CN110629172A - 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，镀膜箱底部与底座相连接，真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，阴极底部连接有靶，输送装置顶部横穿镀膜箱，镀膜箱的两端分别安装有密封装置，密封装置与输送装置相配合，输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架，本发明的有益效果是：通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜领域，具体地说是一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要思路是分成蒸发和溅射两种方式，溅射是在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。
目前的申请号为CN201810587447.1的本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件，支撑组件包括两个支撑座，支撑座内部两端设置有支撑空腔，支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，支撑杆上设置有驱动齿条，支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，支撑座的上端面设置有传动架，传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率，但该发明在取放工件时需要进行频繁取放的工作，通过间歇的方式进行取放，无法连续，增加了停工的时间，降低工作效率。
发明内容
本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。
本发明采用如下技术方案来实现：一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，所述镀膜箱底部与底座相连接，所述真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，所述镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，所述阴极底部连接有靶，所述输送装置顶部横穿镀膜箱，所述镀膜箱的两端分别安装有密封装置，所述密封装置与输送装置相配合。
作为优化，所述输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架，所述输送轮设有2个并分别安装在镀膜箱两侧，所述输送带的两端分别与输送轮相配合，所述支架连接在镀膜箱底部，所述导杆贯穿支架且底部与重力轮相连接，所述重力轮与输送带滑动连接。
作为优化，所述输送轮包括轮子、挡板、推块，所述轮子的两面分别设有挡板，所述挡板外侧设有均匀分布的推块。
作为优化，所述输送带包括铰链、支杆、伸缩板，所述伸缩板之间通过铰链活动链接，所述伸缩板的两侧分别连接有支杆，所述支杆与推块相配合。
作为优化，所述伸缩板包括固定板、弹力杆、弹簧、移动板、限位块，所述移动板内部设有空腔，该空腔内部设有限位块，所述限位块的两端分别通过弹力杆与固定板相连接，所述弹簧设在空腔内并套设在弹力杆上。
作为优化，所述镀膜箱的两侧分别设有空腔，所述空腔中间设有开口。
作为优化，所述密封装置包括上密封板、下密封板、气缸，所述上密封板、下密封板分别设在开口的上下两侧并通过气缸连接在空腔中。
作为优化，所述上密封板、下密封板均设有2个对应的半圆槽。
作为优化，所述上密封板、下密封板的相对边设有橡胶条。
作为优化，所述半圆槽内设有橡胶条，所述半圆槽与弹力杆相契合。
作为优化，所述上密封板、下密封板的相对边侧面为锥形。
作为优化，所述固定板、移动板中间连接处为“V”状。
作为优化，所述轮子的宽度与伸缩板一致，所述挡板的直径大于轮子。
作为优化，所述开口处还设有激光传感器。
有益效果
本发明在使用时，将工件放在输送带上，输送轮转动通过推块推动支杆向前移动，使输送带进行传动，经过开口将工件送入镀膜箱中，然后激光传感器检测到伸缩板的V形开口时，气缸启动将上密封板、下密封板合并，使上密封板、下密封板能够将伸缩板的固定板、移动板分离，并使弹力杆嵌入半圆槽中间，合并上密封板、下密封板能够将开口密封住，然后真空机将镀膜箱内抽成真空，通入氩离子，使靶溅射到工件表面，完成后分开上密封板、下密封板，输送带继续传动传递下一个工件。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的结构示意图。
图2为本发明输送装置的结构示意图。
图3为本发明输送装置的左半部分结构示意图。
图4为本发明伸缩板的俯视图。
图5为本发明伸缩板的侧视图。
图6为本发明密封装置的结构示意图。
图7为本发明上密封板的侧视图。
图中：底座1、真空机2、输送装置3、密封装置4、镀膜箱5、阴极6、靶7、阳极8、氩离子机9、输送轮a、输送带b、重力轮c、导杆d、支架e、轮子a1、挡板a2、推块a3、铰链b1、支杆b2、伸缩板b3、固定板b30、弹力杆b31、弹簧b32、移动板b33、限位块b34、空腔50、开口51、上密封板40、下密封板41、气缸42、半圆槽43。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-7，本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机技术方案：其结构包括底座1、真空机2、输送装置3、密封装置4、镀膜箱5、阴极6、靶7、阳极8、氩离子机9，所述镀膜箱5底部与底座1相连接，所述真空机2、氩离子机9设在底座1上并分别与镀膜箱5底部相连通，所述镀膜箱5内部的上下两端分别设有阴极6、阳极8，所述阴极6底部连接有靶7，所述输送装置3顶部横穿镀膜箱5，所述镀膜箱5的两端分别安装有密封装置4，所述密封装置4与输送装置3相配合。
所述输送装置3包括输送轮a、输送带b、重力轮c、导杆d、支架e，所述输送轮a设有2个并分别安装在镀膜箱5两侧，所述输送带b的两端分别与输送轮a相配合，所述支架e连接在镀膜箱5底部，所述导杆d贯穿支架e且底部与重力轮c相连接，所述重力轮c与输送带b滑动连接，重力轮c能够对输送带b进行自动张紧调节。
所述输送轮a包括轮子a1、挡板a2、推块a3，所述轮子a1的两面分别设有挡板a2，所述挡板a2外侧设有均匀分布的推块a3。
所述输送带b包括铰链b1、支杆b2、伸缩板b3，所述伸缩板b3之间通过铰链b1活动链接，所述伸缩板b3的两侧分别连接有支杆b2，所述支杆b2与推块a3相配合，铰链b1便于伸缩板b3之间进行旋转活动。
所述伸缩板b3包括固定板b30、弹力杆b31、弹簧b32、移动板b33、限位块b34，所述移动板b33内部设有空腔，该空腔内部设有限位块b34，所述限位块b34的两端分别通过弹力杆b31与固定板b30相连接，所述弹簧b32设在空腔内并套设在弹力杆b31上，弹簧b32能够使固定板b30、移动板b33自动合并。
所述镀膜箱5的两侧分别设有空腔50，所述空腔50中间设有开口51，空腔50便于安装密封装置4。
所述密封装置4包括上密封板40、下密封板41、气缸42，所述上密封板40、下密封板41分别设在开口51的上下两侧并通过气缸42连接在空腔50中。
所述上密封板40、下密封板41均设有2个对应的半圆槽43。
所述上密封板40、下密封板41的相对边设有橡胶条，提高密封性。
所述半圆槽43内设有橡胶条，提高密封性，所述半圆槽43与弹力杆b31相契合。
所述上密封板40、下密封板41的相对边侧面为锥形，便于挤开固定板b30、移动板b33。
所述固定板b30、移动板b33中间连接处为“V”状，便于上密封板40、下密封板41将固定板b30、移动板b33分开。
所述轮子a1的宽度与伸缩板b3一致，所述挡板a2的直径大于轮子a1，防止伸缩板b3偏离。
所述开口51处还设有激光传感器，能够检测“V”状开口的位置。
本发明在使用时，将工件放在输送带b上，输送轮a转动通过推块a3推动支杆b2向前移动，使输送带b进行传动，经过开口51将工件送入镀膜箱5中，然后激光传感器检测到伸缩板b3的V形开口时，气缸启动将上密封板40、下密封板41合并，使上密封板40、下密封板41能够将伸缩板b3的固定板b30、移动板b33分离，并使弹力杆b31嵌入半圆槽43中间，合并上密封板40、下密封板41能够将开口51密封住，然后真空机2将镀膜箱5内抽成真空，通入氩离子，使靶7溅射到工件表面，完成后分开上密封板40、下密封板41，输送带b继续传动传递下一个工件。
本发明相对现有技术获得的技术进步是：通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座（1）、真空机（2）、输送装置（3）、密封装置（4）、镀膜箱（5）、阴极（6）、靶（7）、阳极（8）、氩离子机（9），所述镀膜箱（5）底部与底座（1）相连接，所述真空机（2）、氩离子机（9）设在底座（1）上并分别与镀膜箱（5）底部相连通，所述镀膜箱（5）内部的上下两端分别设有阴极（6）、阳极（8），所述阴极（6）底部连接有靶（7），其特征在于：
所述输送装置（3）顶部横穿镀膜箱（5），所述镀膜箱（5）的两端分别安装有密封装置（4），所述密封装置（4）与输送装置（3）相配合。
2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述输送装置（3）包括输送轮（a）、输送带（b）、重力轮（c）、导杆（d）、支架（e），所述输送轮（a）设有2个并分别安装在镀膜箱（5）两侧，所述输送带（b）的两端分别与输送轮（a）相配合，所述支架（e）连接在镀膜箱（5）底部，所述导杆（d）贯穿支架（e）且底部与重力轮（c）相连接，所述重力轮（c）与输送带（b）滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述输送轮（a）包括轮子（a1）、挡板（a2）、推块（a3），所述轮子（a1）的两面分别设有挡板（a2），所述挡板（a2）外侧设有均匀分布的推块（a3）。
4.根据权利要求2所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述输送带（b）包括铰链（b1）、支杆（b2）、伸缩板（b3），所述伸缩板（b3）之间通过铰链（b1）活动链接，所述伸缩板（b3）的两侧分别连接有支杆（b2），所述支杆（b2）与推块（a3）相配合。
5.根据权利要求2所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述伸缩板（b3）包括固定板（b30）、弹力杆（b31）、弹簧（b32）、移动板（b33）、限位块（b34），所述移动板（b33）内部设有空腔，该空腔内部设有限位块（b34），所述限位块（b34）的两端分别通过弹力杆（b31）与固定板（b30）相连接，所述弹簧（b32）设在空腔内并套设在弹力杆（b31）上。
6.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜箱（5）的两侧分别设有空腔（50），所述空腔（50）中间设有开口（51）。
7.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述密封装置（4）包括上密封板（40）、下密封板（41）、气缸（42），所述上密封板（40）、下密封板（41）分别设在开口（51）的上下两侧并通过气缸（42）连接在空腔（50）中。
8.根据权利要求7所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述上密封板（40）、下密封板（41）均设有2个对应的半圆槽（43）。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| TA01 | Transfer of patent application right | ||
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Effective date of registration: 20211013 Address after: 212132 No. 13, Fengqi Road, Dagang Town, Zhenjiang New Area, Jingkou District, Zhenjiang City, Jiangsu Province Applicant after: Liu Peizhu Address before: Room 405, Xingxiang building, Hunan Agricultural University, Changsha, Hunan 410128 Applicant before: Huang Haishan |
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| TA01 | Transfer of patent application right | ||
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Effective date of registration: 20220113 Address after: 518000 third floor, building 16, Shasan shangxiawei Industrial Zone, Shajing street, Bao'an District, Shenzhen, Guangdong Applicant after: Shenzhen Ruili Taide precision coating Co.,Ltd. Address before: 212132 No. 13, Fengqi Road, Dagang Town, Zhenjiang New Area, Jingkou District, Zhenjiang City, Jiangsu Province Applicant before: Liu Peizhu |
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231113 Address after: 518100 3rd Floor, No. 2151 Shajing West Ring Road, Shasan Community, Shajing Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Shenzhen Han's Ruili Taide Precision Coating Co.,Ltd. Address before: 518000 third floor, building 16, Shasan shangxiawei Industrial Zone, Shajing street, Bao'an District, Shenzhen, Guangdong Patentee before: Shenzhen Ruili Taide precision coating Co.,Ltd. |