KR970016824A - 투영노광장치 및 방법 - Google Patents

투영노광장치 및 방법 Download PDF

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신지 와카모토
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오노 시게오
니콘 가부시키가이샤
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    • G03F7/70216—Mask projection systems
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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

광원계와 레티클 사이에 형성한 레티클 블라인드에 의해, 투영광학계의 유효 노광필드내에 두개의 조명필드 중 어느 하나를 주사방향으로 소정간격으로 선택적으로 형성한다. 두개의 조명 필드의 거의 중?의 사전 판독영역에 초점위치 검출계의 AF 빔이 슬릿광으로서 조사되도록 설정하고, 두개의 얼라인먼트 센서의 얼라인먼트 조명광이 사전 판독영역 양단의 얼라인먼트영역에 조사되도록 설정한다. 숏영역을 -X방향으로 주사할 때에는 -X 방향측의 조명 필드를 사용하고, 숏영역을 +X방향으로 주사할 때에는 +X 방향측에 조명 필드를 사용한다.

Description

투영노광장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 투영노광장치의 일실시예를 나타내는 개략 구성도.

Claims (8)

  1. 마스크의 패턴을 기판 위에 전사하는 노광장치에 있어서, 광원과; 그 광원으로부터의 광으로 조명된 상기 마스크의 패턴상을 상기 기판 위에 투영하는 투영광학계와; 상기 마스크와 기판을 상기 투영광학계에 대해 동기 주사하는 주사 시스템과, 상기 마스크의 패턴면과 거의 공액인 위치에 배치되고, 상기 투영광학계의 이미지 필드내에서 소정의 조명 필드를 상기 기판의 주사방향에 따른 다른 위치로 절환하기 위한 절환 디바이스 및; 상기 기판의 주사방향에 따라, 상기 투영광학계의 이미지 필드 내에서의 조명 필드의 위치가 절환되도록 상기 절환 디바이스를 제어하는 제어 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투영광학계의 이미지 필드내에서 기판의 주사방향에 따라 절환되는 제1조명필드와 제2조명필드 사이에 검출 포인트를 가지고, 상기 기판표면의 상기 투영광학계의 광축방향의 위치를 검출하는 검출시스템을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1조명필드와 제2조명필드는 서로 중복하는 일 없이, 상기 기판의 주사방향으로 소정 거리를 두고 설정되는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1조명필드와 제2조명필드는 상기 기판의 주사방향으로 서로 그 일부를 중복하도록 설정되고, 상기 검출 시스템은 그 중복영역(area)에 상기 검출 포인트를 가지는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판상에 형성된 얼라인먼트 마크의 위치를 검출하는 얼라인먼트 센서를 부가로 포함하고, 상기 얼라인먼트 센서의 검출결과에 의해 상기 마스크와 상기 기판과의 얼라인먼트를 행하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 설정디바이스는 상기 마스크와 거의 공액인 위치에 배치된 가변시야 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  7. 마스크의 패턴을 투영광학계를 통해 기판 위에 전사하는 노광방법에 있어서, 상기 마스크의 패턴면과 거의 공액인 위치에, 상기 투영광학계의 이미지 필드내에서 소정의 조명 필드를 상기 기판의 주사방향에 따른 다른 위치로 절환하기 위한 가변시야 조리개를 설치하는 단계와, 상기 마스크와 기판을 동기주사하여 상기 마스크의 패턴을 기판상에 전사할 때의, 상기 기판의 주사방향을 지령하는 단계 및; 상기 지령받은 기판의 주사방향에 따라, 상기 투영광학계의 이미지 필드 내에서의 조명 필드의 위치를 절환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광방법.
  8. 마스크의 패턴을 기판상에 전사하는 노광장치에 있어서, 광원과; 그 광원으로부터의 광으로 조명된 상기 마스크의 패턴상을 상기 기판 위에 투영하는 투영광학계와; 상기 마스크와 기판을 상기 투영광학계에 대해 동기주사하는 주사 시스템과, 상기 투영광학계의 이미지 필드내에 검출 에어리어를 가지고, 상기 기판표면의 투영광학계의 광축방향의 위치를 검출하는 검출시스템과; 상기 마스크의 패턴면과 거의 공액인 위치에 배치되고, 상기 투영광학계의 이미지 필드내에서 소정의 조명 필드를, 상기 기판의 주사방향에 따른 다른 위치로 절환하기 위한 절환디바이스 및; 상기 기판의 주사방향에 관해 상기 검출 에어리어의 앞쪽에 상기 조명 필드가 설정되도록 상기 절환디바이스를 제어하는 제어시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960039215A 1995-09-21 1996-09-11 투영노광장치 및 방법 KR970016824A (ko)

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