JPS60116452A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPS60116452A JPS60116452A JP58224265A JP22426583A JPS60116452A JP S60116452 A JPS60116452 A JP S60116452A JP 58224265 A JP58224265 A JP 58224265A JP 22426583 A JP22426583 A JP 22426583A JP S60116452 A JPS60116452 A JP S60116452A
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2002/14379—Edge shooter
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液体を噴射し、飛翔液滴を形成して記録を行
なう液体噴射記録ヘッドに関する。
なう液体噴射記録ヘッドに関する。
インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、高速記録が可能でありしかも所謂普通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点におい
て、最近関心を集めている。
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、高速記録が可能でありしかも所謂普通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点におい
て、最近関心を集めている。
その中で、例えば特開昭５４−５１８３７号公報、ドイ
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４ 号公報に記載さ
れている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に作用
させて、液滴吐出の原動力を得るという点において、他
の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４ 号公報に記載さ
れている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に作用
させて、液滴吐出の原動力を得るという点において、他
の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。
即ち、上記の公報に開示された記録法は、熱エネルギー
の作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化
を起し、該状態変化に基づく作用力によって、記録ヘッ
ド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔的液
滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行な
われる。
の作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化
を起し、該状態変化に基づく作用力によって、記録ヘッ
ド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔的液
滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行な
われる。
殊に、ＤＯＬＳ ２８４３０６４号公報に開示されてい
る液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎ
ｄ 記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく、
記録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マル
チオリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化できる
ので、高解像度、高品質の画像を高速で得られるという
特徴を有している。
る液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎ
ｄ 記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく、
記録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マル
チオリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化できる
ので、高解像度、高品質の画像を高速で得られるという
特徴を有している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出するために設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出するための熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段
としての電気熱変換体とを具備している。
を吐出するために設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出するための熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段
としての電気熱変換体とを具備している。
そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続しこれ等の電極の間に発熱する領域（熱発生
部）を有する発熱抵抗層とを具備している。
電極に接続しこれ等の電極の間に発熱する領域（熱発生
部）を有する発熱抵抗層とを具備している。
このような液体噴射記録ヘッドの構造を示す典型的な例
が、第１図（ａ）、及び第１図（ｂ）、第１図（Ｃ）に
示される。第１図←）は、液体噴射記録ヘッドのオリフ
ィス側から見た正面部分図であり、第１図（１））は、
第１図（ａ）に一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合
の切断面部分図であり、第１図（Ｃ）は基板平面図であ
る。
が、第１図（ａ）、及び第１図（ｂ）、第１図（Ｃ）に
示される。第１図←）は、液体噴射記録ヘッドのオリフ
ィス側から見た正面部分図であり、第１図（１））は、
第１図（ａ）に一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合
の切断面部分図であり、第１図（Ｃ）は基板平面図であ
る。
記録ヘッド１００は、その表面に電気熱変換体１０１が
設けられている基板１０２０表面を、所定の線密度で所
定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝付板１０３
で覆うように接合することによって、オリフィス１０４
と液吐出部１０５が形成された構造を有している。図に
示す記録ヘッドの場合には、オリフィス１０４を複数有
するものとして示されているが、勿論本発明においては
このようなものに限定されるものではなく、単一オリフ
ィスの記録ヘッドも本発明の範噴にはいるものである。
設けられている基板１０２０表面を、所定の線密度で所
定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝付板１０３
で覆うように接合することによって、オリフィス１０４
と液吐出部１０５が形成された構造を有している。図に
示す記録ヘッドの場合には、オリフィス１０４を複数有
するものとして示されているが、勿論本発明においては
このようなものに限定されるものではなく、単一オリフ
ィスの記録ヘッドも本発明の範噴にはいるものである。
液吐出部１０５は、その終端に液体を吐出させるための
オリフィス１０４と、電気熱変換体１０１より発生され
る熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生し、その体
積の膨張と収縮に依る急激な状態変化を引き起す箇所で
ある熱作用部１０６とを有する。
オリフィス１０４と、電気熱変換体１０１より発生され
る熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生し、その体
積の膨張と収縮に依る急激な状態変化を引き起す箇所で
ある熱作用部１０６とを有する。
熱作用部１０６は、電気熱変換体１０１の熱発生部１０
７の上部に位置し、熱発生部１０７の液体と接触する面
としての熱作用面１０８をその底面としている。
７の上部に位置し、熱発生部１０７の液体と接触する面
としての熱作用面１０８をその底面としている。
熱発生部１０７は、基板１０２上に設けられた下部層１
０９、該下部層１０９上に設けられた発熱抵抗層１１０
、該発熱抵抗層１１０上に設けられた第１の保護層１１
１とで構成される。発熱抵抗層１１０には、熱を発生さ
せるために該層１１０に通電するための電極１１３，１
１４がその表面に設けられである。電極１１３は、各液
吐出部の熱発生部に共通の電極であり、電極１１４は、
各液吐出部の熱発生部を選択して発熱させるための選択
電極であって、液吐出部の液流路に沿って設けられてい
る。
０９、該下部層１０９上に設けられた発熱抵抗層１１０
、該発熱抵抗層１１０上に設けられた第１の保護層１１
１とで構成される。発熱抵抗層１１０には、熱を発生さ
せるために該層１１０に通電するための電極１１３，１
１４がその表面に設けられである。電極１１３は、各液
吐出部の熱発生部に共通の電極であり、電極１１４は、
各液吐出部の熱発生部を選択して発熱させるための選択
電極であって、液吐出部の液流路に沿って設けられてい
る。
第１．の保護層１１１は、熱発生部１０７に於いては発
熱抵抗層１１０を、使用する液体から化学的、物理的に
保護するために発熱抵抗層１１０と液吐出部１０５の液
流路を満たしている液体とを隔絶すると共に、液体を通
じて電極１１３，１１４５− 間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層１１０の保護的
機能を有している。また、第１の保護層１１１は、隣接
する電極間に於ける電気的リークを防止する役目も荷っ
ている。殊に、各選択電極間に於ける電気的リークの防
止、或いは各液流路下にある電極が何等かの理由で電極
と液体とが接触し、これに通電することによって起る電
極の電蝕の防止は重要であって、このためにこのような
保護層的機能を有する第１の保護層１１１が少なくとも
液流路下に存在する電極上には設けられている。
熱抵抗層１１０を、使用する液体から化学的、物理的に
保護するために発熱抵抗層１１０と液吐出部１０５の液
流路を満たしている液体とを隔絶すると共に、液体を通
じて電極１１３，１１４５− 間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層１１０の保護的
機能を有している。また、第１の保護層１１１は、隣接
する電極間に於ける電気的リークを防止する役目も荷っ
ている。殊に、各選択電極間に於ける電気的リークの防
止、或いは各液流路下にある電極が何等かの理由で電極
と液体とが接触し、これに通電することによって起る電
極の電蝕の防止は重要であって、このためにこのような
保護層的機能を有する第１の保護層１１１が少なくとも
液流路下に存在する電極上には設けられている。
更に、各液吐出部に設けられている液流路は、その上流
に於いて、該液流路に供給する液体を貯える共通液室（
不図示）に連通しているが、各液吐出部に設けられた電
気熱変換体に接続されている電極は、その設計上の都合
により、熱作用部の上流側に於いて前記共通液室下に通
るように設けられるのが一般的である。従って、この部
分に於いても電極が液体と接触するのを防止すべく前記
した上部層が設けられるのが一般的である。
に於いて、該液流路に供給する液体を貯える共通液室（
不図示）に連通しているが、各液吐出部に設けられた電
気熱変換体に接続されている電極は、その設計上の都合
により、熱作用部の上流側に於いて前記共通液室下に通
るように設けられるのが一般的である。従って、この部
分に於いても電極が液体と接触するのを防止すべく前記
した上部層が設けられるのが一般的である。
６−
前記のように発熱抵抗層１１０上には、使用する液体か
ら化学的、物理的に保護すると共に液体を通じて電極間
が短絡するのを防止するために上部層１１１を設けてい
る。上部層１１１を構成する材料としては、被覆性の点
からは有機樹脂が好ましいが、耐熱性に劣るため、熱発
生部に使用することができない。そこで、比較的熱伝導
性及び耐熱性に優れた無機酸化物、金属酸化物等を蒸着
法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の方法で成膜する際
に、膜厚を厚くすることにより耐熱性の向上を計ってい
た。
ら化学的、物理的に保護すると共に液体を通じて電極間
が短絡するのを防止するために上部層１１１を設けてい
る。上部層１１１を構成する材料としては、被覆性の点
からは有機樹脂が好ましいが、耐熱性に劣るため、熱発
生部に使用することができない。そこで、比較的熱伝導
性及び耐熱性に優れた無機酸化物、金属酸化物等を蒸着
法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の方法で成膜する際
に、膜厚を厚くすることにより耐熱性の向上を計ってい
た。
しかしながら、上部層１１１を厚くすればする程、耐熱
性は向上するが、発熱抵抗層１１０において発生する熱
エネルギーは上部層１１１で失われ、液体に作用する熱
エネルギーは減少する。そこで液体に作用する十分なエ
ネルギーを確保するためには発熱量を増加させなげれば
ならず、発熱量を増加させれば発熱抵抗層の劣化を早め
ることになる。
性は向上するが、発熱抵抗層１１０において発生する熱
エネルギーは上部層１１１で失われ、液体に作用する熱
エネルギーは減少する。そこで液体に作用する十分なエ
ネルギーを確保するためには発熱量を増加させなげれば
ならず、発熱量を増加させれば発熱抵抗層の劣化を早め
ることになる。
一方、電極の厚さは、配線抵抗値及びその他の条件を考
慮に入れ、信頼性を確保できる厚さを決定する。上部層
は熱発生部と電極を設けた部分とにできる段差を被覆す
るのに十分な厚さを要求される。従って、電極の厚さが
厚くなければ、上部層の厚さも厚くならざるを得す、ま
た、第２図に示すように電極の端部を覆う上部層は肉薄
となり易く、エネルギー発生時にはこの肉薄部にクラッ
クが発生する要因となり、耐久性上の問題を有するもの
であった。
慮に入れ、信頼性を確保できる厚さを決定する。上部層
は熱発生部と電極を設けた部分とにできる段差を被覆す
るのに十分な厚さを要求される。従って、電極の厚さが
厚くなければ、上部層の厚さも厚くならざるを得す、ま
た、第２図に示すように電極の端部を覆う上部層は肉薄
となり易く、エネルギー発生時にはこの肉薄部にクラッ
クが発生する要因となり、耐久性上の問題を有するもの
であった。
本発明は上記の諸点に鑑みなされたものであって、発熱
抵抗層の劣化を招くことなく耐熱性に優れ、頻繁なる繰
返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な耐久性に
優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に亘って安定的
に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供することを主た
る目的とする。
抵抗層の劣化を招くことなく耐熱性に優れ、頻繁なる繰
返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な耐久性に
優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に亘って安定的
に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供することを主た
る目的とする。
また、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性
の高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。
の高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。
更には、マルチオリフィス化した場合にも製造歩留りの
高い液体噴射記録ヘッドを提供するととでもある。
高い液体噴射記録ヘッドを提供するととでもある。
本発明の液体噴射記録ヘッドは、液体を吐出して飛翔的
液滴を形成するために設けられたオリフィスと、該オリ
フィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギ
ーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部と
する液流路とを有する液吐出部と、該流路に供給する前
記液体を貯える共通液室と、基板上に設けられた発熱抵
抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置する電
極が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されて
いる電気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドに於
いて、前記電極の少なくとも前記熱発生部に接する部分
の近傍の膜厚を電極の他の部分と比較して薄（したこと
を特徴とする。
液滴を形成するために設けられたオリフィスと、該オリ
フィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギ
ーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部と
する液流路とを有する液吐出部と、該流路に供給する前
記液体を貯える共通液室と、基板上に設けられた発熱抵
抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置する電
極が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されて
いる電気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドに於
いて、前記電極の少なくとも前記熱発生部に接する部分
の近傍の膜厚を電極の他の部分と比較して薄（したこと
を特徴とする。
以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドを具体
的に説明する。
的に説明する。
第２図（ａ）は、第１図（ｂ）に相当する本発明の液体
噴射記録ヘッドの好適な実施態様例である。電極２１３
．２１４は配線における抵抗値増加及び信頼性に対する
考慮を行なった上で、熱発生部２０７９− に接する部分の近傍を他の部分に比べ薄く形成しである
。
噴射記録ヘッドの好適な実施態様例である。電極２１３
．２１４は配線における抵抗値増加及び信頼性に対する
考慮を行なった上で、熱発生部２０７９− に接する部分の近傍を他の部分に比べ薄く形成しである
。
図に示される液体噴射記録ヘッド２００は、所望数の電
気熱変換体２０１が設けられた熱を液吐出に利用する液
体噴射記録（バブルジエツ）：ＢＪと略記する）用の基
板２０２と、前記電気熱変換体２０１に対応して設けら
れた溝を所望数布する溝付板２０３とでその主要部が構
成されている。
気熱変換体２０１が設けられた熱を液吐出に利用する液
体噴射記録（バブルジエツ）：ＢＪと略記する）用の基
板２０２と、前記電気熱変換体２０１に対応して設けら
れた溝を所望数布する溝付板２０３とでその主要部が構
成されている。
ＢＪ基板２０２と溝付板２０３とは、所定個所で接着剤
等で接合されることでＢＪ基板２０２の電気熱変換体２
０１の設げられている部分と、溝付板２０３の溝の部分
とによって液流路２０５を形成しており、該液流路２０
５は、その構成の一部に熱作用部２０６を有する。
等で接合されることでＢＪ基板２０２の電気熱変換体２
０１の設げられている部分と、溝付板２０３の溝の部分
とによって液流路２０５を形成しており、該液流路２０
５は、その構成の一部に熱作用部２０６を有する。
ＢＪ基板２０２は、シリコン、ガラス、セラミックス等
で構成されている支持体２１５と、該支持体２１５上に
８１０２等で構成される下部層２０９と、発熱抵抗層２
１０と、発熱抵抗層２１０の上面の両側には液流路２０
５に清って共通電極２１３及び選択電極２１４と、発熱
抵抗層２１０の電極１０− で被覆されてない部分及び電極２１３，２１４の部分を
覆う様に第１の保護層２１１と、選択電極２１４の上部
には第１の保護層２１１の上面に更に第２の保護層２１
２とを具備している。
で構成されている支持体２１５と、該支持体２１５上に
８１０２等で構成される下部層２０９と、発熱抵抗層２
１０と、発熱抵抗層２１０の上面の両側には液流路２０
５に清って共通電極２１３及び選択電極２１４と、発熱
抵抗層２１０の電極１０− で被覆されてない部分及び電極２１３，２１４の部分を
覆う様に第１の保護層２１１と、選択電極２１４の上部
には第１の保護層２１１の上面に更に第２の保護層２１
２とを具備している。
電気熱変換体２０１は、その主要部として熱発生部２０
７を有し、熱発生部２０７は、支持体２１５上に支持体
２１５側から順次、下部層２０９、発熱抵抗層２１０、
第１の保護層２１１で構成されており、第１の保護層２
１１の表面（熱作用面２０８）は、液流路２０５を満た
している液体と直接接触している。
７を有し、熱発生部２０７は、支持体２１５上に支持体
２１５側から順次、下部層２０９、発熱抵抗層２１０、
第１の保護層２１１で構成されており、第１の保護層２
１１の表面（熱作用面２０８）は、液流路２０５を満た
している液体と直接接触している。
一方、選択電極２１４のほぼ大部分の表面は第１の保護
層２１１、第２の保護層２１２が電極側よりこの順で積
層されてなる上部層により覆われ、該上部層はこのまま
の形で液流路２０５の上流に設けられる共通液室の底面
部分にも設けられる。
層２１１、第２の保護層２１２が電極側よりこの順で積
層されてなる上部層により覆われ、該上部層はこのまま
の形で液流路２０５の上流に設けられる共通液室の底面
部分にも設けられる。
第２図（ａ）に示すように電極２１３，２１４の熱発生
部２０７に接する部分の近傍を他の部分に比べ薄く形成
しであるので電極２１３，２１４と、発熱抵抗層２１０
の表面との段差、電極の薄く形成された部分とそうでな
い部分の段差はいずれも小さく、第１の保護層はこの小
さい段差を被覆すれば足り、段差部において肉薄部が形
成されることもない。
部２０７に接する部分の近傍を他の部分に比べ薄く形成
しであるので電極２１３，２１４と、発熱抵抗層２１０
の表面との段差、電極の薄く形成された部分とそうでな
い部分の段差はいずれも小さく、第１の保護層はこの小
さい段差を被覆すれば足り、段差部において肉薄部が形
成されることもない。
第２図に示される液体噴射記録ヘッド２００の場合には
、共通電極２１３の上層には第２の保護層２１２が設け
られていない構造を有するが、本発明に於いては、これ
に限定されることはなく、選択電極２１４の上層と同様
に第２の保護層を設けてもよい。しかしながら、第２図
に示す構造の液体噴射記録ヘッドの場合、各液吐出部に
おける液流路２０５の熱作用面２０８よりオリフィス側
の表面位置と熱作用面２０８との表面位置の段差が少な
くてすむため、第２の保護層を共通電極２１３上にも設
けた場合に比べて、液流路の底面が比較的滑らかである
ので、液体の流れが円滑であって液滴の形成が安定的に
行なわれる。しかしながら、熱作用面２０８よりオリフ
ィス側の表面位置と、熱作用面２０８の表面位置との段
差が、液流路２０５の上面と熱作用面２０８の距離に比
べて実質的に無視し得る程に小さければ液滴形成の安定
性にはそれ程影響がない。従ってこの範囲内であれば、
熱作用面２０８よりオリフィス側の共通電極の上層に第
２の保護層を設けることも設けないことも可能である。
、共通電極２１３の上層には第２の保護層２１２が設け
られていない構造を有するが、本発明に於いては、これ
に限定されることはなく、選択電極２１４の上層と同様
に第２の保護層を設けてもよい。しかしながら、第２図
に示す構造の液体噴射記録ヘッドの場合、各液吐出部に
おける液流路２０５の熱作用面２０８よりオリフィス側
の表面位置と熱作用面２０８との表面位置の段差が少な
くてすむため、第２の保護層を共通電極２１３上にも設
けた場合に比べて、液流路の底面が比較的滑らかである
ので、液体の流れが円滑であって液滴の形成が安定的に
行なわれる。しかしながら、熱作用面２０８よりオリフ
ィス側の表面位置と、熱作用面２０８の表面位置との段
差が、液流路２０５の上面と熱作用面２０８の距離に比
べて実質的に無視し得る程に小さければ液滴形成の安定
性にはそれ程影響がない。従ってこの範囲内であれば、
熱作用面２０８よりオリフィス側の共通電極の上層に第
２の保護層を設けることも設けないことも可能である。
第１の保護層２１１を構成する材料としては、比較的熱
伝導性及び耐熱性に優れた無機質絶縁材料が適している
。例えば５ｉ０２ 等の無機酸化物や、酸化チタン、酸
化バナジウム、酸化ニオブ、酸化モリブデン、酸化タン
タル、酸化タングステン、酸化クロム、酸化ジルコニウ
ム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸化イツトリウム
、酸化マンガン等の遷移金属酸化物、更に酸化アルミニ
ウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリ
ウム、酸化シリコン、等の金属酸化物及びそれらの複合
体、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ボロン、窒
化タンタル等高抵抗窒化物及びこれら酸化物、窒化物の
複合体、更にアモルファスシリコン、アモルファスセレ
ン等の半導体などバルクでは低抵抗であってもスパッタ
リング法、ＣＶＤ法、１３− 蒸着法、気相反応法、液体コーティング法等の製造過程
で高抵抗化し得る薄膜材料を挙げることができる。
伝導性及び耐熱性に優れた無機質絶縁材料が適している
。例えば５ｉ０２ 等の無機酸化物や、酸化チタン、酸
化バナジウム、酸化ニオブ、酸化モリブデン、酸化タン
タル、酸化タングステン、酸化クロム、酸化ジルコニウ
ム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸化イツトリウム
、酸化マンガン等の遷移金属酸化物、更に酸化アルミニ
ウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリ
ウム、酸化シリコン、等の金属酸化物及びそれらの複合
体、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ボロン、窒
化タンタル等高抵抗窒化物及びこれら酸化物、窒化物の
複合体、更にアモルファスシリコン、アモルファスセレ
ン等の半導体などバルクでは低抵抗であってもスパッタ
リング法、ＣＶＤ法、１３− 蒸着法、気相反応法、液体コーティング法等の製造過程
で高抵抗化し得る薄膜材料を挙げることができる。
第２の保護層２１２は、液浸透防止と耐液作用に優れた
有機質絶縁材料で構成され、更には、■成膜性が良いこ
と、■緻密な構造でかつピンホールが少ないこと、■使
用インクに対し膨潤、溶解しないこと、■成膜したとき
絶縁性が良いこと、■耐熱性が高いこと等の物性を具備
していることが望ましい。そのような有機質材料として
は以下の樹脂、例えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、
芳香族ポリアミド、付加重合型ポリイミド、ポリベンズ
イミダゾール、金属キレート重合体、チタン酸エステル
、エポキシ樹脂、フタル酸樹脂、熱硬化性フェノール樹
脂、Ｐ−ビニルフェノール樹脂、ザイロック樹脂、トリ
アジン樹脂、ＢＴ樹脂（トリアジン樹脂とビスマレイミ
ド付加重合樹脂）等が挙げられる。又、この他に、ポリ
キシリレン樹脂及びその誘導体を蒸着して第２の保護層
２１２を形成することもできる。
有機質絶縁材料で構成され、更には、■成膜性が良いこ
と、■緻密な構造でかつピンホールが少ないこと、■使
用インクに対し膨潤、溶解しないこと、■成膜したとき
絶縁性が良いこと、■耐熱性が高いこと等の物性を具備
していることが望ましい。そのような有機質材料として
は以下の樹脂、例えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、
芳香族ポリアミド、付加重合型ポリイミド、ポリベンズ
イミダゾール、金属キレート重合体、チタン酸エステル
、エポキシ樹脂、フタル酸樹脂、熱硬化性フェノール樹
脂、Ｐ−ビニルフェノール樹脂、ザイロック樹脂、トリ
アジン樹脂、ＢＴ樹脂（トリアジン樹脂とビスマレイミ
ド付加重合樹脂）等が挙げられる。又、この他に、ポリ
キシリレン樹脂及びその誘導体を蒸着して第２の保護層
２１２を形成することもできる。
１４−
更に、種々の有機化合物モノマー、例えばチオウレア、
チオアセトアミド、ビニルフェロセン、１．３．５−）
ＩＪ クロロベンゼン、クロロベンゼン、スチレン、
フェロセン、ピロリン、ナフタレン、ペンタメチルベン
ゼン、ニトロトルエン、アクリロニトリル、ジフェニル
セレナイド、Ｐ−トルイジン、Ｐ−キシレン、Ｎ、Ｎ−
ジメチル−Ｐ−）ルイジン、トルエン、アニリン、ジフ
ェニルマーキュＩＪ−、ヘキサメチルベンゼン、マロン
ニトリル、テトラシアノエチレン、オチフエン、ベンゼ
ンセレノール、テトラフルオロエチレン、エチレン、Ｎ
−ニトロソジフェニルアミン、アセチレン、１゜２．４
−トリクロロベンゼン、プロパン、等を使用してプラズ
マ重合法によって成膜させて、第２の保護層２１２を形
成することもできる。
チオアセトアミド、ビニルフェロセン、１．３．５−）
ＩＪ クロロベンゼン、クロロベンゼン、スチレン、
フェロセン、ピロリン、ナフタレン、ペンタメチルベン
ゼン、ニトロトルエン、アクリロニトリル、ジフェニル
セレナイド、Ｐ−トルイジン、Ｐ−キシレン、Ｎ、Ｎ−
ジメチル−Ｐ−）ルイジン、トルエン、アニリン、ジフ
ェニルマーキュＩＪ−、ヘキサメチルベンゼン、マロン
ニトリル、テトラシアノエチレン、オチフエン、ベンゼ
ンセレノール、テトラフルオロエチレン、エチレン、Ｎ
−ニトロソジフェニルアミン、アセチレン、１゜２．４
−トリクロロベンゼン、プロパン、等を使用してプラズ
マ重合法によって成膜させて、第２の保護層２１２を形
成することもできる。
しかしながら、高密度マルチオリフィスタイプの記録ヘ
ッドを作成するのであれば、上記した有機質材料とは別
に微細フォトリソグラフィー加工が極めて容易とされる
有機質材料を第２の保護層２１２を形成する材料として
使用するのが望ましい。そのような有機質材料としては
具体的には、例えば、ポリイミドイソインドロキナゾリ
ンジオン（商品名：ＰＩＱ、日立化成製）、ポリイミド
樹脂（商品名： ＰＹＲＡＬＩＮ、デュポン製）、環化
ポリブタジェン（商品名： ＪＳＲ−ＣＢＲ，ＣＢＲ−
Ｍ９０１． 日本合成ゴム製）、フォトニース（商品名
：東し製）、その他の感光性ポリイミド樹脂等が好まし
いものとして挙げられる。
ッドを作成するのであれば、上記した有機質材料とは別
に微細フォトリソグラフィー加工が極めて容易とされる
有機質材料を第２の保護層２１２を形成する材料として
使用するのが望ましい。そのような有機質材料としては
具体的には、例えば、ポリイミドイソインドロキナゾリ
ンジオン（商品名：ＰＩＱ、日立化成製）、ポリイミド
樹脂（商品名： ＰＹＲＡＬＩＮ、デュポン製）、環化
ポリブタジェン（商品名： ＪＳＲ−ＣＢＲ，ＣＢＲ−
Ｍ９０１． 日本合成ゴム製）、フォトニース（商品名
：東し製）、その他の感光性ポリイミド樹脂等が好まし
いものとして挙げられる。
更に第３の保護層を最表層に設けることもできる。第３
の保護層の役割は、主に耐液性と機械的強度の補強の付
与にある。この第３の保護層は、液流路２０５及び共通
液室のような液体と接触する可能性のあるＢＪ基板のほ
ぼ全面に最表層とし対して密着性と接着性のある、例え
ば層２１１が５ｉ０２で形成されている場合にはＴａ等
の金属材料で構成される。このように基板の表面層に金
属等の比較的粘りがあって機械的強度のある無機材料で
構成される第３の保護層を配設することによって、特に
熱作用面２０８に於いて、液体吐出の際に生ずるキャビ
テーション作用からのショックを充分吸収することがで
き、電気熱変換体２０１の寿命を格段に延ばす効果があ
る。
の保護層の役割は、主に耐液性と機械的強度の補強の付
与にある。この第３の保護層は、液流路２０５及び共通
液室のような液体と接触する可能性のあるＢＪ基板のほ
ぼ全面に最表層とし対して密着性と接着性のある、例え
ば層２１１が５ｉ０２で形成されている場合にはＴａ等
の金属材料で構成される。このように基板の表面層に金
属等の比較的粘りがあって機械的強度のある無機材料で
構成される第３の保護層を配設することによって、特に
熱作用面２０８に於いて、液体吐出の際に生ずるキャビ
テーション作用からのショックを充分吸収することがで
き、電気熱変換体２０１の寿命を格段に延ばす効果があ
る。
第３の保護層を形成することのできる材料としては、上
記のＴａの他に、Ｓｃｍ、Ｙなどの周期律表第１ｅａ族
の元素、Ｔｉ 、 Ｚｒ 、 ＨＥなどの第ｆｆａ族の
元素、■、Ｎｂなとの第Ｖａ族の元素、Ｃｒ 、 ＭＯ
、。
記のＴａの他に、Ｓｃｍ、Ｙなどの周期律表第１ｅａ族
の元素、Ｔｉ 、 Ｚｒ 、 ＨＥなどの第ｆｆａ族の
元素、■、Ｎｂなとの第Ｖａ族の元素、Ｃｒ 、 ＭＯ
、。
Ｗなどの第■ａ族の元素、Ｆｅ 、 Ｃｏ 、 Ｎｉな
どの第Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ などの上記金属の合金； Ｔ
ｉ −Ｂ。
どの第Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ などの上記金属の合金； Ｔ
ｉ −Ｂ。
Ｔａ−Ｂ、ｔ（ｆ −Ｂ、Ｗ−Ｂなどの上記金属の硼化
物；Ｔｉ −Ｃ’、Ｚｒ −Ｃ，Ｖ−Ｃ，Ｔａ −Ｃ，
Ｍｎ−Ｃ，Ｎｉ −Ｃなどの上記金属の炭化物： Ｍｏ
−８ｉ 、Ｗ−８ｉ 、 Ｔａ −８ｉなどの上記金
属のケイ化物； Ｔｉ −Ｎ、Ｎｂ −Ｎ。
物；Ｔｉ −Ｃ’、Ｚｒ −Ｃ，Ｖ−Ｃ，Ｔａ −Ｃ，
Ｍｎ−Ｃ，Ｎｉ −Ｃなどの上記金属の炭化物： Ｍｏ
−８ｉ 、Ｗ−８ｉ 、 Ｔａ −８ｉなどの上記金
属のケイ化物； Ｔｉ −Ｎ、Ｎｂ −Ｎ。
Ｔａ−Ｎなどの上記金属の窒化物が挙げられる。第３の
保護層は、これらの材料を用いて蒸着法、スパッタリン
グ法、ＣＶＤ法等の手法により形成することができる。
保護層は、これらの材料を用いて蒸着法、スパッタリン
グ法、ＣＶＤ法等の手法により形成することができる。
第３の保護層は、上記の層単独であ１７一
つてもよいが、もちろんこれらの幾つかを組合わせるこ
ともできる。また、第３の保護層を上記のもの単独では
なく、第１の保護層の材質と糺み合わせて使用すること
も可能である。
ともできる。また、第３の保護層を上記のもの単独では
なく、第１の保護層の材質と糺み合わせて使用すること
も可能である。
下部層２０９は、主に熱発生部２０７より発生する熱の
支持体２１５側への流れを制御する層として設けられる
もので、熱作用部２０６に於いて液体に熱エネルギーを
作用させる場合には、熱発生部２０７より発生する熱が
熱作用部２０６側により多く流れるようにし、電気熱変
換体２０１への通電がＯＦＦされた際には、熱発生部２
０７に残存している熱が、支持体２１５側に速やかに流
れるように構成材料の選択と、その層厚の設計が成され
る。下部層２０９を構成する材料としては、先に挙げた
５ｉＯｚの他に酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウム等の金属酸化物に代表
される無機質材料が挙げられる。
支持体２１５側への流れを制御する層として設けられる
もので、熱作用部２０６に於いて液体に熱エネルギーを
作用させる場合には、熱発生部２０７より発生する熱が
熱作用部２０６側により多く流れるようにし、電気熱変
換体２０１への通電がＯＦＦされた際には、熱発生部２
０７に残存している熱が、支持体２１５側に速やかに流
れるように構成材料の選択と、その層厚の設計が成され
る。下部層２０９を構成する材料としては、先に挙げた
５ｉＯｚの他に酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウム等の金属酸化物に代表
される無機質材料が挙げられる。
発熱抵抗層２１０を構成する材料は、通電されることに
よって、所望通りの熱が発生するもので１８− あれば大概のものが採用され得る。
よって、所望通りの熱が発生するもので１８− あれば大概のものが採用され得る。
そのような材料としては、具体的には例えば窒化タンタ
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導体、
或いは、ハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン
、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロ
ム、バナジウム等の金属及びその合金並びにそれらの硼
化物等が好ましいものとして挙げられる。
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導体、
或いは、ハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン
、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロ
ム、バナジウム等の金属及びその合金並びにそれらの硼
化物等が好ましいものとして挙げられる。
これ等の発熱抵抗層２１０を構成する材料の中、殊に金
属硼化物が優れたものとして挙げることができ、その中
でも最も特性の優れて〜・るのが硼化ハフニウムであり
、次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。
属硼化物が優れたものとして挙げることができ、その中
でも最も特性の優れて〜・るのが硼化ハフニウムであり
、次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。
発熱抵抗層２１０は、上記した材料を使用して、電子ビ
ーム蒸着やスパッタリング等の手法を用いて形成するこ
とができる。
ーム蒸着やスパッタリング等の手法を用いて形成するこ
とができる。
電極２１３及び２１４を構成する材料としては、通常使
用されている電極材料の多くのものが有効に使用され、
具体的には例えば、ＡＩ 、 Ａｇ 、 Ａｕ。
用されている電極材料の多くのものが有効に使用され、
具体的には例えば、ＡＩ 、 Ａｇ 、 Ａｕ。
ＰＬ、 Ｃｕ等の金属が挙げられる。電極形成方法とし
ては、蒸着等の手法により厚く形成した後、薄く形成す
る部分をドライまたはウェットでエツチングする方法、
電極を薄く形成した後、薄くしておく部分をマスクして
おいて再度層を形成する方法、リフトオフによる方法が
適用できる。厚さは薄い部分で３０〜３０００Ｘ、従来
通りの厚さを有する部分で１０００λ〜１μｍ、熱作用
面の端部から少な（とも０．５μｍまでを薄くするのが
好ましい。
ては、蒸着等の手法により厚く形成した後、薄く形成す
る部分をドライまたはウェットでエツチングする方法、
電極を薄く形成した後、薄くしておく部分をマスクして
おいて再度層を形成する方法、リフトオフによる方法が
適用できる。厚さは薄い部分で３０〜３０００Ｘ、従来
通りの厚さを有する部分で１０００λ〜１μｍ、熱作用
面の端部から少な（とも０．５μｍまでを薄くするのが
好ましい。
溝付板２０３並びに熱作用部２０６の上流側に設けられ
る共通液室の構成部材を構成する材料としては、記録ヘ
ッドの工作時の、或いは使用時の環境下に於いて形状に
熱的影響を受けないか或いは殆んど受けないものであっ
て微細精密加工が容易に適用され得ると共に、面精度を
所望通りに容易に出すことができ、更には、それ等によ
って形成される流路中を液体がスムーズに流れ得るよう
に加工し得るものであれば、大概のものが有効である。
る共通液室の構成部材を構成する材料としては、記録ヘ
ッドの工作時の、或いは使用時の環境下に於いて形状に
熱的影響を受けないか或いは殆んど受けないものであっ
て微細精密加工が容易に適用され得ると共に、面精度を
所望通りに容易に出すことができ、更には、それ等によ
って形成される流路中を液体がスムーズに流れ得るよう
に加工し得るものであれば、大概のものが有効である。
そのような材料として代表的なものを挙げれば、セラミ
ックス、ガラス、金属、プラスチック或いはシリコンウ
ェハー等が好適なものとして例示される。殊に、ガラス
、シリコンウェハーは加工上容易であること、適度の耐
熱性、熱膨張係数、熱伝導性を有しているので好適な材
料の１つである。
ックス、ガラス、金属、プラスチック或いはシリコンウ
ェハー等が好適なものとして例示される。殊に、ガラス
、シリコンウェハーは加工上容易であること、適度の耐
熱性、熱膨張係数、熱伝導性を有しているので好適な材
料の１つである。
オリフィス２０４の周りの外表面は液体で漏れて、液体
がオリフ手ス２０４の外側に回り込まないように、液体
が水系の場合には撥水処理を、液体が非水系の場合には
撥油処理を施した方が良い。
がオリフ手ス２０４の外側に回り込まないように、液体
が水系の場合には撥水処理を、液体が非水系の場合には
撥油処理を施した方が良い。
オリフィス２０４の形成は、感光性樹脂を基板２０２に
貼付け、フォトリングラフイーでパターン形成しさらに
天板を貼付けることによって行なっても良い。
貼付け、フォトリングラフイーでパターン形成しさらに
天板を貼付けることによって行なっても良い。
第３図、第４図に本発明の他の実施態様を示す。
第３図、第４図は共に第１図（ｂ）に相当するものであ
る。
る。
第３図に示す実施態様では、電極２１３，２１４の薄く
形成された部分を２層構造にし、上層を耐エツチング層
にすることにより、更にその上層に形成した電極を所定
の大きさ、形状にするための２１− エツチングをより容易に行なうことができるようにした
ものである。このように電極の薄い部分を２層構造にし
なくても、薄い部分とそうでない部分を異種材料で形成
し、薄い部分を耐エツチング性の材料で、薄くない部分
を部分を比較的エツチングの容易な材料を選択すれば、
上層のみの選択エツチングが容易にできる。
形成された部分を２層構造にし、上層を耐エツチング層
にすることにより、更にその上層に形成した電極を所定
の大きさ、形状にするための２１− エツチングをより容易に行なうことができるようにした
ものである。このように電極の薄い部分を２層構造にし
なくても、薄い部分とそうでない部分を異種材料で形成
し、薄い部分を耐エツチング性の材料で、薄くない部分
を部分を比較的エツチングの容易な材料を選択すれば、
上層のみの選択エツチングが容易にできる。
第４図に示す実施態様では、電極の液流路２０５の下に
形成される部分を全て薄く形成しである。
形成される部分を全て薄く形成しである。
この態様では第２の保護層の形成を省略することが可能
であり、工程数を低減できる。この構成においても電極
を多層構造にすることも可能である。
であり、工程数を低減できる。この構成においても電極
を多層構造にすることも可能である。
以下に実施例を示して本発明の液体噴射記録ヘッドを具
体的に説明する。
体的に説明する。
実施例
第２図に示した液体噴射記録ヘッドを以下のようにして
製造した。
製造した。
Ｓｉウェハを熱酸化により５μｍ厚の５ｉ０２膜を形成
し基板とした。基板にスパッタにより発熱抵抗層２１０
としてＨｆＢ２を１５００λの厚みに形成２２− し、続いて電子ビーム蒸着によりＴｉ層５０久 。
し基板とした。基板にスパッタにより発熱抵抗層２１０
としてＨｆＢ２を１５００λの厚みに形成２２− し、続いて電子ビーム蒸着によりＴｉ層５０久 。
Ａ７層５０００Ａを連続的に堆積し、電極を形成した。
フォトリソ工程により第２図（ｂ）のようなパターンを
形成し、熱作用面のサイズは３０μｍ幅、１５０μｍ長
でＡｌ！電極の抵抗を含めて１５０オームであった。
形成し、熱作用面のサイズは３０μｍ幅、１５０μｍ長
でＡｌ！電極の抵抗を含めて１５０オームであった。
次に熱作用面の端部から１μｍまでの電極をドライエツ
チングにより２５００Ａ厚に形成した。
チングにより２５００Ａ厚に形成した。
次に第１の保護層２１１として５ｉＱ２を２．０μｍ厚
にマグネアロン型ハイレートスパッタ法によって基板の
全面上に積層した。第１の保護層の厚さは、支持体上の
発熱抵抗層、電極のない部分では２．０μｍ２発熱抵抗
層、電極上面では１．８μｍと、良好な５ｔｅｐ ＣＯ
Ｖｅｒａｇｅ性であった。続いて第２の保護層２１２と
してフォトニース（商品名二乗し製）を１．５μｍ厚に
第２図中）の斜線部分上にフォトリソグラフィーにより
形成し、ＢＪ基板を製造した。
にマグネアロン型ハイレートスパッタ法によって基板の
全面上に積層した。第１の保護層の厚さは、支持体上の
発熱抵抗層、電極のない部分では２．０μｍ２発熱抵抗
層、電極上面では１．８μｍと、良好な５ｔｅｐ ＣＯ
Ｖｅｒａｇｅ性であった。続いて第２の保護層２１２と
してフォトニース（商品名二乗し製）を１．５μｍ厚に
第２図中）の斜線部分上にフォトリソグラフィーにより
形成し、ＢＪ基板を製造した。
次いでとのＢＪ基板上に溝付ガラス板を所定通りに接着
した。即ち、第２図（ａ）に示しであるのと同様にＢＪ
基板にインク導入流路と熱作用部を形成する為の溝付ガ
ラス板（溝サイズ巾５０μｍ×深さ５０μｍ×長さ２ｍ
１）が接着されている。
した。即ち、第２図（ａ）に示しであるのと同様にＢＪ
基板にインク導入流路と熱作用部を形成する為の溝付ガ
ラス板（溝サイズ巾５０μｍ×深さ５０μｍ×長さ２ｍ
１）が接着されている。
、この様にして作成した記録ヘッドは、電極の段差部に
おける５ｔｅｐ ＣＯＶｅｒａｇｅ性が格段に改善され
、また、配線における抵抗値の増加もはなはだ小さく、
頻繁なる繰返し使用や長時間の連続使用において総合的
な耐久性にすぐれ初期の良好な液滴形成特性を長時間に
亘って安定的に維持し得た。
おける５ｔｅｐ ＣＯＶｅｒａｇｅ性が格段に改善され
、また、配線における抵抗値の増加もはなはだ小さく、
頻繁なる繰返し使用や長時間の連続使用において総合的
な耐久性にすぐれ初期の良好な液滴形成特性を長時間に
亘って安定的に維持し得た。
又製造加工上における信頼性の高い液体噴射記録ヘッド
を提供することが可能となり更にはマルチオリフィス化
した場合にも製造歩留りの高い液体噴射記録ヘッドを提
供することができた。
を提供することが可能となり更にはマルチオリフィス化
した場合にも製造歩留りの高い液体噴射記録ヘッドを提
供することができた。
第１図（ａ）、Φ）、（Ｃ）は夫々、従来の液体噴射記
録ヘッドの構成を説明するためのもので、第１図（ａ）
は模式的正面部分図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の一
点鎖線Ｘ Ｙ’での切断面部分図、第１図（Ｃ）はＢＪ
基板の模式的平面図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は夫々
本発明の液体噴射記録ヘッドの構成を説明するためのも
ので、第２図（ａ）は第１図（ｂ）に相当する切断面部
分図、第２図（１））は第１図（Ｃ）に相当するＢＪ基
板の模式的平面図、第３図、第４図は夫々本発明の他の
例を示すための第１図（ｂ）に相当する切断面部分図で
ある。 １００．２００：液体噴射記録ヘッド １０１．２０１：電気熱変換体 １０２．２０２：基 板 １０３．２０３：溝付板 １０４．２０４ニオリフイス ２０５：液流路 １０６．２０６：熱作用部 １０７．２０７：熱発生部 １０８．２０８：熱作用面 １０９．２０９：下部層 １１０．２１０：発熱抵抗層 １１１．２１１：第１の保護層（上部層）１１２．２１
２：第２の保護層（上部層）１１３．２１３：（共通）
電極 １１４．２１４：（選択）電極 ２５− １１５．２１５：支持体 ２１６：共通液室 ２１７：液供給管 １０５：液吐出部 ２６一 Ｙ 第 １ 図 （ａ） 第 １ 図（ｂ） 第 １ 図（Ｃ） ０３ 第 ２ 図（ａ） 第 ２ 図（ｂ） 第３図
録ヘッドの構成を説明するためのもので、第１図（ａ）
は模式的正面部分図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の一
点鎖線Ｘ Ｙ’での切断面部分図、第１図（Ｃ）はＢＪ
基板の模式的平面図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は夫々
本発明の液体噴射記録ヘッドの構成を説明するためのも
ので、第２図（ａ）は第１図（ｂ）に相当する切断面部
分図、第２図（１））は第１図（Ｃ）に相当するＢＪ基
板の模式的平面図、第３図、第４図は夫々本発明の他の
例を示すための第１図（ｂ）に相当する切断面部分図で
ある。 １００．２００：液体噴射記録ヘッド １０１．２０１：電気熱変換体 １０２．２０２：基 板 １０３．２０３：溝付板 １０４．２０４ニオリフイス ２０５：液流路 １０６．２０６：熱作用部 １０７．２０７：熱発生部 １０８．２０８：熱作用面 １０９．２０９：下部層 １１０．２１０：発熱抵抗層 １１１．２１１：第１の保護層（上部層）１１２．２１
２：第２の保護層（上部層）１１３．２１３：（共通）
電極 １１４．２１４：（選択）電極 ２５− １１５．２１５：支持体 ２１６：共通液室 ２１７：液供給管 １０５：液吐出部 ２６一 Ｙ 第 １ 図 （ａ） 第 １ 図（ｂ） 第 １ 図（Ｃ） ０３ 第 ２ 図（ａ） 第 ２ 図（ｂ） 第３図
Claims (1)
- 液体を吐出して飛翔的液滴を形成するために設けられた
オリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成
するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱
作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部と
、該流路に供給する前記液体を貯える共通液室と、基板
上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続して、少なく
とも一対の対置する電極が設けられ、これ等電極の間に
熱発生部が形成されている電気熱変換体とを具備する液
体噴射記録ヘッドに於いて、前記電極の少なくとも前記
熱発生部に接する部分の近傍の膜厚を電極の他の部分と
比較して薄くしたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58224265A JPS60116452A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | インクジェットヘッド |
| DE3443560A DE3443560C2 (de) | 1983-11-30 | 1984-11-29 | Flüssigkeitströpfchenschreibkopf |
| US07/008,071 US4725859A (en) | 1983-11-30 | 1987-01-27 | Liquid jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58224265A JPS60116452A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116452A true JPS60116452A (ja) | 1985-06-22 |
| JPH0466701B2 JPH0466701B2 (ja) | 1992-10-26 |
Family
ID=16811063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58224265A Granted JPS60116452A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | インクジェットヘッド |
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