MXPA05001279A - Instalacion para el tratamiento a vacio de sustratos. - Google Patents

Instalacion para el tratamiento a vacio de sustratos.

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Abstract

Se describe una instalacion que esta caracterizada porque esta compuesta de varios modulos independientes y alineados (M) que comprenden cada uno una camara de tratamiento a vacio (C) y una camara de transferencia (B), con medios de transferencia de un sustrato, en una de las diferentes camaras, o de una camara hacia la otra situada corriente abajo o corriente arriba, directamente en el costado o separada por al menos un modulo, de tal suerte que mientras que un sustrato esta en una camara para un tratamiento especifico, otro sustrato puede ser transferido hacia otra camara, para sufrir otro tratamiento.

Description

INSTALACION PARA EL TRATAMIENTO A VACIO DE SUSTRATOS DESCRIPCION DE LA INVENCION La invención se refiere al sector técnico, principalmente de las máquinas de tratamiento a vacío, por ejemplo en el dominio de los depósitos a vacío. Más particularmente, el problema que se propone resolver la invención es el de asegurar el tratamiento de grandes series de piezas a un costo reducido. Para alcanzar este objetivo, el experto en la técnica ha conseguido máquinas denominadas "en línea" , en las cuales las diferentes fases sucesivas del procedimiento de depósito son realizadas en cámaras dedicadas, colocadas, después de la otra y conectadas por válvulas que permiten aislarlas, de tal suerte que las piezas a tratar pasan sucesivamente de un recinto al otro. En general, existen tantos recintos en serie como etapas diferentes en el procedimiento . Este tipo de máquina está bien adaptado cuando todas las fases del procedimiento tienen duraciones del mismo orden de magnitud, pero sin la duración de una de las fases notablemente más prolongada que aquellas de las otras -lo que es en general el caso-, ésta es la que gobierna la cinética del conjunto y por lo tanto la productividad de la máquina. También estas máquinas no han conocido más que una difusión muy limitada. La invención se fija por objetivo remediar estos inconvenientes de manera simple, segura, eficaz y racional. El problema que se propone resolver la invención es la de asegurar el tratamiento continuo de sustratos diversos principalmente en el caso del depósito a vacío de un metal, con el objetivo de, por una parte, poder regular la velocidad de tratamiento no sobre el tiempo más prolongado sino sobre el tiempo más corto, lo que es muy evidentemente, y de una manera importante, permite reducir la duración del montaje de tratamiento, y por otra parte, tener una gran flexibilidad durante el tratamiento creando un conjunto de tratamiento modulable y no más rígido, como surge de las soluciones técnicas utilizadas. Para resolver un problema de este tipo y alcanzar estos objetivos, se ha concedido y se ha puesto al punto una instalación que está compuesta de varios módulos independientes, alineados y comunicados entre ellos. Cada módulo está por sí mismo compuesto de una cámara de tratamiento y de una cámara de transferencia. Ventajosamente, pero de manera no limitante, la cámara de tratamiento es situada por arriba de la cámara de transferencia con la cual ésta se comunica por una compuerta hermética a vacío, y adaptada para ser escondida mediante cualquier medio apropiado para permitir la transferencia de piezas a tratar de una cámara hacia la otra. De acuerdo a otra característica de la invención, los diferentes módulos están alineados de tal manera que éstos se comunican entre ellos por las cámaras de transferencia, dos cámaras de transferencia consecutivas pueden o no estar separadas por una compuerta. Tomando en cuenta las características que son la base de la invención, las piezas a tratar pueden pasar sucesivamente no importa de cuál cámara de tratamiento a no importa cuál otra, sin atravesar la cámara de tratamiento contigua, lo que permite despejar el principal obstáculo de las máquinas en línea tradicionales. De acuerdo a una realización preferente pero no limitante de la invención, para resolver el problema impuesto de transferir fácilmente el sustrato de un módulo a otro, y de someter el sustrato a la cámara de tratamiento a vacío considerada, los medios de transferencia comprenden dos bandas o cadenas sinfín arrastradas positivamente y equipadas de dedos adaptados para cooperar con las formas complementarias que presentan un soporte de sustrato, entre dichas bandas está montada una plataforma sujetada a los elementos, adaptados para asegurar su desplazamiento vertical en dirección de la cámara de tratamiento a vacío para asegurar, de una manera concomitante, la transferencia del sustrato en la cámara. Para resolver el problema impuesto de permitir la transferencia facilitada del sustrato de un módulo al otro, la plataforma, al momento del desplazamiento lineal del soporte del sustrato y del sustrato, de un módulo al otro, se coloca bajo el plano definido por los dedos de arrastre de las bandas o cadenas sinfín. En posición alta de la plataforma correspondiente de introducción del sustrato en la cámara de tratamiento a vacío, la plataforma hace las veces de compuerta hermética a la cámara de tratamiento a vacío. En esta posición, los sustratos colocados sobre su soporte, pueden siempre ser arrastrados por los dedos de las bandas o cadenas sinfín siendo desplazados bajo la plataforma colocada, como se indicó, en posición de cierre hermético de la cámara de tratamiento a vacío, considerada. Para resolver el problema impuesto de asegurar la introducción del sustrato de la cámara de tratamiento a vacío, considerada, los elementos adaptados para asegurar el desplazamiento vertical de la plataforma están constituidos por un conjunto de bielas y de palancas acodadas sujetadas al menos a un órgano de comando del tipo elevador o gato. Tomando en cuenta la concepción específica de cada módulo, el nivel que presenta los medios de transferencia, constituye una estructura de soporte que integra en su parte baja los medios, en tanto que su parte alta presenta un plano de apoyo para la fijación hermética de la cámara de tratamiento a vacíe, presentando dicho plano una abertura para el acoplamiento del sustrato. Para resolver el problema impuesto de poner a vacío el conjunto de aislamiento compuesto del número de módulos deseado, la parte de los módulos que reciben los medios de transferencia constituye un recinto hermético adaptado para ser puesto a vacío, después del acoplamiento de varios módulos, los diferentes recintos son puestos simultáneamente a vacío. La invención es expuesta en lo subsiguiente, más con detalle, con ayuda de las figuras de los dibujos anexos, en los cuales: la Figura 1 es una vista puramente esquemática que muestra el principio de funcionamiento de la instalación de tratamiento de acuerdo a la invención. la Fijura 2 es una vista en perspectiva de un ejemplo de realización de la instalación resultante del acoplamiento en yuxtaposición de varios módulos. las Figuras 3, 4, 5 y 6 son vistas en perspectiva de una forma de realización de un módulo que muestra el principio de desplazamiento y de transferencia del sustrato.
De acuerdo a una característica que es la base de la invención, la instalación está compuesta de una pluralidad de módulos independientes y alineados, que son diseñados en su conjunto por (M) . Cada módulo (M) es idéntico en su principio, y está compuesto de dos niveles (A) y (B) superpuestos y alineados. Por ejemplo, el nivel superior (A) presenta una cámara de tratamiento a vacío (C) , en tanto que el nivel inferior (B) hace las veces de cámara de transferencia, y presenta medios de transferencia del sustrato (S) en una de las diferentes cámaras (C) , o bien de una cámara a otra cámara situada corriente abajo o corriente arriba directamente en un costado, o separada por al menos un módulo . La concepción de cada módulo (M) , principalmente de sus medios de transferencia, es determinada de tal suerte que mientras que un sustrato está en una cámara para un tratamiento específico, otro sustrato puede ser transferido a otra cámara para sufrir otro tratamiento. Como ya se indicó en lo subsiguiente en la descripción, los diferentes módulos ( ) son determinados para ser yuxtapuestos y alineados, para estar en comunicación. Los medios de transferencia de dos módulos adyacentes son igualmente . determinados para asegurar, en combinación, la transferencia de los sustratos (S) de un módulo al otro. Después de la yuxtaposición, los módulos diferentes (M) , principalmente a su nivel inferior (B) , pueden ser acoplados entre ellos por todos los medios conocidos . y apropiados, principalmente por simple atornillamiento . Para cada módulo, los medios de transferencia comprenden dos bandas o cadenas sinfín paralelas (1) y (2) , arrastradas positivamente. Por ejemplo, las bandas (1) y (2) cooperan con las ruedas de arrastre (3) y (4) unidas de dos en dos por un árbol de acoplamiento común (5) y (6) . El árbol de acoplamiento (5) es montado libremente en los cojinetes, en tanto que el árbol de acoplamiento (6) es acoplado a un órgano motor (7) . Muy evidentemente, el ejemplo descrito e ilustrado para el arrastre de las bandas sinfín (1) y (2) es dado a manera indicativa y no limitante.
Cada banda (1) y (2) está equipada de dedos (8) colocados enfrente estando dirigidos hacia el interior del espacio delimitado por las bandas (1) y (2) . Estos dedos (8) están destinados a cooperar con las formas complementarias (9a) que presenta un soporte de sustrato (9) . Por ejemplo, este soporte de sustrato (9) está constituido por una simple placa horizontal. Las formas complementarias (9a) están constituidas por ranuras. En los dibujos anexos el sustrato, o el lote de sustratos a tratar, es simbolizado por un volumen paralelepipédico .
Se concibe que estas disposiciones permiten asegurar el desplazamiento lineal del sustrato (S) colocado sobre el soporte (9) donde las ranuras (9a) cooperan con los dedos (8). Después del acoplamiento- y yuxtaposición de varios módulos, el sustrato (S) puede ser fácilmente desplazado de un módulo al otro, en un sentido de desplazamiento determinado, con la posibilidad de regresar hacia atrás por inversión del sentido de rotación del motor (7) por ejemplo. Entre las bandas (1) y (2) está montada una plataforma (10) sujetada a los elementos adaptados para asegurar su desplazamiento vertical, principalmente su elevación, en dirección de la cámara de tratamiento a vacío (C) para asegurar, de manera concomitante, la transferencia del sustrato sobre el soporte (9) en la cámara (C) . Por ejemplo, la plataforma (10) es soportada por un marco (11) , que delimita por una parte y por la otra de la plataforma (10) , dos espacios (lia) y (llb) formados en paralelo para permitir la integración y el paso de las bandas _ sinfín (1) y (2) . Por ejemplo, el marco (11) es sujetado a un conjunto de bielas (12) y de palancas (13), dichas palancas están articuladas en cada uno de los extremos de los costados longitudinales del marco (11) y sobre una parte fija del chasis de cada módulo, en tanto que las bielas (12) están articuladas sobre las palancas (13), en combinación con los rodillos (18) por ejemplo que cooperan con el marco (11). El conjunto de bielas (12) y palancas acodadas (13), es sujetado por ejemplo, por un elevador (14) principalmente, articulado sobre una parte fija del chasis de cada módulo, para permitir bajo el efecto de desplazamiento de su espiga (14a) , el desplazamiento guiado en altura, de abajo hacia arriba y de arriba hacia abajo, del conjunto del marco (11) y de la plataforma (10) . En posición baja, la plataforma (10) es colocada bajo el plano superior definido por los dedos de las bandas o cadenas sinfín de arrastre (1) y (2) . En esta posición baja, el conjunto de soporte con el sustrato (S) puede ser transferido regularmente sin ser estorbado por la plataforma (10) . La posición alta de la plataforma (10) hace las veces de compuerta hermética a la cámara de tratamiento a vacío, considerada . Los diferentes medios de desplazamiento y de transferencia para el soporte (9) del sustrato (S) , son montados al nivel inferior por ejemplo. Cada módulo ( ) está constituido por una estructura (16) en combinación con los órganos de rodamiento (15) . Por ejemplo, la estructura (16) constituye- un alojamiento de forma en general paralelepipédica . La parte superior de la estructura puede presentar, si existe necesidad, un plano de apoyo (16b) para la fijación, de una manera hermética, de la cámara de tratamiento a vacío tal cual (C) . El plano de apoyo presenta una abertura (16a) para el acoplamiento del conjunto de soporte O) en el sustrato (S) . Esta abertura de comunicación (16a) entre el nivel inferior (B) y el nivel superior (A) , al momento del tratamiento de los sustratos (S) , es obturado de una manera hermética por la plataforma (10) que hace las veces de soporte en el conjunto de placa (9) sustrato (S) . La estructura (16) relativa al nivel inferior (B) de cada módulo y que recibe los medios de desplazamiento y de transferencia, constituye un alojamiento o un recinto hermético que puede ser puesto a vacío. Después del acoplamiento de varios módulos, los diferentes recintos (16) son puestos simultáneamente a vacío por cualesquiera medios conocidos y apropiados para un experto en la materia. Se hace referencia a las Figuras 3, 4, 5 y 6 que muestran, para un módulo, el principio de desplazamiento lineal de un módulo hacia el otro del sustrato, y su transferencia al nivel de la cámara de tratamiento a vacío considerada. La Figura 3 muestra un módulo en posición baja de la plataforma (10) colocada entre las dos bandas o cadenas sinfín (1) y (2), estando situada bajo el plano superior definido por los dedos de arrastre de las bandas (1) y (2) .
El sustrato (S) colocado sobre un soporte (9) , es ilustrado en la entrada del módulo de tratamiento considerado. En la Figura 4, el conjunto de placa (9) y sustrato (S) , coopera por las ranuras (9a) con los dedos de arrastre (8) , el conjunto del sustrato es desplazado linealmente por las bandas sinfín (1) y (2), la plataforma (10) está siempre situada en la parte baja para no estorbar el desplazamiento lineal del conjunto del sustrato. Cuando el conjunto del sustrato es colocado enfrente y en alineamiento con la abertura (16b) de la cámara de tratamiento a vacío considerada, el elevador de comando (14) actúa sobre el conjunto de bielas (12) y palancas acodadas (13) para provocar, de manera concomitante, un desplazamiento hacia la parte alta de la plataforma (10) y de manera concomitante de la placa de soporte (9) y del sustrato (S) (Figuras 5 y 6) . En posición alta (Figura 6) la plataforma (10) asegura el cierre hermético de la abertura (16a) de la cámara de tratamiento a vacío. De manera importante, en esta posición alta de la plataforma, otros sustratos pueden ser desplazados de un módulo al otro cuando otro módulo está en curso de tratamiento (sustrato (SI) Figura 1) . Muy evidentemente, los diferentes medios de comando para el desplazamiento y la transferencia del sustrato en las condiciones indicadas precedentemente son sujetos a cualquier tipo de central de comando programable en función del ciclo de tratamiento considerado. Los diferentes módulos son siempre idénticos, con la excepción, para los recintos de tratamiento, de ciertos accesorios específicos para el tratamiento considerado. Tomando en cuenta estas disposiciones, y en oposición a las soluciones técnicas anteriores, un tiempo de tratamiento relativamente prolongado de un módulo no va a disminuir, por lo tanto, el conjunto del ciclo de tratamiento. Por ejemplo, si se considera un sustrato que necesita varios tratamientos de 10 minutos y un tratamiento de 30 minutos, de acuerdo a la invención, para administrar el tiempo de tratamiento que corresponde a 30 minutos, la instalación será equipada, para este tiempo de tratamiento de 30 minutos, de tres módulos estrictamente idénticos de manera para recaer sobre un tiempo de tratamiento de 10 minutos por carga. Resulta pues que la velocidad de tratamiento del conjunto es regulada sobre el tiempo de tratamiento más corto, y no sobre el tiempo de tratamiento más largo. De la descripción surgen más ventajas.

Claims (9)

REIVINDICACIONES
1. Instalación para el tratamiento a vacío principalmente de sustratos, caracterizada porgue está compuesta de varios módulos idénticos independientes y alineadas que comprenden cada una, una cámara de tratamiento a vacío, y una cámara de transferencia con medios de transferencia de un sustrato, en una de las diferentes cámaras o de una cámara a otra situada corriente abajo o corriente arriba, directamente en el costado o separada de al menos un módulo, de tal suerte que mientras que un sustrato está en una cámara para un tratamiento específico, otro sustrato puede ser transferido hacia otra cámara para sufrir otro tratamiento.
2. Instalación según la reivindicación 1, caracterizada porque cada módulo está compuesto de dos niveles superiores y alineados, uno de los niveles (A) presenta la cámara de tratamiento a vacío en tanto que el otro (B) presenta los medios de transferencia.
3. Instalación según la reivindicación 2, caracterizada porque los diferentes módulos están yuxtapuestos y alineados para estar en comunicación, los medios de transferencia de dos módulos adyacentes son determinados para asegurar, en combinación, la transferencia del sustrato de un módulo hacia el otro.
4. Instalación según la reivindicación 1, caracterizada porque los medios de transferencia comprenden dos bandas o cadenas sinfín arrastradas positivamente y equipadas de dedos adaptados para cooperar con formas complementarias que presenta un soporte del sustrato, entre las dos bandas está montada una plataforma sujetada a los elementos adaptados para asegurar su desplazamiento vertical y su elevación en dirección de la cámara de tratamiento a vacío para asegurar, de una manera concomitante, la transferencia del sustrato hacia la cámara.
5. Instalación según la reivindicación 4, caracterizada porque la plataforma al momento del desplazamiento lineal del soporte del sustrato y del sustrato de un módulo hacia el otro, es colocada bajo el plano definido por los dedos de las bandas o cadenas sinfín de arrastre.
6. Instalación según la reivindicación 4, caracterizada porque la plataforma hace las veces de compuerta hermética para la cámara de tratamiento a vacío.
7. Instalación según la reivindicación 4, caracterizada porque los elementos adaptados para asegurar el desplazamiento vertical de la plataforma están constituidos por un conjunto de bielas y palancas acodadas sujetadas al menos un órgano de comando del tipo elevador.
8. Instalación según la reivindicación 1, caracterizada porque el nivel (B) que presenta los medios de transferencia, constituye una estructura de soporte que integra en su parte bajo los medios, tanto que en su parte alta presenta un plano de apoyo para la fijación hermética de la cámara de tratamiento a vacío, dicho plano presenta una abertura para el acoplamiento del sustrato.
9. Instalación según la reivindicación 1, caracterizada porque la parte (B) de los módulos que reciben los medios de transferencia, constituye un recinto hermético adaptado para ser puesto a vacío, después del acoplamiento de los diversos módulos, los diferentes recintos son puestos simultáneamente a vacío.
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