KR970072022A - 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소형이고 경량이며 간단하고 저렴하게 구성할 수 있어, 신속하게 투영 광학계의 조도를 측정하고, 조도 제어를 정확하고 확실히 실시할 수 있는 노광 장치를 제공하려는 것이다.
마스크 2상에 형성된 노광 패턴을 복수의 투영 광학계 5~9를 이용하여 감광 기판상에 동시에 노광 주사하는 노광 장치 있어서, 투영 광학계 5~9의 노광 조도를 각 광학계의 출사측에서 거의 동시에 측정할 수 있도록, 복수의 조도 센서 S1~S6을 캘리브레이션 유닛 10상에 배치하여, 캐리지의 이동 주사에 의해 조도 센서 S1~S6에 인접하는 투영 광학계 5~9의 오버랩부의 노광 조도를 측정하고, 인접하는 오버랩부의 노광 조도가 일치하도록 투영 광학계 5~9에 각각 조명광을 입사하는 조명 유닛 3a~3e의 조도를 제어한다. 그 경우, 투영 광학계 5~9의 입사측에 설치한 조도 센서 S11~S15를 이용한 페루프 제어에 의해 조도 제어를 실시한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제8도는 본 발명에 의한 노광 장치의 구성을 도시한 설명도이다.
Claims (6)
- 마스크상에 형성된 노광 패턴을 복수의 광학계를 이용하여 감광 기판상에 동시에 노광 주사하는 노광 장치에 있어서, 상기 복수의 광학계 노광 조도를 광학계의 출사측에서, 거의 동시에 측정하기 위해, 복수의 조도 측정 수단을 노광 주사 기구의 소정 위치에 배치하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 조도 측정 수단의 하나는, 상기 복수의 광학계 중, 적어도 인접하는 두개의 광학계의 노광 조도를 계측하도록 배치됨과 동시에, 상기 조도 측정 수단의 출력에 근거하여 상기 복수의 광학계의 조도를 제어하는 제어 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제어 수단은, 서로 인접하는 광학계의 조도차가 감소하도록 상기 복수의 광학계의 조도를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제어 수단은, 서로 인접하는 광학계의 조도차가 감소하도록 상기 복수의 광학계의 조도를 제어함과 동시에, 또한 목표 조도에 대한 전체 조도의 평균치가 일치하도록 상기 복수의 광학계 조도를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제어 수단은, 조도차를 감소시키면서, 목표 조도에 대한 전체 조도의 최대치 및 최소치의 차가 최소화되도록 상기 복수의 광학계 조도를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 복수 광학계의 조명광의 입사측에서 개개의 광학계에 입사되는 조명광의 조도를 측정하는 조명광 조도 측정 수단이 설치되며, 상기 제어수단은, 상기 조도 측정 수단의 출력에 근거하여 각 광학계에 있어서 목적으로 하는 조도를 얻기 위해 제어량을 구하고, 이 제어량 및 상기 조명광조도 측정 수단의 출력에 근거하여 상기 복수 광학계의 조명 수단을 각각 구동 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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