KR970052718A - 기판세정장치 및 기판세정방법 - Google Patents

기판세정장치 및 기판세정방법 Download PDF

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Abstract

비접촉으로 세정능력이 높은 기판세정장치를 제공한다.
초음파 세정노즐(10)과 고압세정노즐(20)이 하나의 세정장치내에 병설되어 있다. 초음파 세정노즐(10)는 슬리트(13)에서 초음파 세정액(F)을 커텐 모양으로 토출하고, 고압세정노즐(20)은 기판(1)에 토출된 초음파 세정액(F)을 향하여 고압세정제트(J)를 분출한다. 초음파 세정으로 제거된 이물뿐만이 아니라, 고압세정제트(J)에 의해 제거된 이물도 초음파 세정액(F)의 흐름에 의해 기판(1) 회전(R)의 하류측으로 배출된다.

Description

기판세정장치 및 기판세정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시형태인 기판세정장치의 주요부 사시도.

Claims (22)

  1. 기판의 세정을 행하는 장치에 있어서, (a)기판을 향하여 액체를 토출하면서 상기 액체에 초음파를 발사하여 상기 기판의 초음파 세정을 행하는 초음파 세정수단과, (b)상기 음파 세정수단과는 다른 위치에 설치되고, 고압액체를 상기 기판을 향하여 분출하여 상기 기판의 고압세정을 행하는 고압세정 수단을 구비하여, 상기 기판에 대하여 상기 초음파 세정과 상기 고압세정과의 복합 세정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  2. 제1항에 있어서, (c)상기 기판을 소정의 방향으로 회전하는 기판회전수단을 더 구비하고, 상기 기판의 회전을 행하면서 상기 복합 세정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 초음파 세정수단은(a-1)상기 기판의 피세정면상에 규정된 초음파 세정라인을 향하여 초음파가 발사된 상기 액체를 슬리트로부터 토출하는 초음파 세정노즐을 구비함과 동시에, 상기 고압세정수단은, (b-1)상기 기판의 피세정면상에 규정된 고압세정 스포트를 향하여, 상기 고압액체를 분출하는 고압세정노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  4. 제3항에 있어서, (d)상기 기판의 회전중심의 상방을 통하며, 또한 상기 기판의 면에 실질적으로 평행한 궤적을 따라 상기 고압세정노즐을 요동시키는 고압세정노즐 요동수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 고압세정스프토가 상기 초음파 세정라인의 근방이며, 또한 상기 기판의 회전에 있어서, 상기 초음파 세정라인보다 먼저 상기 기판을 주사하는 위치에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 고압세정스포트가 상기 초음파 세정라인의 양 단점중 상기 기판의 회전중심으로부터 먼쪽의 단점측에 치우쳐 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  7. 기판의 세정을 행할 때 초음파가 발생된 액체를 상기 기판을 향해 토출하는 초음파 세정과, 고압액체를 상기 기판을 향하여 분출하는 고압세정과를 시간적으로 병행하여 동일 장치내에서 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 기판을 소정의 방향으로 회전시키면서, 상기 초음파 세정과 상기 초음파 세정과 상기 고압세정과의 복합세정의 주사를 상기 기판에 대하여 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 초음파 세정은, 상기 기판의 피세정면상에 규정된 초음파 세정라인을 향하여, 초음파가 발사된 상기 액체를 초음파 세정노즐에서 토출함으로써 행해지고, 상기 고압세정은, 상기 기판의 피세정면상에 규정된 고압세정 스포트를 향하여, 상기 고압액체를 고압세정노즐에서 분출함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 기판의 회전중심의 상방을 지나고, 또한 상기 기판의 면에 실질적으로 평행한 궤적을 따라 상기 고압세정노즐을 요동시키면서 상기 고압세정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고압세정스포트가 상기 초음파 세정라인의 근방이며, 또한 상기 기판의 회전에 있어서 상기 초음파 세정라인보다 먼저 상기 기판을 주사하는 위치에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 고압세정스포트가 상기 초음파 세정라인의 양 단점중 상기 기판의 회전중심에서 먼쪽의 단점측에 치우쳐 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  13. 제1항에 있어서, (c)상기 초음파 세정수단 및 상기 고압세정 수단과 상기 기판과를 상대적으로 병진시키는 병진수단을 더 구비하고, 상기 병진을 행하면서 상기 기판의 세정주사를 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 초음파 세정수단은(a-1)상기 기판의 피세정면상에 규정된 초음파 세정라인을 향하여 초음파가 발사된 상기 액체를 슬리트로부터 토출하는 초음파 세정노즐을 구비함과 동시에, 상기 고압세정수단은, (b-1)상기 기판의 피세정면상에 규정된 고압세정 스포트를 향하여, 상기 고압액체를 분출하는 고압세정노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  15. 제14항에 있어서, (d)상기 고압세정 스포트 배열의 방향을 따라 상기 고압세정노즐을 요동시키는 고압세정노즐의 배열이 상기 초음파 세정라인의 양측에 규정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 고압세정노즐이 상기 초음파 세정노즐의 양측에 마련됨으로써, 상기 고압 세정스포트의 배열이 상기 초음파 세정라인의 양측에 규정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 초음파 세정노즐은 상기 기판의 피세정면에 대하여 거의 직각으로 상기 액체를 토출하고, 상기 고압세정노즐은 상기 초음파 세정노즐로부터 상기 액체의 토출방향과 거의 동일 또는 그것으로부터 떨어진 방향으로 기울어져 상기 고압액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 기판은, 상기 초음파 세정수단 및 상기 고압세정수단에 대하여 소정의 하나의 방향으로 상대적으로 반송되고, 상기 고압세정 스포트의 배열은, 상기 소정의 하나의 방향에 있어서, 상기 초음파 세정라인보다 전에 상기 기판을 주사하는 위치에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 초음파 세정노즐은, 상기 기판의 피세정면에 대하여 상기 소정의 방향측으로 기울어져 상기 액체를 토출하고, 상기 고압세정노즐은, 상기 초음파 세정노즐의 양측중 상기 반송에서의 상기 소정 방향의 역방향에 상당하는 측에만 설치되고, 상기 초음파 세정노즐로부터의 상기 액체의 토출방향과 거의 동일 또는 그것보다 크게 기울은 방향으로 상기 고압액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  20. 제7항에 있어서, 상기 초음파 세정과 상기 고압세정을 행하는 복합 세정기구와 기판과를 상대적으로 병진시키면서 상기 기파의 세정주사를 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 초음파 세정은, 상기 기판의 피세정면상에 규정된 초음파 세정라인을 향하여, 초음파가 발사된 상기 액체를 초음파 세정노즐에서 토출함으로서 행해지고, 상기 고압세정은, 상기 기판의 피세정면상에 규정된 고압세정 배열을 향해, 상기 고압액체를 고압세정노즐에서 분출함으로서 행하여지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 고압세정스포트의 배열방향을 따라 상기 고압세정노즐을 요동시키면서 상기 고압세정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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