KR970054163A - 반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 - Google Patents
반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
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- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
Abstract
1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술 분야
반도체 소자 제조 방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
종래의 캐패시터 제조 방법을 이용하염 층간 절연막과 플레이트용 폴리실리콘과의 접촉면을 제대로 활용하지 않아 반도체 소자의 고집적화에 따른 충분한 캐패시턴스를 확보하지 못했다는 문제를 해결하고자 함.
3. 발명의 해결 방법의 요지
캐패시터를 형성하는 제1플레이트를 제2플레이트가 감싸고 있는 형태의 샌드위치(Sandwich) 구조의 캐패시터를 형성하여 한정된 면적을 효율적으로 이용하여 캐패시턴스를 증가시킬수 있도록 함.
4. 발명의 중요한 용도
반오체 소자의 캐패시터를 제조하는데 주로 이용됨.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2E도는 본 발명의 한 실시예에 따른 캐패시터 제조 방법을 설명하기 위한 공정도.
Claims (2)
- 반도체 소자의 캐패시터에 있어서, 하부 제1플레이트- 유전체막과 제2플레이트- 상부 제1플레이트로 구성되어 상기 하부 제1플레이트와 상기 상부 제1플레이트가 브트 콘택 플러그로 상호 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 캐패시터.
- 반도체 소자의 캐패시터를 제조하는 방법에 있어서, 반도체 기판 상에 하부층 및 층간 절연막이 형성된 구조 상에 제1폴리실리콘을 증착한 후 상기 제1폴리실리콘의 패턴닝을 실시하는 단계와, 전체 구조 상에 제1유전체막, 제2폴리실리콘을 차례로 증착하는 단계와, 캐패시터가 형성될 부분에 소정의 마스크 및 식각 공정을 실시하여 콘택 홀을 형성하고, 전체 구조 상에 제3폴리실리콘을 증착한 후 상기 제3폴리실리콘과 상기 제2폴리실리콘의 패턴닝을 실시하는 단계와, 전체 구조 상에 제2유전체막, 제4폴리실리콘을 차례로 증착한 후 상기 제4폴리실콘의 패턴닝을 실시하는 단계 및 전체 구조 상에 층간 절연막을 형성하고, 상기 제4폴리실리콘과 상기 제1폴리실리콘을 연결하기 위한 브팅 콘택 플러그를 형성하는 단계를 포함해서 이루어진 반도체 소자의 캐패시터 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950072226A KR970054163A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950072226A KR970054163A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054163A true KR970054163A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66640758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950072226A KR970054163A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054163A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990048904A (ko) * | 1997-12-11 | 1999-07-05 | 윤종용 | 반도체 장치의 커패시터 제조방법 |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950072226A patent/KR970054163A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990048904A (ko) * | 1997-12-11 | 1999-07-05 | 윤종용 | 반도체 장치의 커패시터 제조방법 |
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