CN103205725A - 单元式溅射抽气模块 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。本单元式溅射抽气模块结构简单，各个不同井位互换功能时操作方便。

Description

单元式溅射抽气模块

技术领域

本发明涉及一种单元式溅射抽气模块，特别是一种工艺井位灵活互换的玻璃连续镀膜设备的单元式溅射抽气模块。

背景技术

随着经济的发展以及人们生活水平的提高，社会对工业的各个行业提出了更高的要求，其中对于硅酸盐行业而言，玻璃的镀膜标准也随之越来越高。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的保温隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等。

镀膜玻璃的生产方法很多，主要有离子溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等。溅射镀膜玻璃利用溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶-凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。

对于离子溅射法而言，通常是在高压1500V的作用下，残留的气体分子被电离，形成等离子体，阳离子在电场加速下轰击金属靶，使金属原子溅射到样品的表面，形成导电膜。目前，真空容器内，一种镀膜玻璃通常是由一系列不同膜层材料构成，而且整个镀膜过程是在镀膜设备中一次连续完成的。在传统的真空镀膜腔体中，泵井位固定在镀膜腔体上，其结构与阴极井位的结构完全不同，泵井位与阴极井位呈单一的交替排布模式。随着镀膜玻璃技术的不断发展，镀膜产品的种类和膜系结构也变得更加多样化。技术人员有时需要调整泵井位与阴极井位的顺序，传统的溅射抽气模块无法根据镀膜产品和膜系的需要实现工艺井位的灵活互换，这就为玻璃镀膜工艺的发展带来滞碍。本领域技术人员致力于提供一种可以实现泵井位与阴极井位灵活互换的单元式溅射抽气模块。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有玻璃镀膜设备中的溅射抽气模块无法根据镀膜产品和膜系的需要实现工艺井位的灵活互换的技术问题，提供一种单元式溅射抽气模块。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，其特点在于，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。

较佳地，所述盖板为泵盖板或空盖板或阴极盖板。

较佳地，所述泵盖板为下端开口的长方体，内部设置真空泵。

较佳地，所述阴极盖板为长方体，所述盖板下方固定设置靶材。

较佳地，所述隔板设置玻璃传输通道。

较佳地，每个所述独立井位单元侧面设置观察窗和/或连接法兰。

本发明中，上述优选条件在符合本领域常识的基础上可任意组合，即得本发明各较佳实施例。

本发明的积极进步效果在于：本单元式溅射抽气模块结构简单，各个不同井位互换时操作方便。

附图说明

图1为本发明的单元式溅射抽气模块的示意图，其中泵盖板和阴极盖板设置在镀膜腔体上方。

图2为图1所示单元式溅射抽气模块的俯视图，其中泵盖板和阴极盖板已隐去。

具体实施方式

本发明的实施例将参照附图进行说明。在说明书附图中，具有类似结构或功能的元件或装置将用相同的元件符号表示。附图只是为了便于说明本发明的各个实施例，并不是要对本发明进行穷尽性的说明，也不是对本发明的范围进行限制。

图1为本发明的一个实施例下的示意图。在该实施例中，镀膜腔体主体由连接板11、边部立板16和底板14焊接而成。腔体中间还焊接有多个隔板13，这些隔板13将腔体分割成若干个独立的井位单元，每个隔板13上设置有一个狭长的玻璃传输通道、一个皮带传输通道和若干个抽气通道，皮带驱动滚轮18承载待镀膜的玻璃17依次通过各个腔室。底板14下部还设置有槽型筋15，加强底板14的承重能力。

每个井位单元对应的一侧边部立板16上均设有观察窗12和连接法兰(图未示出)，连接法兰用于安装观察窗挡片转轴、真空测量装置、电气引入线或放气阀等真空镀膜所必须的辅助装置；每个井位单元对应的另一侧的边部立板16上均设有连接法兰，连接法兰用于真空测量装置、电气引入线或放气阀等真空镀膜所必须的辅助装置。

泵盖板20主体为一个下侧不封闭的泵仓中空体，泵仓中空体由泵仓底板22，泵仓侧板26和泵仓顶板24组成，仅泵仓底板22与外界相通，其余部分密封。泵仓底板22上设置圆形槽用于安装真空泵28，泵仓底板22下部设置密封圈，与腔室密封连接，真空泵28将腔室内的气体抽向外界。泵仓顶板24设置起吊钩(图未示出)。

阴极盖板30主体为一个阴极中空体，阴极中空体由阴极底板32，阴极侧板36和阴极顶板34组成，阴极侧板36和阴极顶板34密封连接，阴极盖板30的底板通过密封圈与腔体密封连接，阴极顶板34以机械方式固定在阴极侧板36上的，阴极底板32和腔体形成密闭空间，该密闭空间处于真空状态。阴极底板32下方设置靶材33。阴极顶板34设置起吊钩39，便于起吊设备起吊盖板。本领域的技术人员可以理解，阴极电压和靶材的位置关系是业内较为成熟的技术，只要能达到镀膜的目的都能适用。

无论是泵盖板还是阴极盖板，都由起吊器械直接吊起后按照预定的位置放置在镀膜腔体上，盖板和镀膜腔体接触边设置多个密封圈，这样，当盖板放置在镀膜腔体上，盖板借助自身的重力与镀膜腔体形成密封连接。在一个优选实施例中，盖板设置内外两层密封圈，此时需要在两层密封圈之间设置真空泵19，在工作时将两层密封圈之间的空气抽出，以保证密封效果。

进行镀膜时，泵盖板的真空泵28开始工作，将整个腔室抽成真空，阴极盖板触发靶材，使靶材原子溅射到玻璃表面或与气体反应沉积到玻璃表面，玻璃17通过隔板13上设置有的狭长的玻璃传输通道，依次通过各个腔室，完成镀膜。

在本实施例中，泵盖板和阴极盖板依次放置。当技术人员根据工艺需要调整泵井位与阴极井位的顺序时，只需将相应不同的盖板吊起来进行置换则可。

虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，其特征在于，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。

2.如权利要求1所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述盖板为泵盖板或空盖板或阴极盖板。

3.如权利要求2所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述泵盖板为下端开口的长方体，内部设置真空泵。

4.如权利要求2所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述阴极盖板为长方体，所述盖板下方固定设置靶材。

5.如权利要求1、2或3所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述隔板设置玻璃传输通道。

6.如权利要求1、2或3所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，每个所述独立井位单元侧面设置观察窗和/或连接法兰。