレジスト
を剥離した後、充分洗浄、乾燥し、電極間分離層部及び
電極部の形成工程を終えた。

電極間分離層部及び電極部の形成に続いてＳ】０２スパ
ッタ層ヲハイレートスパッタによりａ、２μｍ堆積させ
、更にＴａの０．　、！ｉ−μｍミー８ｍスパッタａ層
を積層１−だ。このＴ／Ｊ基板上に溝付ガラス板を所定
通りに接着した。即ち、第２図（１〕）に示しであるの
と同様にゴ／Ｊ基板にインク導入流路と熱作用部を形成
する為の溝付ガラス板（５０８ｍＸ５０μｉｎ長さ２層
ｍ）を接着した。

この」；うに１〜で液体噴射記録ヘットを作成した。

この様にして作成した記録ヘッドの′１ｌ（ｊ伝熱変換
体に／θμｓの、７０Ｖの’（ｆｊ形電圧をｇ　ｏ　ｏ
　ｒ−ｒ　Ｚ　テ印加すると印加信号に応じて液体がオ
リフィスから吐出されて、飛翔的液層が安定的に形成さ
れた。

この様々液滴の形成を繰り返すと製造不良のヘッドに於
いてはＡ、　ｅ電極の電飾やＴ”　ｎ保護層とＡＩ！電
極間の絶縁破壊などにより断線が生じインクを吐出しな
く力る。この時点での１操返し数を而」久回数という。

この耐久回数と、製品歩留りを ｆａｌ　　本実施例の構成による記録ヘット（ｂｉ　　
本実施例によらず、電極部をエツチングによりパターニ
ングして形成した記録ヘッド（比較例） （ｃｉ　　本発明の実施例の一つであるが、後記する方
法により電極上部にも電接間分離層を形成した記録ヘッ
ト の３例について求めた結果（各々サンプル数７０００に
ついて評価した）を第１表に示す。但し、歩留りは配線
のパターニング後、ショー１−　、ブリッジ、断線のチ
ェックによって評価した結果である。

第　　／　　表 第７表の結果から明らかなように本発明のヘッドでは耐
久回数ノ０　回を安定して達成出来る。

従ってマルチヘッドとしての使用に適している。

まだ、本発明によってパターニング後の歩留りは飛躍的
に向上する。

さらに、（ａ）構成のヘッドにおいては、電極部とＴａ
層との絶縁破壊による耐久劣下が見られたがＩｃｌ構成
においては、上記絶縁破壊は全く皆無であった。このこ
とは、電極部を形成する際電極上部にも無機絶縁層を形
成することにより、５１０２のピンホールによる１制久
住劣化が防がれたためである。

即ち本発明の様に電極部と電極間分離層部を陽極酸化法
によって形成すると、記録ヘッドの信頼性、製品歩留り
等が極端に向−」ニし、咀に電極部−１−にも変質層を
形成することによっては保護層（Ｓ　］、０２層）の欠
陥による耐久性劣化も皆無とすることができる。

本実施例においては、電気化学的な陽極酸化を用いて酸
化層の形成を行ったが、他の部分への悪影響が々ければ
、加熱酸化によって酸化層を形成しても良く、また膜質
に問題が々ければ、酸化剤による処理等による化学的な
酸化によって酸化層を形成してもかまわない。

さらに、無機絶縁材料、２７ｑは酸化物に限らず窒化、
硼化、炭化等によって窒化物、硼化物、炭化物等を形成
しても良い。

寸だ、層、２７グの形成方法は本実施例（ａ）において
は、第２図（ｃ］、１のように、電極部」二部には設け
ていないが、前述したように電極上部にも設けても１１
＜（実施例（ｃｌ　）　、、その形成方法は第３図（ａ
）のごとく−二段に処理を分けても、第３図（わ）のご
とく、最初に電（左部が凸となる、］：うにパターニン
グしておき、次に全体を処理して電極部を形成する方法
をと゛つても良い。

さらに、本実施例にｊ・・ける陽＋ジ酸化法にトいては
、りん酸浴による陽極酸化法であるが、これは陽極化成
かり能で、前述の特Ｖトをもつ無機絶縁層が形成できる
電解浴なら何でも良く、例えば硫酸。

しゆう酸、クエン酸、酒石酸、クロｌ、酸、ホウ酸等が
挙けられ、それらの混浴でもが捷ゎない。まだ、′Ｆｈ
ＩＮ条件ｄ１成膜された層、２／ｑが前述の特性を得る
条件であれば良く。さらに、ピンホールを減少させるだ
めに、封有処理、もしくは、ホウ酸十ホウ酸すトリウム
等の中性浴で二次電解することによるｐｏｒｅ　−ｆｉ
−］１ｊ、ｎｇｌ、た場合は、さらに良い特性を備えだ
嘆質となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌ　、　ｆｂｌは夫々、従来の記録ヘッドを
説明する為のもので、第１図（ａ、）　ｆｉ、模式的正
面部分図、第１図（１））は第１図（ａ）のＸ　Ｘ／一
点鎖線での切断面部分図、第２図（ａ、）、（わ）　、
　Ｌｃ）、　（ｄ、ｌけ夫々本発明の記録ヘッドの実施
態様の７つを説明する為のもので、第２図（ａ、）は模
式的正面部分図、第２図（１））は第２図（ａ）に示す
Ａ　Ａ／一点鎖線での切断面部分図、第２図（ｃｉは第
２図（ｂ）に示すＲ１１’一点鎖線での切断（２）部分
図、第２図（ｄｉに１ブｌ”　／　Ｊ基板の模式的平面
部分図、第３図＋ａ、ｉ　、　（ｂ）は他の実施例にお
けるｌ”　／　、１基板の模式的切断面図で第２図（（
・）に相当する。 １０／、、２００　　　記録ヘッド １０．２，２０７　　　電気熱変換体 ／θ３．　．２０２　　　　基　　　　　板ＩＯ’ｌ、
２０３　　　　溝　　付　　根１０３．２／ｇ　　　オ
リフィス １０乙、、、２０’ｌ−液　　流　　路／θ７　　　　
　熱作用部 １０ｇ、、２／、２　熱発生部 １０９、２／、３　　　熱作用面 ２０乙　　　支　　持　　体 ／１０．．２０７　　下部層 ／／／、、、２θｇ　　発熱抵抗層 ／／、２．．２／／　　　　上　　部　　層、２／乙 、２／７ ！／グ　　電極間分離層 ／／３．．２０９　　　電極（共通） ／／’ｌ、、２１０　　　電極（選択）第１図（ａ） 第２図（ｄ） 第３因（ａ） 第３図（ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体を吐出して飛翔的液滴を形成する為に設けら
   れたオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を
   形成する為の熱エネルギーが液体に作用する部分である
   熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部
   と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続して
   、少なくとも一対の対置する電極が設けられ、これ等電
   極の間に熱発生部が形成されている電気熱変換体とを具
   備する液体噴射記録ヘッドに於いて、発熱抵抗層上の電
   極部以外の部分には電極間分離層が設けられており、少
   なくとも該電極間分離層が、電極を形成する導電性材料
   を変質して無機絶縁材料化することによって形成された
   ものであることを特徴とする液体噴射記録ヘット６（２
   １該電極間分離層が電接部上にも形成されている特許請
   求の範囲第１項記載の液体噴射記録ヘッド。