发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处,提供一种工艺简单,操作方便,生产成本相对较低的双银低辐射玻璃的制备方法。
为了达到上述目的,本发明采用以下方案:
一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
A、采用氮气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射硅铝旋转靶,在玻璃基板上磁控溅射Si3N4层;
B、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷,在步骤A中Si3N4层上磁控溅射AZO层;
C、采用氩气作为反应气体,直流电源溅射银平面靶,在步骤B中的AZO层上磁控溅射Ag层;
D、采用氩气作为反应气体,直流电源溅射铜平面靶,在步骤C中Ag层上磁控溅射Cu层;
E、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤D中的Cu层上磁控溅射AZO层;
F、采用氩气作为反应气体,直流电源溅射铜平面靶,在步骤E中的AZO层上磁控溅射Cu层;
G、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤F中的Cu层上磁控溅射AZO层;
H、采用氧气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射ZnSn合金旋转靶,在步骤G中的AZO层上磁控溅射ZnSnO3层。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤A中所述Si3N4层的厚度为20~25nm,所述硅铝旋转靶中Si:Al的摩尔比为92:8,氩气与氮气的体积比为5:6,交流电源的功率100~125KW,需用两个阴极溅射,每个阴极50~65KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤B中所述AZO层的厚度为20~25nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为20~25KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤C中所述Ag层的厚度为8~10nm,所述的直流电源的溅射功率4~5KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤D所述Cu层的厚度为50~65nm,所述直流电源的溅射功率3~6KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤E中所述AZO层的厚度为20~25nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为20~25KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤F中所述Cu层的厚度为10~20nm,直流电源溅射功率为3~6KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤G中所述AZO层的厚度为50~65nm,所述直流电源的溅射功率为20~25KW。
如上所述的一种低成本防辐射薄膜的制备方法,其特征在于步骤H中所述ZnSnO3层的厚度为20~30nm;ZnSn合金旋转靶中Zn与Sn的摩尔比为48:52,氩气与氧气的体积比为1:2,交流电源的溅射功率为50~75KW。
综上所述,本发明的有益效果:
本发明工艺方法简单,操作方便,生产成本相对较低。颜色中性,均匀性好。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明做进一步描述:
实施例1
本发明一种低成本防辐射薄膜的制备方法,包括以下步骤:
A、采用氮气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射硅铝旋转靶,在玻璃基板上磁控溅射Si3N4层;所述Si3N4层的厚度为20nm,所述硅铝旋转靶中Si:Al的摩尔比为92:8,氩气与氮气,即氩气:氮气=500sccm:600sccm,交流电源的功率100KW,需用两个阴极溅射,每个阴极50KW。
B、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷,在步骤A中Si3N4层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为20nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为20KW。
C、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射银平面靶,在步骤B中的AZO层上磁控溅射Ag层;所述Ag层的厚度为8nm,所述的直流电源的溅射功率4KW。
D、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤C中Ag层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为50nm,所述直流电源的溅射功率3KW。
E、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤D中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为20nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为20KW。
F、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤E中的AZO层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为10nm,直流电源溅射功率为3KW。
G、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤F中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为50nm,所述直流电源的溅射功率为20KW。
H、采用氧气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射ZnSn合金旋转靶,在步骤G中的AZO层上磁控溅射ZnSnO3层。所述ZnSnO3层的厚度为20nm;ZnSn合金旋转靶中Zn与Sn的摩尔比为48:52,氩气与氧气的体积比为1:2,即氩气与氧气的体积流量比为500sccm:1000sccm,交流电源的溅射功率为50KW。
实施例2
本发明一种低成本防辐射薄膜的制备方法,包括以下步骤:
A、采用氮气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射硅铝旋转靶,在玻璃基板上磁控溅射Si3N4层;所述Si3N4层的厚度为22nm,所述硅铝旋转靶中Si:Al的摩尔比为92:8,氩气与氮气,即氩气:氮气=500sccm:600sccm,交流电源的功率110KW,需用两个阴极溅射,每个阴极55KW。
B、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷,在步骤A中Si3N4层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为23nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为22KW。
C、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射银平面靶,在步骤B中的AZO层上磁控溅射Ag层;所述Ag层的厚度为9nm,所述的直流电源的溅射功率4.5KW。
D、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤C中Ag层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为58nm,所述直流电源的溅射功率4KW。
E、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤D中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为23nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为22KW。
F、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤E中的AZO层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为15nm,直流电源溅射功率为5KW。
G、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤F中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为58nm,所述直流电源的溅射功率为23KW。
H、采用氧气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射ZnSn合金旋转靶,在步骤G中的AZO层上磁控溅射ZnSnO3层。所述ZnSnO3层的厚度为25nm;ZnSn合金旋转靶中Zn与Sn的摩尔比为48:52,氩气与氧气的体积比为1:2,即氩气与氧气的体积流量比为500sccm:1000sccm,交流电源的溅射功率为65KW。
实施例3
本发明一种低成本防辐射薄膜的制备方法,包括以下步骤:
A、采用氮气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射硅铝旋转靶,在玻璃基板上磁控溅射Si3N4层;所述Si3N4层的厚度为25nm,所述硅铝旋转靶中Si:Al的摩尔比为92:8,氩气与氮气,即氩气:氮气=500sccm:600sccm,交流电源的功率125KW,需用两个阴极溅射,每个阴极62.5KW。
B、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷,在步骤A中Si3N4层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为25nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为25KW。
C、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射银平面靶,在步骤B中的AZO层上磁控溅射Ag层;所述Ag层的厚度为10nm,所述的直流电源的溅射功率5KW。
D、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤C中Ag层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为65nm,所述直流电源的溅射功率6KW。
E、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤D中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为25nm,氧化锌陶瓷靶中按重量百分比掺铝2%,交流电源的功率为25KW。
F、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,直流电源溅射铜平面靶,在步骤E中的AZO层上磁控溅射Cu层;所述Cu层的厚度为20nm,直流电源溅射功率为6KW。
G、采用氩气作为反应气体,氩气的体积流量为1000sccm,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在步骤F中的Cu层上磁控溅射AZO层;所述AZO层的厚度为65nm,所述直流电源的溅射功率为25KW。
H、采用氧气作为反应气体,氩气作为保护气体,交流电源溅射ZnSn合金旋转靶,在步骤G中的AZO层上磁控溅射ZnSnO3层。所述ZnSnO3层的厚度为30nm;ZnSn合金旋转靶中Zn与Sn的摩尔比为48:52,氩气与氧气的体积比为1:2,即氩气与氧气的体积流量比为500sccm:1000sccm,交流电源的溅射功率为75KW。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。