CN2602034Y - 连续式蒸镀溅镀机 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的两端分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，每个室与室之间均设有密封移门装置；本实用新型可以使真空镀膜机始终处于真空状态，实现连续工作，提高生产效率。

Description

连续式蒸镀溅镀机
技术领域
本实用新型涉及一种蒸镀或溅镀机。
背景技术
现有技术中，利用蒸发技术或溅射技术在光学器件表面镀膜，已经成熟地应用于工业生产当中，这种传统的镀膜工艺需要在真空条件下进行。因此，实际的生产过程是间隙进行的，先将一批光学器件送入真空镀膜机中，然后对真空镀膜机进行抽真空，使其在真空状态下对光学器件进行蒸镀或溅镀，镀膜完成后成品出炉，然后再重复上述操作步骤，对下一批光学器件进行镀膜，所以其生产效率比较低下。
发明内容
本实用新型的目的是：提供一种连续式蒸镀溅镀机，该机的蒸镀或溅镀室始终保持在真空状态下，可以连续地对一批又一批光学器件进行镀膜，从而大大提高了生产效率。
本实用新型的技术方案是：一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的工件进口和工件出口上分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，每个进件真空过渡室之间、进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与出件真空过渡室之间、每个出件真空过渡室之间均设有密封移门装置。
本实用新型进一步的技术方案是：一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的工件进口和工件出口上分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，每个进件真空过渡室之间、进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与出件真空过渡室之间、每个出件真空过渡室之间均设有密封移门装置；所述工件输送导向装置包括设置于底部的联动导辊和设置于顶部的导轨，每个进件真空过渡室、真空镀膜机、每个出件真空过渡室均设有独立的联动导辊驱动电机；所述密封移门装置包括与进件真空过渡室或出件真空过渡室侧向连通的密封盒，密封盒内设有移门，移门上下设有导向装置，移门外侧设有伸缩气缸，进件真空过渡室或出件真空过渡室内设有与移门平面密封的密封框。
本实用新型的优点是：
1.本实用新型通过在真空镀膜机的进出口两端设置的若干个、独立密封和独立送件的进件真空过渡室和出件真空过渡室，可以使真空镀膜机始终处于真空状态，而实现连续工作的目的，大大提高了生产效率。
2.本实用新型通过贯通设置的导向装置和各室内设置的独立驱动的导向装置实现工件的间隙式输送，通过各室之间设置的密封移门装置实现独立密封，从而可使工件从大气到真空，再从真空到大气逐级过渡，以完成镀膜生产。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述：
图1为本实用新型的主视图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为A-A剖视图；
图4为B-B剖视图；
图5为C-C剖视图。
其中：1真空镀膜机；2工件进口；3工件出口；4进件真空过渡室；41第一进件真空过渡室；42第二进件真空过渡室；43第三进件真空过渡室；5出件真空过渡室；51第一出件真空过渡室；52第二出件真空过渡室；6抽真空装置；7工件输送导向装置；8密封移门装置；9联动导辊；10导轨；11联动导辊驱动电机；12密封盒；13移门；14导向装置；15伸缩气缸；16密封框。
具体实施方式
实施例：如图1、图2、图3、图4、图5所示，一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机(1)，所述真空镀膜机(1)的工件进口(2)和工件出口(3)上分别密封连接在三个进件真空过渡室(4)和两个出件真空过渡室(5)，每个进件真空过渡室(4)和出件真空过渡室(5)均安装有抽真空装置(6)，进件真空过渡室(4)、真空镀膜机(1)和出件真空过渡室(5)之间贯通有工件输送导向装置(7)，每个进件真空过渡室(4)之间、进件真空过渡室与真空镀膜机(1)之间、真空镀膜机(1)与出件真空过渡室(5)之间、每个出件真空过渡室(5)之间均设有密封移门装置(8)；所述工件输送导向装置(7)包括设置于底部的联动导辊(9)和设置于顶部的导轨(10)，每个进件真空过渡室(4)、真空镀膜机(1)、每个出件真空过渡室(5)均设有独立的联动导辊驱动电机(11)；所述密封移门装置(8)包括与进件真空过渡室(4)或出件真空过渡室(5)侧向连通的密封盒(12)，密封盒(12)内设有移门(13)，移门(13)上下设有导向装置(14)，移门(13)外侧设有伸缩气缸(15)，进件真空过渡室(4)或出件真空过渡室(5)内设有与移门(13)平面密封的密封框(16)。
工作时，将工件送入第一进件真空过渡室(41)，然后对第一进件真空过渡室(41)进行抽真空，等第一进件真空过渡室(41)的真空度与第二进件真空过渡室(42)相等时，将第一进件真空过渡室(41)内的工件送入第二进件真空过渡室(42)，然后对第二进件真空过渡室(42)抽真空，等第二进件真空过渡室(42)的真空度与第三进件真空过渡室(43)相等时，将第二进件真空过渡室(42)内的工件送入第三进件真空过渡室(43)，然后对第三进件真空过渡室(43)进行抽真空，等第三进件真空过渡室(43)的真空度与真空镀膜机(10)的真空度相等时，将第三进件真空过渡室(43)内的工件送入真空镀膜机(1)进行镀膜，这样从大气到真空，使工件通过进件真空过渡室(4)进入真空镀膜机(1)中，而真空镀膜机(1)却始终保持在真空状态。
同样，工件完成镀膜后，经过两级出件真空过渡室(51)和(52)，即可将工件从真空到大气送出真空镀膜机(1)。

Claims (3)

1.一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机(1)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)的工件进口(2)和工件出口(3)上分别密封连接在若干个进件真空过渡室(4)和出件真空过渡室(5)，每个进件真空过渡室(4)和出件真空过渡室(5)均安装有抽真空装置(6)，进件真空过渡室(4)、真空镀膜机(1)和出件真空过渡室(5)之间贯通有工件输送导向装置(7)，每个进件真空过渡室(4)之间、进件真空过渡室与真空镀膜机(1)之间、真空镀膜机(1)与出件真空过渡室(5)之间、每个出件真空过渡室(5)之间均设有密封移门装置(8)。
2.根据权利要求1所述的连续式蒸镀溅镀机，其特征在于：所述工件输送导向装置(7)包括设置于底部的联动导辊(9)和设置于顶部的导轨(10)，每个进件真空过渡室(4)、真空镀膜机(1)、每个出件真空过渡室(5)均设有独立的联动导辊驱动电机(11)。
3.根据权利要求1所述的连续式蒸镀溅镀机，其特征在于：所述密封移门装置(8)包括与进件真空过渡室(4)或出件真空过渡室(5)侧向连通的密封盒(12)，密封盒(12)内设有移门(13)，移门(13)上下设有导向装置(14)，移门(13)外侧设有伸缩气缸(15)，进件真空过渡室(4)或出件真空过渡室(5)内设有与移门(13)平面密封的密封框(16)。
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