KR970030267A - 반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡 - Google Patents
반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 진공라인의 진공압 누출시 진공라인의 일부구간을 밀폐시켜 누출부위를 확인할 수 있도록 된 반도체소자 제조설비의 진공압 누출검사용 앤드캡에 관한 것으로, 상기 진공라인의 일부구간 밀폐시 진공라인의 내부로 관통되는 구멍이 형성되고, 이 구멍에 압력감지센서와 연결하기 위한 베기관이 설치된 구성이다. 또한 진공라인의 밀폐시 진공라인의 내부로 관통하는 또 다른 구멍이 형성되고, 이 구멍에 N2공급라인에 연결하기 위한 주입관이 설치된 구성이다. 따라서, 진공압 누출검사시 진공라인상의 전 부분에 걸쳐 진공압 누출여부가 확인됨으로써 누출부위를 정확하게 찾아 공정을 신속하게 진행시킬 수 있고, 진공라인상의 전 부분에 걸쳐 불순물이 제거됨으로써 파티클에 의한 오염이 방지되는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 진공압 누출 검사용 엔드 캡에 의한 진공라인의 진공압 누출 검사과정을 나타낸 요부 단면도이다.
Claims (2)
- 진공라인의 진공압 누출시 진공라인의 일부구간을 밀폐시켜 누출부위를 확인할 수 있도록 된 반도체소자 제조설비의 진공압 누출검사용 엔드 캡에 있어서, 상기 진공라인의 일부구간 밀폐시 진공라인의 내부로 관통되는 구멍이 형성되고, 이 구멍에 압력감지센서와 연결하기 위한 배기관이 설치됨을 특징으로 하는 반도체소자 제조설비의 진공압 누출검사용 엔드캡.
- 제1항에 있어서, 상기 진공라인의 밀폐시 진동라인의 내부로 관통하는 또 다른 구멍이 형성되고, 이 구멍에 N2공급라인에 연결하기 위한 주입관이 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950044418A KR970030267A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950044418A KR970030267A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030267A true KR970030267A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950044418A KR970030267A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 반도체소자 제조설비의 진공압 누출 검사용 엔드 캡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030267A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101963130B1 (ko) | 2018-07-13 | 2019-03-28 | 서충원 | Lcd 및 반도체 제조설비의 연결배관용 엔드캡 및 그 엔드캡을 이용한 lcd 및 반도체 제조설비 해체방법 |
| KR102160292B1 (ko) | 2019-08-07 | 2020-09-28 | 허진환 | 반도체 제조설비의 연결배관용 엔드캡 장치 |
-
1995
- 1995-11-28 KR KR1019950044418A patent/KR970030267A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101963130B1 (ko) | 2018-07-13 | 2019-03-28 | 서충원 | Lcd 및 반도체 제조설비의 연결배관용 엔드캡 및 그 엔드캡을 이용한 lcd 및 반도체 제조설비 해체방법 |
| KR102160292B1 (ko) | 2019-08-07 | 2020-09-28 | 허진환 | 반도체 제조설비의 연결배관용 엔드캡 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |