KR970074653A - 트리클로로실란의 제조 방법 - Google Patents

트리클로로실란의 제조 방법 Download PDF

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히로시 사모리
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Abstract

본 발명은 규소 입자, 테트라클로로실란 및 수소의 반응을 통한 트리클로로실란의 제조 방법.에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본 발명은 규소 입자, 테트라클로로실란 및 수소를, 규화구리를 포함하는 첨가 된 촉매의 존재하에 400내지700의 온도에서 유동상 중에서 반응시키는 것으로 이루어지는 트리클로로실란의 제조방법.에 관한 것이다. 본 발명은 반응계에 규화구리와 같은 구리 기재 촉매를 첨가하여구리 기재 촉매 또는 규소 입자의 응집을 신뢰성이 매우 높게 억제할 수 있고, 상기 규화구리 및 철 성분의 혼합물, 또는 규화구리, 철성분및 알루미늄 성분의 혼합물을 포함하는 촉매계에 의해 트리클로로실란으로의 전환반응의 속도를 개선시킬 수 있다. 따라서, 본 발명은 규화구리를 포함하는 신규 촉매계를 사용하여 규소 입자, 테트라클로로실란 및 수소를 고온에서 유동상 중에서 반응시켜 공지의 구리 기재 촉매를 사용하는 방법.보다 더빠른 반응속도로 보다 안정적으로 트리클로로실란을 제조할 수 있는 방법.을 제공한다.

Description

트리클로로실란의 제조방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 방법.에 유리하게 사용되는 유동상 반응기의 개략적 단면도임

Claims (10)

  1. 규소입자, 테트라클로로실란 및 수소를, 규화구리를 함유하는 첨가된 촉매의 존재하에 400내지 700℃의 온도에서 유동상 중에서 반응시키는 것으로 이루어지는 트리클로로실란의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 촉매가 규화구리와 철 성분의 혼합물 또는 규화구리, 철 성분및 알루미늄 성분의 혼합물인 것인방법.
  3. 제2항에 있어서, 반응계에 존재하는 규화구리와 철 성분의 혼합물 또는 규화구리, 철 성분 및 알루미늄 성분의 혼합물의 양이 규소 원자를 기준으로 하여 구리 원자의 비율이 0. 1내지 25중량%, 철 원자의 비율이 0. 3내지 40중량%, 알루미륨 원자의 비율이 0. 1내지 3중량%가 되도록 조정되는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 규소원자를 기준으로 하여 철 원자를 0. 3중량% 이상포함하는 규소입자가 반응개시시에 공급되는 방법.
  5. 제2항에 있어서, 알루미늄이 알루미륨 함유규소 입자로서 반응계에 공급되는 것인방법.
  6. 제2항에 있어서, 철이 철 함유 규소 입자로서 반응계에 공급되는 것인방법.
  7. 제1항에 있어서, 규화구리가 적어도 규소입자의 표면에 규화구리가 존재하는 구리 함유 규소 입자로서 반응계에 공급되는 것인방법.
  8. 평균입경이 50㎛내지 2㎜인 규소 입자및 평균 입경이 1㎜이하 인염화제1구리 입자및 (또는) 염화제2구리 입자를 산화물 또는 염화물을 생성시키지 않는 비산화성 기체 분위기 중에서 250°이상의 온도에서 가열하는 것으로 이루어지는, 제7항의 구리 함유 규소 입자의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 염화제1구리 및 (또는)염화제2구리가 규소 입자100중량부에 대하여 구리 원자로 환산하여 30중량부의 양으로 사용되는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 표면에서 깊이 10㎛까지의 부분에 규화구리의 80%가 존재하는 규소 입자가 제조되는 것인방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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