KR970077435A - 프로브 카드 - Google Patents

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KR970077435A
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준 모치주키
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히가시 데츠로
도쿄 에레쿠토론 가부시끼가이샤
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Abstract

반도체 웨이퍼 등의 피검사체상의 반도체소자와 같은 피검출소자를 여러개 동시에 전기적으로 검사하는 프로브 카드에 관한 것으로, 모든 프로브침에 의해 소정의 침압을 확실하게 화보할 수 있어 안정한 검사를 실시할 수 있음과 동시에 프로브침을 정밀도 좋게 대에 부착하기 위해, 선단부와 도중부를 갖는 상단의 프로브침군, 이 상단의 프로브침군의 아래쪽에 위치되고 선단부와 도중부를 갖는 하단의 프로브침군, 하면을 구비하고 개구부를 규정하는 개구부 주위의 프레임부를 갖는 대 및 대의 프레임부의 하면에 부착되어 서로 사이에 채널을 규정하도록 이간된 제1 및 제2수지고정부를 구비하고, 각 프로브군침의 각 침선군과 피검사체상의 여러행, 여러열의 반도체소자의 전극을 동시에 접속시켜 여러개의 반도체소자의 전기적 특성검사를 동시에 실행하도록 구성하였다.
이러한 구성으로 하는 것에 의해, 모든 프로브침에서 소정의 침압을 확산하게 확보할 수 있어 안정한 검사를 실시할 수 있음과 동시에 프로브침을 대에 부착할 때 숙련을 필요로 하지 않는다는 효과가 얻어지다.

Description

프로브 카드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도 및 제1b도는 본 발명의 프로브 카드의 1실시예를 도시한 도면으로서, 각각 서로 직교하는 방향의 단면도.

Claims (8)

  1. 선단부와 도중부를 갖는 상단의 프로브침군과, 이 상단의 프로브침군의 아래쪽에 위치되고 선단부와 도중부를 갖는 하단의 프로브침과, 하면을 구비하고 개구부를 규정하는 개구부 주위의 프레임부를 갖는 대와, 상기 대의 프레임부의 하면에 부착되어 서로 사이에 채널을 규정하도록 이간된 제1 및 제2수지고정부를 구비하고, 상기 제1수지고정부는 상기 상단의 프로브군과 하단의 프로브군의 도중부를 서로 전기적으로 절연하고 또한 상단의 프로브군의 선단부가 상기 대의 개구부에 대해 노출되고 하단의 프로브군의 선단부가 상기 채널에 대해 노출되도록 지짖하고, 상기 제2수지고정부는 상단의 프로브침군의 도중부를 서로 전기적으로 절연하도록 지지하며, 상기 각 프로브침군의 각 침선군과 피검사체상의 여러행 여러열의 반도체소자의 전극을 동시에 접속시켜 복수개의 반도체소자의 전기적 특성검사를 동시에 실행하는 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 대는 상면과 이 상면에서 상기 하면으로 관통한 관통구멍 s를 갖고, 또한 이 관통구멍내에 충전되어 상기 제1수지고정부와 일체적인 수지층전부를 갖는 프로브 카드.
  3. 제1항에 있어서 상기 하단의 프로브침군의 선단부는 제2수지고정부 부근에 위치된 침선을 갖는 프로브 카드.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상단 하단의 프로브침군은 각각 상하 복수단의 프로브침소군을 갖는 프로브 카드.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1수지고정부는 하단의 프로브군의 도중부를 지지하고, 상면을 갖는 제1층과 이 제1층상에 일체적으로 형성되고 상단의 프로브군의 도중부를 지지하는 제2층을 갖고, 상기 제2수지고정부는 상기 제2층의 두께와 대략 동일한 두께를 갖는 프로브 카드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2층과 제2수지고정부는 동일 공정으로 제1수지층의 형성후에 형성되는 프로브 카드.
  7. 제1항에 있어서, 상기 대의 하면은 테이퍼면을 갖고, 이 테이퍼면과 평행하게 각 프로브침은 돌출해 있고, 상기 제1 및 제2수지고정부는 이 테이퍼면과 평행한 하면을 갖는 프로브 카드.
  8. 선단부와 도중부를 갖는 제1프로브침군과, 상기 제1프로브침군의 도중부의 일부가 서로 전기적으로 절연되어 한쪽만 지지되는 제1수지층과, 상기 제1수지충상에 서로 전기적으로 절연해서 배치된 도중부와 선단부를 갖는 제2프로브침군과, 상기 제2프로브침군의 도중부의 일부를 메워서 제1수지층에 고정시키도록 제1수지층상에 형성된 제2수지층과, 상기 제2수지층과는 프로브침의 긴쪽방향으로 이간해서 위치되고, 제2프로브침군의 도중부의 상기 일부와는 이간된 다른 일부를 메워서 제2프롤브침을 한쪽만 지지하는 수지고정부와, 상기 제2수지층과 수지공정부가 서로 이간되어 부착되는 하면을 갖는 대를 구비하고, 상기 제1군의 프로브침의 선단부는 제1수지층과 수지고정부 사이에서 노출되고, 상기 제2군의 프로브침의 선단부는 수지고정부에서 제2수지층과는 반대쪽으로 연장해서 노출되어 있는 프롤브 카드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970018891A 1996-05-17 1997-05-16 프로브 카드 KR100342015B1 (ko)

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