JP4160930B2 - ハロシランの製造方法、固形分の精製方法 - Google Patents
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また、廃棄物の削減が可能となり、スライスのコストダウンを図ることができる。また、シーメンス法、又は亜鉛還元法などにより、ハロシランから高純度のSiを生成することもでき、今後Siのリサイクルが可能になる。
本発明の第1の実施形態に係るハロシランの製造方法は、(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、(2)1次遠心分離により得られた液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分と、その残りのスラッジとに分離し、(3)2次遠心分離により得られた液分を蒸留することにより得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、(4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備える。
砥粒は、例えば、SiC、ダイヤモンド、CBN、アルミナなどからなる。水溶性(水性)の分散媒は、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール又はポリエチレングリコールなどの水溶性の溶媒(水溶性の有機溶媒)からなる。また、水溶性の分散媒は、5%〜15%程度の水を含んでいてもよい。この場合、この分散媒が消防法上の危険物となるのを避けることができる。さらに、分散媒には、通常、砥粒やSi切り屑を分散させるための分散剤(ベントナイト)など(数%程度)が添加されている。シリコン粒とは、例えば、シリコンインゴットをスライスしてシリコンウエハを作成するときに発生するシリコン切屑、又はシリコンウエハをラッピングするときに発生する研磨屑である。使用済みスラリとは、例えば、シリコンインゴットをスライスしてシリコンウエハを作成するときに使用されてシリコン切屑などのシリコン粒が混入した状態のスラリである。1次遠心分離は、好ましくは、100〜1000Gで行う。1次遠心分離により、使用済みスラリが、第1の固形分と第1の液分とに分離される。第1の固形分は、砥粒が主成分である。砥粒は、一般にシリコン粒よりも比重が大きいので、シリコン粒よりも速く沈降する。このため、低速の遠心分離を行うと、砥粒が選択的に沈降する。第1の固形分には、多くの砥粒が含まれているので、第1の固形分は、スラリの再生に用いることができる。一方、第1の液分には、主に分散媒及びシリコン粒が含まれている。
2次遠心分離は、好ましくは、2000〜5000Gで行う。このような高速の遠心分離を行うと、1次遠心分離では、沈降しなかった固形分も沈降する。この工程で得られるスラッジ(第2の固形分)には、シリコン粒と、1次遠心分離で沈降しなかった砥粒が含まれている。分散媒が主成分の液分(第2の液分)には、砥粒及びシリコン粒も含まれている。第2の液分は、通常、スラリの再生に利用されるが、その全量をそのままスラリの再生に用いると、再生したスラリのシリコン質量比が大きくなりすぎて、好ましくない。そこで、第2の液分の少なくとも一部を蒸留し、蒸留により得られた液分を回収してスラリの再生に用いることが好ましい。
「2次遠心分離により得られた液分(第2の液分)を蒸留」には、この液分の一部を蒸留する場合も含まれる。また、例えば、第2の液分の一部にスラッジを加えて得られる混合液を蒸留してもよい。この場合、スラッジ中に含まれるシリコンも回収することができる。蒸留は、真空(20Torr以下程度)中で行うことが好ましい。なぜなら、常圧下での蒸留では、蒸留中に発火する危険性があるからである。蒸留により得られる液分は、通常、実質的に分散媒のみからなる。従って、この液分をスラリの再生に用いることにより、再生されるスラリのシリコン質量比を小さくすることができる。
ハロゲン化剤は、フッ素化剤(フッ化剤)、塩素化剤(塩化剤)、臭素化剤(臭化剤)、又はヨウ素化剤(ヨウ化剤)からなる。また、また、塩素化剤は、好ましくは、塩酸ガス又は塩素ガスからなる。塩素化剤は、例の塩化物、例えば塩化アンモニウムなどであってもよい。また、塩素化剤には、高温で塩酸又は塩素ガスに分解するようなものであれば適用可能である。上記工程により得られた固形分にハロゲン化剤を反応させることにより、有機物のハロゲン化物、金属のハロゲン化物及びハロシランなどの混合物が得られる。この混合物を精留することにより、ハロシランを回収する。なお、ハロゲン化剤がフッ素化剤、塩素化剤、臭素化剤又はヨウ素化剤である場合、得られるハロシランは、それぞれフルオロシラン、クロロシラン、ブロモシラン又はヨードシランである。また、特に、塩素化剤が塩酸ガスの場合、クロロシランは、主成分がトリクロロシランとテトラクロロシランであり、塩素化剤が塩素ガスの場合、クロロシランは、主成分がテトラクロロシランである。なお、精留を行わずに、ハロゲン化剤との反応により得られる生成物をそのまま回収してもよい。
本発明の第2の実施形態に係るハロシランの製造方法は、(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを固液分離して得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、(2)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備える。
本発明の第3の実施形態に係る、使用済みスラリから得られる固形分の精製方法は、砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを固液分離して得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行う工程を備える。
まず、使用済みのスラリ1を、1次遠心分離機に導き、遠心力を500Gの超低Gで、1次遠心分離を行い、砥粒が主成分の第1の固形分3bと、分散媒+切屑(たとえばシリコン切屑)が主成分の第1の液分3aとに分離した。第1の固形分3bは、回収してスラリの再生に用いた(回収砥粒4)。
真空蒸留により得られた第3の固形分7bは、その中に含まれる分散媒の影響で、1〜10mm程度の粒が多数存在する状態であった。後述するが、分散媒は有機物(エチレングリコール、プロピレングリコール又はポリエチレングリコール)であり、塩酸と反応させた場合にクロロホルムなどの物質が発生するので、なるべく取り除く方がよい。また1〜10mm程度の粒は非常に反応性が悪い(反応に時間がかかる)ので、より細かい粒に粉砕する方がよい。そこで、振動真空粉砕を実施した。これは、真空容器の中に、アルミナボールと試料を投入し、振動数2000VPM、振幅5mm、温度150℃、真空度1torrで実施した。98kgを処理するための時間は、2時間程度であった。粉砕により得られた固形分の粒径分布を表3に示す。
これを利用するとSiCl4(沸点:約58℃)中に残留する有機物は、激減できた。理想的には、非常に小さな粒(本来、凝集していなければ、20μm以下のサイズが大半)になるように、粉砕を行えばより有機物濃度を低減できる。これは、粒子(Si微紛やSiC粉)を巨大粒子に凝集させるために有機物が作用しているためである。
Claims (11)
- (1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、
(2)1次遠心分離により得られた液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分と、その残りのスラッジとに分離し、
(3)2次遠心分離により得られた液分を蒸留することにより得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、
(4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備えるハロシランの製造方法。 - ハロゲン化剤は、塩素化剤である請求項1に記載の製造方法。
- 塩素化剤は、塩酸ガス又は塩素ガスからなる請求項2に記載の製造方法。
- 工程(3)は、2次遠心分離により得られた液分の一部にスラッジを加えて得られる液分を蒸留することにより得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行う工程である請求項1に記載の製造方法。
- 工程(3)において、有機物残渣の除去は、粉砕後の固形分から所定の粒径以上の粒子を除去した後に行う請求項1に記載の製造方法。
- 工程(3)において、有機物残渣は、真空乾燥により除去される請求項1に記載の製造方法。
- 工程(4)で発生する残渣を中和処理し、中和処理により得られた生成物を分級して、砥粒を回収する工程をさらに備える請求項1に記載の製造方法。
- (1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを固液分離して得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、
(2)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備えるハロシランの製造方法。 - ハロゲン化剤は、塩素化剤である請求項8に記載の製造方法。
- 塩素化剤は、塩酸ガス又は塩素ガスからなる請求項9に記載の製造方法。
- 砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを固液分離して得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行う工程を備え、
粉砕及び有機物残渣の除去は、真空中で、振動及び加熱を行うことができる装置を用いて行うことを特徴とする、使用済みスラリから得られる固形分の精製方法。
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