CN200974865Y

CN200974865Y - 一种连续真空镀膜装置

Info

Publication number: CN200974865Y
Application number: CN 200620016037
Authority: CN
Inventors: 李清明; 钟源
Original assignee: BYD Co Ltd
Current assignee: BYD Co Ltd
Priority date: 2006-11-27
Filing date: 2006-11-27
Publication date: 2007-11-14
Anticipated expiration: 2016-11-27

Abstract

本实用新型是关于一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；相连的真空过渡室之间、及与真空镀膜机之间均设有密封移门装置；其中，所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。采用上述结构后，使相应的密封移门装置的开启和相应的真空过渡室的抽真空操作可以协调、同步进行，对连续真空镀膜过程的节奏容易控制。

Description

一种连续真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜装置，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是在远小于大气压的真空环境中对被镀产品进行镀膜的镀膜方式。中国实用新型专利说明书03219715.2公开了一种连续式蒸镀溅镀机，其包括真空镀膜机，该真空镀膜机的两端分别密封连接有若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，远离真空镀膜机的第一进件真空过渡室与外界之间、每个进件真空过渡室之间、与真空镀膜机相连的进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与同真空镀膜机相连的出件真空过渡室之间、及每个出件真空过渡室之间、远离真空镀膜机的出件真空过渡室与外界之间均设有密封移门装置。在进行镀膜时，工作步骤如下：a.打开第一进件真空过渡室与外界之间密封移门装置，将待镀产品送入远离真空镀膜机的第一进件真空过渡室；b.关闭第一进件真空过渡室与外界之间密封移门装置，对第一进件真空过渡室进行抽真空操作；c.当第一进件真空过渡室的真空度等于与其相连的第二进件真空过渡室的真空度时，打开两者之间的密封移门装置，工件输送导向装置将待镀产品送入第二进件真空过渡室；d.关闭第二进件真空过渡室与外界第一进件真空过渡室之间密封移门装置，对第二进件真空过渡室进行抽真空操作；e.对每个相连的进件真空过渡室重复与上述步骤相应的操作，将工件依次通过每个相连的进件真空过渡室送入真空镀膜机进行镀膜，同时，进行放入待镀产品的操作；f产品镀膜完成后，对同真空镀膜机相连的出件真空过渡室进行抽真空操作；g当同真空镀膜机相连的出件真空过渡室的真空度等于真空镀膜机的真空度时，打开真空镀膜机与同真空镀膜机相连的出件真空过渡室之间密封移门装置，工件输送导向装置将产品送入同真空镀膜机相连的出件真空过渡室内；h.对每个相连的出件真空过渡室重复与上述g步骤相应的操作，将工件依次通过每个相连的出件真空过渡室送入外界。在连续真空镀膜过程中，进件与出件存在着同步性，在对连续式蒸镀溅镀机进行进件和出件节奏控制时，由于相应的进件和出件操作是单独进行的，相互之间缺乏协调性，容易失控。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种相应的进件和出件操作同步进行的连续真空镀膜装置。

为解决上述技术问题，本实用新型一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；最远离真空镀膜机的进件真空过渡室与外界之间、每个进件真空过渡室之间、与真空镀膜机相连的进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与同真空镀膜机相连的出件真空过渡室之间、及每个出件真空过渡室之间、最远离真空镀膜机的出件真空过渡室与外界之间均设有密封移门装置；其中，所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。

作为本实用新型的进一步改进，其中，每一个所述进件真空过渡室和每一个所述出件真空过渡室均连通有抽真空装置。

作为本实用新型的进一步改进，其中，每一个所述进件真空过渡室连通有抽真空装置。

作为本实用新型的进一步改进，其中，每一个所述出件真空过渡室连通有抽真空装置。

本实用新型与现有技术相比，本实用新型一种连续真空镀膜装置的沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置，使相应的密封移门装置的开启和相应的真空过渡室的抽真空操作可以协调、同步进行，对连续真空镀膜过程的节奏容易控制。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种连续真空镀膜装置第一种实施例的结构示意图。

图2至图14是本实用新型一种连续真空镀膜装置第一种实施例的工作过程示意图。

图15是本实用新型一种连续真空镀膜装置第二种实施例的结构示意图。

图16是本实用新型一种连续真空镀膜装置的一种移门装置的剖视结构示意图。

图17是本实用新型一种连续真空镀膜装置的另一种移门装置的剖视结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型一种连续真空镀膜装置第一种实施例，包括真空镀膜机30，该真空镀膜机30的进件端上密封串接有第一、二进件真空过渡室10、20，该真空镀膜机30的出件端上密封串接有第一、二出件真空过渡室40、50；第一、二进件真空过渡室10、20、该真空镀膜机30、第一、二出件真空过渡室40、50之间贯通有工件输送装置(图中未示出)，该工件输送装置为皮带运输机，该工件输送装置可将工件从第一真空过渡室10依次传输到第二进件真空过渡室20、该真空镀膜机30、第一、二出件真空过渡室40、50、外界；该第一进件真空过渡室10与外界之间设有第一密封移门装置11，该第一、二进件真空过渡室10、20之间设有第二密封移门装置21，该第二进件真空过渡室20与该真空镀膜机30之间设有第三密封移门装置31，该真空镀膜机30与该第一出件真空过渡室40之间设有第四密封移门装置41，该第一、二出件真空过渡室40、50之间设有第五密封移门装置51，该第二出件真空过渡室50与外界之间设有第六密封移门装置61；该第一、二、三、四、五、六密封移门装置11、21、31、41、51、61的开启和关闭分别由电磁阀控制，根据镀膜所需的时间设定开启时间和顺序，其中，该第一、六密封移门装置11、61可同时打开，该第二、五密封移门装置21、51可同时打开，该第三、四密封移门装置31、41可同时打开；该第一进件真空过渡室10与该第二出件真空过渡室50之间通过第一管道12连通，且该第一进件真空过渡室10连接有第一抽真空装置(图中未示出)；该第二进件真空过渡室20与该第一出件真空过渡室40之间通过第二管道22连通，且该第二进件真空过渡室20连接有第二抽真空装置(图中未示出)。

当然，为了加快抽真空速度，该第一、二出件真空过渡室40、50上也可以分别连通一个抽真空装置。

请参阅图2至图14，说明本实用新型第一实施例的工作过程：

(1)将真空镀膜机30抽真空到设定值的真空度，将第二进件真空过渡室和第一出件真空过渡室的真空度抽真空到稍大于真空镀膜机的真空度形成缓冲作用；

(2)如图2所示，打开第一进件真空过渡室10与外界之间的第一密封移门装置11以及第二出件真空过渡室50与外界之间的第六密封移门装置61，将第一待镀工件13送入远离该真空镀膜机30的第一进件真空过渡室10内的工件输送装置上；

(3)如图3所示，关闭第一密封移门装置11和第六密封移门装置61，与第一进件真空过渡室10相连的抽真空装置进行抽真空操作；

(4)如图4所示，当第一进件真空过渡室10和第二出件真空过渡室50内的真空度等于与其相连的第二进件真空过渡室20内的真空度时，打开第一、二进件真空过渡室10、20之间的第二密封移门装置21和第一、二出件真空过渡室40、50之间的第五密封移门装置51，工件输送装置将第一待镀工件13送入第二进件真空过渡室20；

(5)如图5所示，关闭第二密封移门装置21和第五密封移门装置51，与第二进件真空过渡室10相连的抽真空装置进行抽真空操作；

(6)如图6所示，当第二进件真空过渡室20和第一出件真空过渡室40内的真空度等于与其相连的真空镀膜机30内的真空度时，打开第二进件真空过渡室20与真空镀膜机30之间的第三密封移门装置31和真空镀膜机30与第一出件真空过渡室40之间的第四密封移门装置41，工件输送装置将第一待镀工件13送入真空镀膜机30；同时，打开第一进件真空过渡室10与外界之间的第一密封移门装置11以及第二出件真空过渡室50与外界之间的第六密封移门装置61，将第二待镀工件23送入第一进件真空过渡室10内的工件输送装置上；

(7)如图7所示，关闭第三密封移门装置31和第四密封移门装置41，真空镀膜机30对第一待镀工件13进行镀膜；同时，如图7和图8所示，重复第(3)、(4)步操作；

(8)如图9和图10所示，对第一待镀工件13进行镀膜完成后，重复第(5)、(6)步操作，将镀好的工件13送入第一出件真空过渡室40内，同时，将第二待镀工件23送入真空镀膜机30，将第三待镀工件33送入第一进件真空过渡室10内的工件输送装置上；

(9)如图11至图14所示，不断地重复第(7)、(8)步操作，就连续地可将第四待镀工件43、……不断地送入本实用新型连续真空镀膜装置进行镀膜，从第二出件真空过渡室50送出镀好的工件，实现连续生产。

请参阅图15，本实用新型一种连续真空镀膜装置第二种实施例，在第一种实施例的基础上，该真空镀膜机30的两端分别密封串接若干个进件真空过渡室70和若干个出件真空过渡室80(其数量生产所需的真空度及真空度的过渡要求而定)，所述进件真空过渡室70和所述出件真空过渡室80数量相同，沿所述真空镀膜机30对称的每一对该进件真空过渡室70和该出件真空过渡室80相互连通并连通有抽真空装置。在该进件真空过渡室70、该真空镀膜机30和该出件真空过渡室80之间贯通有工件输送装置；最远离真空镀膜机30的进件真空过渡室与外界之间、每个进件真空过渡室70之间、与真空镀膜机30相连的进件真空过渡室与真空镀膜机30之间、真空镀膜机30与同真空镀膜机30相连的第一出件真空过渡室之间、及每个出件真空过渡室80之间、最远离真空镀膜机的出件真空过渡室与外界之间均设有密封移门装置71、81。

请参阅图16，上述密封移门装置包括开设在上述真空过渡室的侧壁1上的门筒2和与该门筒2相应的移动门3，在上述真空过渡室的侧壁1上位于该门筒2的上侧安装有转轴4，连杆5的两头分别螺接在移动门3和转轴4上，转轴4可通过连杆5带动移动门3顺时针旋转90度，该门筒2的面向该移动门3的一侧四周固定有密封条6，当该移动门3处于关闭状态时，该密封条6与真空过渡室的面向该移动门3的一侧上临近该门筒2的周缘部分形成密封配合，将该移动门3的内、外两侧密封地分隔开，当该移动门3打开时，转轴4通过连杆5带动移动门3顺时针旋转90度。

请参阅图17，上述密封移门装置的另一种结构方式，上述密封移门装置包括开设在上述真空过渡室的侧壁1上的门筒2和与该门筒2相应的移动门3，在上述真空过渡室的侧壁1上位于该门筒2的上、下两侧分别固定有上、下滑轨34、35，该移动门3的上、下端分别可滑动地连接在该上、下滑轨34、35上，该移动门3的面向该门筒2的一侧四周固定有密封条6，当该移动门3处于关闭状态时，该密封条6与真空过渡室的面向该移动门3的一侧上临近该门筒2的周缘部分形成密封配合，将该移动门3的内、外两侧密封地分隔开。

Claims

1.一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；最远离真空镀膜机的进件真空过渡室与外界之间、每个进件真空过渡室之间、与真空镀膜机相连的进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与同真空镀膜机相连的出件真空过渡室之间、及每个出件真空过渡室之间、最远离真空镀膜机的出件真空过渡室与外界之间均设有密封移门装置；其特征在于：所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。

2.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置，其特征在于：每一个所述进件真空过渡室和每一个所述出件真空过渡室均连通有抽真空装置。

3.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置，其特征在于：每一个所述进件真空过渡室连通有抽真空装置。

4.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置，其特征在于：每一个所述出件真空过渡室连通有抽真空装置。