JP2008001038A - アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板110上にチタンと白金とを主成分とする混合層又は合金層62を少なくとも有する下電極60を形成する工程と、該下電極60上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜71を形成すると共に該圧電体前駆体膜71を焼成して結晶化させた圧電体膜72からなる圧電体層70を形成し、前記下電極60全体でのチタンの存在比に対する白金の存在比の比率を1.0〜6.5とする工程と、前記圧電体層70上に上電極を形成する工程とを具備する。
【選択図】図4
Description
かかる第1の態様では、圧電体層を焼成する前の下電極として、チタンと白金とを主成分とする合金からなる混合層又は合金層を設けることで、圧電体層を焼成した後で下電極の面内方向におけるチタンと白金との組成分布を均一にすることができる。これにより、圧電体層の結晶配向性を向上することができる。また、圧電体層を形成した後、下電極の面内方向における組成分布を均一にすることができるため、下電極の剛性を向上して、繰り返し駆動による駆動耐久性を向上することができる。さらに、下電極膜の組成分布を均一にすることで、下電極と圧電体層との密着性及び下電極と基板との密着性を向上することができる。
かかる第2の態様では、白金とチタンとを主成分とする合金からなる合金層又は混合層を所望の比率で容易に形成することができる。
かかる第3の態様では、結晶配向性に優れ、変位特性に優れた圧電体層を得ることができる。
かかる第4の態様では、振動板を介して圧電素子が変位可能となると共に、振動板上に圧電素子を良好に形成することができる。
かかる第5の態様では、絶縁体膜からなる振動板と下電極との密着性を向上することができると共に、絶縁体膜上に下電極を良好に成膜することができる。
かかる第6の態様では、下電極と基板との密着性を向上して、圧電素子の駆動による駆動耐久性を向上することができる。
かかる第7の態様では、下電極と基板との密着性を向上することができると共に、チタンからなる密着層が下電極中に拡散しても、白金とチタンとを主成分とする合金からなる合金層又は混合層によって、面内での組成分布を均一にすることができる。
かかる第8の態様では、イリジウム(Ir)、パラジウム(Pb)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)及びオスミウム(Os)等からなる拡散防止層を設けることによって、圧電体層を結晶化させる際に、下電極の成分が圧電体層に拡散するのを防止することができると共に、圧電体層の成分が下電極に拡散するのを防止して、変位特性の優れた圧電素子を得ることができる。
かかる第9の態様では、信頼性を向上した液体噴射ヘッドを製造することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
以上、本発明の実施形態1を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂した後、焼成して圧電体膜72を形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂する工程を複数回、例えば、2回繰り返し行った後、焼成することで圧電体膜72を形成するようにしてもよい。
Claims (9)
- 基板上にチタンと白金とを主成分とする混合層又は合金層を少なくとも有する下電極を形成する工程と、該下電極上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜を形成すると共に該圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させた圧電体膜からなる圧電体層を形成し、前記下電極全体でのチタンの存在比に対する白金の存在比の比率を1.0〜6.5とする工程と、前記圧電体層上に上電極を形成する工程とを具備することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記混合層又は前記合金層をスパッタリング法により形成することを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記圧電体層を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜を塗布する塗布工程と、当該圧電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記圧電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させた前記圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って前記圧電体層を形成することを特徴とする請求項1又は2記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記下電極を形成する工程では、前記基板上に振動板を形成した後、該振動板上に前記下電極を形成することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記振動板が、前記基板側に設けられた酸化シリコンを主成分とする弾性膜と、該弾性膜上に設けられた酸化ジルコニウムを主成分とする絶縁体膜とを含むことを特徴とする請求項4記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記下電極を形成する工程では、前記基板上に密着層を形成した後、該密着層上に前記混合層又は前記合金層を形成することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記密着層が、チタンを主成分としたものであることを特徴とする請求項6記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 前記下電極を形成する工程では、前記混合層又は前記合金層上に拡散防止層を形成することを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のアクチュエータ装置の製造方法。
- 請求項1〜8の何れかに記載の製造方法によって、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面に、前記アクチュエータ装置を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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EP2520692A2 (en) | 2011-05-06 | 2012-11-07 | Seiko Epson Corporation | Precursor Solution for Piezoelectric Films, Method for Manufacturing the same, and Method for Manufacturing Piezoelectric Film |
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2006
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