CN103205720B - 传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备 - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 47
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 31
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000005344 low-emissivity glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001200 Ferrotitanium Inorganic materials 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWKWDCOTNGQLID-UHFFFAOYSA-N [N].[Ar] Chemical compound [N].[Ar] PWKWDCOTNGQLID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- GRPQBOKWXNIQMF-UHFFFAOYSA-N indium(3+) oxygen(2-) tin(4+) Chemical class [Sn+4].[O-2].[In+3] GRPQBOKWXNIQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000010257 thawing Methods 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于隔离空间的封板。本发明还公开一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。本发明的传动缝隙模块结构简单，操作方便，气体隔离效果好，有效避免了不同井位之间的气体漂移。
Description
技术领域
本发明涉及一种传动缝隙模块，特别是一种应用于玻璃连续镀膜设备的传动缝隙模块及应用其的设备。
背景技术
随着经济的发展以及人们生活水平的提高，社会对工业的各个行业提出了更高的要求，其中对于硅酸盐行业而言，玻璃的镀膜标准也随之越来越高。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的保温隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等。
镀膜玻璃的生产方法很多，主要有离子溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等。溅射镀膜玻璃利用溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶-凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。
对于离子溅射法而言，通常是在高压1500V的作用下，残留的气体分子被电离，形成等离子体，阳离子在电场加速下轰击金属靶，使金属原子溅射到样品的表面，形成导电膜。目前，真空容器内，一种镀膜玻璃通常是由一系列不同膜层材料构成，而且整个镀膜过程是在镀膜设备中一次连续完成的。这样就要求玻璃镀膜设备上要配置不同靶材料，不同靶材料设置在不同的井位中，各个井位之间的溅射气氛不尽相同，或是在纯氩气氛下溅射，或是在氩氧气氛下溅射，或是在氩氮气氛下溅射。传统的玻璃镀膜设备中的气体隔离装置相对简单，不能有有效阻止不同井位的溅射气氛之间的气体漂移，造成薄膜纯度不高、组分偏离，进而影响整个镀膜玻璃的性能。
本领域技术人员致力于提供一种可以有效实现工艺气体隔离的传动模块。
发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有玻璃镀膜设备中的气体隔离装置相对简单，不能有效阻止不同井位的溅射气氛之间的气体漂移的技术问题，提供一种传动缝隙模块，以有效实现各个井位间的气体隔离。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
一种传动缝隙模块，其特点在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于隔离空间的封板。
较佳地，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮。
较佳地，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
较佳地，所述中间隔板与轴承座之间，所述垫板与中间隔板之间和盖板与垫板之间的连接方式为螺接。
较佳地，所述中间隔板为铝型材。
本发明还涉及一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，其特点在于，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。
较佳地，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮。
较佳地，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
本发明中，上述优选条件在符合本领域常识的基础上可任意组合，即得本发明各较佳实施例。
本发明的积极进步效果在于：本传动缝隙模块结构简单，操作方便，气体隔离效果好，有效避免了不同井位之间的气体漂移。
附图说明
图1为本发明的传动缝隙模块的俯视图。
图2为图1所示传动缝隙模块的A-A视图。
图3为图1所示传动缝隙模块的B-B视图。
图4为图3所示传动缝隙模块的C-C视图。
具体实施方式
本发明的实施例将参照附图进行说明。在说明书附图中，具有类似结构或功能的元件或装置将用相同的元件符号表示。附图只是为了便于说明本发明的各个实施例，并不是要对本发明进行穷尽性的说明，也不是对本发明的范围进行限制。
图1至图4示出了本发明中一个较佳实施例的传动缝隙模块的结构示意图。在该实施例中，传动缝隙模块的左右两侧俱为镀膜溅射井位，井位中放置靶材料，对玻璃进行镀膜。传动缝隙模块的两个端部设置有轴承座1，轴承座1上设置有多对轴承(图未示出)，多个滚轮2借助这些轴承设置在轴承座1之间，滚轮2可以随轴承转动，这样待镀膜的玻璃可以借助滚轮2从传动缝隙模块的左侧通过滚轮2输送到右侧。各个滚轮应该尺寸大小一致，以保证玻璃放置在多个滚轮上面时接触面和受力均匀。
轴承座上固定设置有中间隔板3，中间隔板3长度贯穿整个缝隙模块，搭在两个轴承座1上，在一个实施例中，中间隔板3与轴承座螺钉连接。垫板4的长度较短，设置在轴承座1上，与中间隔板3固定连接。盖板5长度与中间隔板3一致，同样贯穿整个缝隙模块，固定设置在两端的垫板4上。在本实施例中，垫板与中间隔板，盖板与垫板之间俱为螺钉连接。中间隔板为铝型材，也可以是其它合适的材料。这样，中间隔板3作为下壁，垫板4作为侧壁，盖板作为上壁，三者构成传动缝隙模块的传动腔41，垫板4的高度即为传动腔41的高度。中间隔板3的高度略低于滚轮2的上沿，保证玻璃能够借助滚轮2顺利通过传动腔。垫板4的高度在保证玻璃能够顺利通过的前提下，应尽可能地低，从而减小传动腔的横截面积，保证不同井位之间的气体隔离效果。
盖板5上方固定设置有封板6，封板6填充整个模块的横截面，将传动腔上方的左右空间隔开，玻璃在一个镀膜溅射井位中镀膜之后，通过狭窄的传动腔传到下一个镀膜溅射井位继续镀膜，从而实现左右两个镀膜溅射井位之间不同的气体隔离，这样，大大提高了镀膜的纯度和效果。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种传动缝隙模块，其特征在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于将两个溅射镀膜井位隔离的封板，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
2.如权利要求1所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述中间隔板与轴承座之间，所述垫板与中间隔板之间和盖板与垫板之间的连接方式为螺接。
3.如权利要求1或2所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述中间隔板为铝型材。
4.一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，其特征在于，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
5.如权利要求4所述的连续溅射镀膜设备，其特征在于，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210013429.5A CN103205720B (zh) | 2012-01-17 | 2012-01-17 | 传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210013429.5A CN103205720B (zh) | 2012-01-17 | 2012-01-17 | 传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103205720A CN103205720A (zh) | 2013-07-17 |
| CN103205720B true CN103205720B (zh) | 2015-12-16 |
Family
ID=48753122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210013429.5A Active CN103205720B (zh) | 2012-01-17 | 2012-01-17 | 传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103205720B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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