KR970028861A - 노광장치 - Google Patents

Abstract

조명조건을 바꾸도록 한 경우에도 각 조명조건하에서 각각 정확히 웨이퍼에 대한 노광량을 계측한다.

조명 광학계의 각 σ치(응집인자)를 작은 값, 표준값, 큰값을 포함한 여러가지의 값으로 실정된 상태에서 각각 기준조도계의 출력 E와 인테글레이터 센서의 출력 I와의 상관 데이타를 취득한다. 각 σ치의 상관 데이타에 대해 가각 최소 2제곱법에 의해 근사직선(24A,24B,24C)등을 구하고, 이들 근사직선의 경사를 상관계수 α로서 기억하며, 각 α치에 대한 조명조건하에서는 각각 인테글레이터 센서의 출력 I를 대응하는 상관 계수 α로 계산함으로써 상면상에서의 에너지를 산출한다.

Description

노광장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 실시예의 투영노광장치를 도시한 구성도.

Claims (10)

1. 펄스 광원과 투영 광학계와의 광 경로간에 배치되어야 될 마스크 패턴을 스테이지상에 배치되어야 될 대상물상의 포토 레지스트상에 노광하는 노광 장치에 있어서, 상기 펄스 광원과 투영 광학계간에 배치되어 가변 개구 직경을 갖는 개구 트로틀과, 상기 개구 트로틀을 구동하는 드라이버와, 상기 개구 트로틀과 상기 투영 광학계간에 배치된 광분리소자와, 상기 드라이버를 제어하여 상기 개구 트로틀의 개구 직경을 변화시키는 노광 콘트롤러를 구비하고, 상기 노광 콘트롤러는 상기 개구 트로틀 직경에 의거하여 상기 광 검출기의 출력을 교정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 개구 트로를과 펄스 광원간의 광 경로간에 배치되어 가변 감광율을 갖는 에너지 감광 유닛에 있어서, 상기 에너지 감광 유닛은 상기 노광 콘트롤러에 의해 그 감광율이 제어되는 것을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 스테이지상에 배치되는 조도계를 또한 구비하고, 상기 노광 콘트롤러는 상기 개구 트로틀 각각의 개구 직경에 대응하는 상기 광 검출기의 출력과 상기 조도계의 출력과 상관 함수를 기억하고 있고, 상기 노광 콘트롤러는 상기 개구 트로틀의 개구 직경에 대응하는 상기 상관 함수를 이용하여 상기 광 검출기의 출력은 상기 조도계의 출력에 교정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
4. 제3항에 있어서, 각각의 상기 상관함수는 I =αE이며, 여기서 I 는 광 검출기의 출력 α는 개구 트로틀의 개구 직경에 대응하는 정수, E는 조도계의 출력인 것을 특징으로 하는 노광장치.
5. 제3항에 있어서, 각각의 상기 상관함수는 I =αE이며, 여기서 I 는 광 검출기의 출력 α(I)는 개구 트로틀의 개구 직경에 대응하고, 출력 I에 의존하는 고차함수, E는 조도계의 출력인 것을 특징으로 하는 노광장치.
6. 여러 조명 조건으로부터 선택된 소정의 조명 조건에서, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 노광용 조명광으로 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 조명광에서 상기 마스크 패턴을 감광성 기판상에 전사 노광하는 노광장치에 있어서, 상기 조명광으로부터 분리된 광속을 수광하는 광전 검출기와, 상기 광전 검출기의 광전 변화 신호에서 상기 조명광의 상기 기판상에서의 노광량을 산출하는 노광량 산출 수단을 구비하고, 상기 노광량 산출 수단은 상기 조명 광학계의 상기 여러 조명 조건 각각에 대해 상기 광전 검출기의 광전 변환 신호로부터 상기 기판상에서의 노광량을 산출하기 위한 교정치를 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
7. 소정의 조명 조건에서, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 노광용 조명광으로 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 조명광하에서 상기 마스크 패턴을 감광성 기판상에 전사 노광하는 노광 장치에 있어서, 상기 조명광으로부터 분리된 광속을 수광하는 광전 검출기와, 상기 광전 검출기의 광전 변환 신호에서 상기 조명광의 상기 기판에서의 노광량을 산출하는 노광량 산출 수단을 구비하고, 상기 소정의 조명 조건하에서 상기 기판의 배치면상에 기준조도계를 설치해, 상기 조명광의 조도를 소정 범위로 변화시키면서 상기 기준조도계의 출력 신호와 상기 광전 검출기의 광전 변환 신호를 비교함으로써 구해, 상기 광전 검출기의 광전 변환 신호로부터 상기 기판상에서의 노광량을 산출하기 위한 교정함수 또는 교정맵을 상기 노광량 산출 수단에 기억시킴과 동시에, 필요하게되는 다른 조명 조건에 관해서도 각각 교정함수 또는 상기 교정맵을 구하여 상기 노광량 산출 수단에 기억시키는 것을 특징으로 하는 노광장치.
8. 다수의 조명 조건으로부터 선택된 소정의 조명 조건으로, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 노광용 조명광으로 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 조명광에서 상기 마스크 패턴을 감광성 기판상에 전사 노광하는 노광장치에 있어서, 상기 조명광으로부터 분리된 광속을 수광하는 제1광전 검출기와, 제1광전 검출기의 광전 변환신호에서 상기 조명광의 상기 기판상에서의 노광량을 산출하는 노광량 산출 수단과, 상기 기판의 배치면에 상실된 제2광전 검출기를 구비하고, 상기 여러가지 조명 조건중 표준이되는 조명 조건으로, 소정의 기준 조도계의 출력 신호와 상기 제1광전 검출기의 광전 변환 신호를 비교함으로써, 상기 제1광전 검출기의 광전 변환 신호에서 상기 기판상에서의 노광량을 산출할 때의 제1교정치를 구해, 상기 표준이 되는 조명 조건 및 그 이외의 조명 조건 모두에 있어서, 상기 제2광전 검출기의 광전 변환 신호와 상기 제1광전 검출기의 광전 변환 신호를 비교함으로써, 상기 제1광전 검출기의 광전 변환 신호에 의해 상기 기판상에서의 노광량을 산출할 때의 제2교정치를 구하고, 상기 제1교정치 및 제2교정치를 상기 노광량 산출 수단에 기억시켜 놓은 것을 특징으로 하는 노광장치.
9. 원하는 노광량으로 포토 레지스트를 노광하는 노광 제어 방법에 있어서, 다수의 개구 직경을 갖을 수 있는 개구 트로틀을 선택하는 공정과, 광원으로부터 펄스광을 출사시켜 상기 개구 트로틀을 통과시키는 공정과, 상기 개구 트로틀을 통과한 광의 일부를 광 검출기로 검출하는 공정과, 상기 선택된 개구 직경에 따라 상기 광 검출기의 출력을 교정하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 광 검출기의 출력 적분치가 상기 원하는 노광량으로 되기까지 상기 광원으로부터 펄스광을 출사시키는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 노광방법.

    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.