KR970030586A - 웨이퍼 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사목표인 선택된 웨이퍼의 이송시간 감소와, 사용성의 향상 등을 실현하기 위한 다양한 구조체를 가진 웨이퍼 검사장치에 관한 것이다. 특히, 상기 웨이퍼 검사장치는 제1이송시스템 및 제 2 이송시스템을 포함한다. 상기 제1이송 시스템은 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향으로 이동가능하며, 서로에 대하여 독립적으로 작용가능한 다수의 아암부를 구비한다. 상기 제2이송 시스템은 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향으로 이동가능한 다수의 로터리 아암부를 구비한다. 그래서, 웨이퍼 이송시간이 종래의 웨이퍼 검사시스템 장치보다 더 짧은 구조체가 실현된다. 또한 상기 웨이퍼 검사 장치는 특정한 구조의 리프팅 유닛을 구비하므로, 장치의 사용성 등을 향상시킨다.

Description

웨이퍼 검사장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치의 전체구조를 도시하는 사시도.

Claims (33)

1. 웨이퍼를 저장할 수 있는 카세트 부재가 세트되는 셋팅면을 가지고, 상기 카세트 부재를 유지하면서 소정의 위치에서 카세트 부재를 위치시키는 리프팅 유닛과; 상기 카세트 부재에 저장된 웨이퍼의 선택된 하나 이상을 이송하기 위한 웨이퍼 이송 시스템과; 상기 웨이퍼 이송 시스템에 의하여 운반되고 소정의 관찰 기준면위에 세트되는 웨이퍼를 관찰하기 위한 관찰 시스템을 포함하고, 상기 카세트 부재가 리프팅 유닛의 셋팅면위에 세트될 때, 상기 셋팅면은 웨이퍼 검사 시스템의 작동판의 주면을 기준으로 하여 관찰 기준면보다 더 낮은 위치에 위치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 작동판의 주면은 하나 이상의 웨이퍼 이송 시스템과 관찰 시스템이 세트되는 표면인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 작동판은 리프팅 유닛이 세트되는 장착면을 구비하며, 상기 장착면은 주면에 수직인 방향에서 주면보다 더 낮은 위치에 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 리프팅 유닛은 주면에 수직인 방향에서 작동판의 주면보다 더낮은 위치에 위치된 장착면위에 세트되며, 상기 리프팅 유닛은 이것의 셋팅면이 주면에 수직인 방향에서 주면 보다 더 낮은 위치에서 세트되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 리프팅 유닛은 검사목표인 웨이퍼가 카세트 부재로부터 취출되어 통과하고, 상기 관찰시스템에 의하여 검사되는 웨이퍼가 리프팅 유닛위에 세트되는 카세트 부재와 관찰 시스템사이에서 웨이퍼 이송 도중에 카세트 부재에 저장되도록 하는 창을 구비하며, 상기 창은 리프팅 유닛의 측벽에 제공되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 이송 시스템은 상기 주면에 수직인 방향에서 취출된 웨이퍼의 위치를 변경하면서 상기 카세트 부재로 취출된 웨이퍼를 이송함으로써, 상기 작동판의 주면에 수직인 방향에서 리프팅 유닛의 셋팅면과 관찰 기준면 사이의 차이를 교정하기 위한 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 제1이송 시스템은, 리프팅 유닛위에 세트된 카세트 부재와, 상기 카세트 부재와 관찰 시스템사이에 위치된 소정영역사이에서 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제1이송 시스템과; 상기 소정의 영역과 관찰 시스템사이의 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제2이송 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 제1 이송 시스템은, 리프팅 유닛위에 세트된 카세트 부재로부터 검사 목표로 선택된 웨이퍼를 취출하고, 상기 취출된 웨이퍼를 이송하기 위한 제1아암부와; 상기 관찰 시스템에 의하여 검사된 웨이퍼를 이송하고, 상기 카세트 부재에 검사된 웨이퍼를 저장하기 위한 제2 아암부와; 상기 작동판의 주면에 수직인 방향에서 소정의 거리에 의해 상기 제1 및 제2 아암부가 서로 이격될 수 있도록 유지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 지지부는 작동판의 주면에 수직인 방향을 따라 서로 독립적으로 유지하면서 상기 제1 및 제2 아암부를 이동하기 위한 높이 교정기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
10. 제7항에 있어서, 상기 제2 이송 시스템은, 상기 카세트 부재로부터 취출된 웨이퍼를 각각 유지할 수 있는 다수의 회전아암부와; 말단부에서 다수의 회전아암부를 지지하고, 상기 작동판의 주면에 수직인 방향을 따라 연장되는 지지축 및; 상기 지지축을 회전시킴으로써 다수의 회전아암부를 일체적으로 회전시키기 위한 구동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 구동 기구는, 소정의 위치에서 지지축을 회전시키기 위한 제1캠 기구 및; 상기 작동판의 주면에 수직인 방향을 따라 다수의 회전아암부중의 선택된 하나이상을 가압하기 위한 제2캠 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
12. 카세트 부재를 유지할 동안에 소정 위치에서 웨이퍼를 저장할 수 있는 카세트 부재를 위치시키기 위한 리프팅유닛과; 소정의 관찰 기준면위에서 선택된 하나를 셋팅하면서 카세트 부재에서 웨이퍼의 선택된 하나를 관찰하기 위한 관찰 시스템 및; 상기 리프팅 유닛위에 세트되는 카세트 부재와 관찰 시스템사이에서 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 웨이퍼 이송 시스템을 포함하고, 상기 웨이퍼 이송 시스템은, 상기 리프팅 유닛위에 세트되는 카세트 부재와, 상기 카세트 부재와 관찰 시스템사이에 위치된 소정의 영역사이에서 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제1이송 시스템과; 상기 소정의 영역과 관찰시스템사이의 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제2이송시스템을 포함하며, 이송될 웨이퍼가 상기 제1이송시스템으로부터 제2 이송시스템까지 전달되는 제1위치는 이송될 웨이퍼가 상기 제2 이송시스템으로부터 제1 이송시스템까지 전달되는 제2위치하는 다른 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2위치는 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 서로 이동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
14. 제12항에 있어서, 상기 제1이송장치 시스템은, 리프팅 유닛위에 세트된 카세트 부재로 부터 검사목표로 선택된 웨이퍼를 취출하고, 상기 취출된 웨이퍼를 이송하기 위한 제1아암부와; 상기 관찰 시스템에 의하여 검사된 웨이퍼를 이송하고, 상기 카세트부재에 검사된 웨이퍼를 저장하기 위한 제2아암부및; 상기 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향에서 소정의 거리에 의해 상기 제1 및 제2 아암부가 서로 이격될 수 있도록 유지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 지지부는 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 서로 독립적으로 유지하면서 상기 제1 및 제2 아암부를 이동하기 위한 높이 교정기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
16. 제12항에 있어서, 상기 제2 이송 시스템은, 상기 카세트 부재로부터 취출된 웨이퍼를 각각 유지할 수 있는 다수의 회전아암부와; 말단부에서 다수의 회전아암부를 지지하고, 상기 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 연장되는 지지축 및; 상기 지지축을 소정의 타이밍으로 회전시킴으로써 다수의 회전아암부를 일체적으로 회전시키기 위한 구동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
17. 제16항에 있어서, 상기 제2 이송 시스템의 구동기구는, 소정의 타이밍에서 지지축을 회전시키기 위한 제1캠기구 및; 상기 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 다수의 회전아암부중의 선택된 하나이상을 가압하기 위한 제2캠 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
18. 적층된 상태로 카세트 부재에서 저장되는 웨이퍼중 선택된 하나이상의 것을 서로 이격되게 이송하기 위한 웨이퍼 이송 시스템에 있어서, 상기 카세트 부재로 부터 이송되는 웨이퍼를 취출하고 상기 취출된 웨이퍼를 이송하며, 제1방향으로 적어도 이동가능한 제1아암부와; 상기 카세트 부재내에 저장되는 웨이퍼를 이송하여 상기 카세트부재 내에 이송된 웨이퍼를 저장하며, 제1방향에 수직인 제2방향에서 소정의 거리로 이격됨으로써 제1 아암부로부터 이격되며 제1방향으로 적어도 이동가능한 제2 아암부 및; 상기 제2방향을 따라 서로 독립적으로 유지되면서 제1 및 제2 아암부를 적어도 이동하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
19. 제18항에 있어서, 상기 지지부는, 상기 제2 방향을 따라 제1아암부 및 제2 아암부를 서로 독립적으로 이동하기 위한 제1캠기구 및; 상기 캠 기구를 구동하기 위한 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송시스템.
20. 제19항에 있어서, 상기 캠기구는, 제2 방향을 따라 제1 아암부를 적어도 이동하기 위한 제1캠홈 및; 상기 제1방향에 수직이며 제1 아암부를 이동하기 위한 제2 아암 방향에 대향된 제3방향을 따라 상기 제2 아암부를 적어도 이동하기 위한 제2 캠홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
21. 제18항에 있어서, 상기 카세트 부재에 저장된 웨이퍼의 크기에 따라 제2 및 제3 방향으로 상기 제1 및 제2 아암부의 운동을 제어하기 위한 제어기를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
22. 제18항에 있어서, 상기 제1 및 제2 아암부의 각각은, 이송될 웨이퍼를 유지하기 위한 아암헤드와, 상기 지지부에 의하여 지지될 동안에 아암헤드를 유지하는 지지아암 및; 제1방향을 따라 지지부에 대하여 상기 지지아암을 이동하도록 하며 상기 지지아암에 제공되는 구동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
23. 소정 크기의 웨이퍼릍 저장할 수 있는 제1 카세트 부재가 세트될 수 있고 상기 제1 카세트 부재보다 더 큰 제2카세트 부재가 세트될 수 있는 셋팅면을 구비하며, 소정위치에서 제1 및 제2 카세트 부재 중 선택된 하나를 위치시키고 상기 선택된 하나를 유지하는 리프팅 유닛을 포함하는 웨이퍼 저장 유닛에 있어서, 상기 리프팅 유닛은, 제1카세트 부재와 접촉하는 제1 영역이 셋팅면위에 세트되고, 제2 카세트 부재와 접촉하는 제2 영역이 셋팅면 중첩부위에 세트되는 셋팅면위의 중첩영역에 정렬되는 제1 검출기 및; 상기 셋팅면위에서 제2 영역 부분이 되며 제1영역에 중첩되지 않는 비 중첩영역에 정렬되는 제2 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 저장유닛.
24. 제23항에 있어서, 제1 및 제2 카세트 부재 중 어느 하나가 리프팅 유닛의 셋팅면위에 세트될 때 제1 검출기는 제1검출신호를 출력하며, 상기 제3카세트 부재가 리프팅 유닛의 셋팅면위에 세트될 때 제2 검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 저장유닛.
25. 제24항에 있어서, 제어기가 제1 검출기로 부터 제1 검출신호를 수신하고 상기 제2 검출기로부터 제2 검출신호를 수신하지 않을때 상기 제1 카세트 부재가 리프팅 유닛위에 세트되는 것을 결정하는 제어기를 부가로 포함하고, 상기 제2 카세트 부재는 상기 제어기가 제1 및 제2 검출기로부터 제1 및 제2 검출 신호를 수신할때 리프팅 유닛위에 세트되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 저장유닛.
26. 웨이퍼의 선택된 하나를 관찰하기 위하여 소정의 관찰기준면위에서 상기 선택된 하나를 셋팅하는 미소 관찰시스템을 구비하는 웨이퍼 검사장치에 있어서, 카세트 부재를 유지하면서 소정위치에서 웨이퍼를 저장할 수 있는 카세트 부재를 위치시키는 리프팅 유닛과; 상기 리프팅 유닛위에 세트된 카세트 부재와, 상기 카세트 부재와 관찰시스템사이에 위치된 소정영역사이에서 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제1이송시스템과; 상기 소정의 영역과 관찰시스템사이에서 웨이퍼 이송을 수행하기 위한 제2이송시스템을 포함하며; 상기 제1이송시스템은, 리프팅 유닛위에 세트된 카세트 부재로 부터 검사 목표인 선택된 웨이퍼를 취출하여 상기 취출된 웨이퍼를 이송하기 위한 제1아암부와; 상기 미소 관찰 시스템에 의하여 검사된 웨이퍼를 이송하고 카세트 부재에 검사된 웨이퍼를 저장하기 위한 제2 아암부와; 상기 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향에서 상기 제1및 제2 아암부를 소정의 거리로 서로 이격유지하도록 하기 위한 지지부를 포함하며; 상기 제2 이송 시스템은, 카세트 부재로 부터 취출된 웨이퍼를 각각 유지할 수 있는 다수의 회전 아암부와; 말단부에서 다수의 회전 아암부를 지지하고, 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 연장되는 지지축과; 소정의 타이밍으로 상기 지지축을 회전시킴으로써 다수의 회전 아암부를 일체적으로 회전시키기 위한 구동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사창치.
27. 제26항에 있어서, 상기 지지부는 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 서로 독립적으로 유지되면서, 상기 제1 및 제2 아암부를 이동하기 위한 높이 교정기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
28. 제26항에 있어서, 상기 제1 및 제2 아암부 각각은, 카세트 부재로 부터 취출된 웨이퍼를 유지하기 위한 아암헤드와; 상기 지지부에 의하여 지지되면서 아암헤드를 유지하는 지지아암과; 상기 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송기준면에 대하여 평행하게 상기 아암헤드를 이동시키며, 상기 지지아암에 제공되는 구동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장지.
29. 제26항에 있어서, 상기 제2 이송 시스템의 구동기구는, 소정의 타이밍으로 상기 지지축을 회전시키기 위한 제1캠기구와; 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 다수의 회전 아암부중 선택된 하나를 가압하기 위한 제2 캠기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
30. 제29항에 있어서, 상기 각각의 회전아암부는, 카세트 부재로 부터 취출된 웨이퍼를 유지할 수 있는 아암헤드와; 상기 아암헤드를 지지하며, 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 미끄럼가능하게 지지축의 측면위에 장착되는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
31. 제26항에 있어서, 상기 지지부는, 상기 제1 및 제2아암부를 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 서로 독립적으로 이동시키기 위한 제2캠기구와; 상기 제3캠기구를 구동하기 위한 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
32. 제26항에 있어서, 상기 제3캠기구는, 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향을 따라 제1아암부를 이동하기 위한 제1캠홈과;상기 웨이퍼 이송 기준면에 수직인 방향에서 제2 아암부를 이동하고 아암부를 이동하는 방향에 대향되어 있는 제2 캠홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
33. 제26항에 있어서, 상기 미소 관찰 시스템은, 검사될 웨이퍼가 장착되는 관찰 기준면인 주면을 가진 홀더와, 상기 홀더를 소정의 위치로 이동하기 위한 이동가능한 스테이지릍 포함하는 X-Y 스테이지와; 상기 X-Y 스테이지의 홀더의 주면위에 안착되는 웨이퍼를 관찰하기 위한 현미경을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.