KR970027019A - 전자장치 보호용 피복물 - Google Patents

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KR970027019A
KR970027019A KR1019960057684A KR19960057684A KR970027019A KR 970027019 A KR970027019 A KR 970027019A KR 1019960057684 A KR1019960057684 A KR 1019960057684A KR 19960057684 A KR19960057684 A KR 19960057684A KR 970027019 A KR970027019 A KR 970027019A
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고히치 하야시
아키라 안도
아키라 나가이
히로시 다카기
기요시 하세
게이지 스즈키
다카요시 모리시타
데츠지 요고
로버트 찰스 캐밀레티
로렌 앤드류 할루스카
케이쓰 윈톤 마이클
Original Assignee
무라따 미치히로
가부시끼가이샤 무라따 세이사꾸쇼
오카무라 가네오
니혼도꾸슈도교 가부시끼가이샤
루이스 노만 에드워드
다우 코닝 코포레이션
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    • Y10T428/31652—Of asbestos
    • Y10T428/31667—Next to addition polymer from unsaturated monomers, or aldehyde or ketone condensation product

Abstract

본 발명은 검사를 방지하기 위해 전자장치상에 캡을 형성시키는 방법에 관한 것이다. 우선, 실리카-함유 세라믹을 전자장치의 표면에 피복하여 그 표면을 평면화한다. 이어서, 실리콘 카바이드 피복물을 실리카 함유 세라믹 표면에 피복하여 밀폐 차단층을 제조한다. 이어서 다공성 실리카-함유 세라믹 층을 실리콘 카바이드 피복물 표면 상에 형성시킨다. 최종적으로, 다공성 실리카-함유 세라믹을 불투명 물질로 함침시킨다.

Description

전자장치 보호용 피복물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (1)

  1. (A) 수소 실세스퀴옥산 수지를 포함하는 조성물을 전자장치의 표면에 피복하고 ; (B) 수소 실세스퀴옥산 수지가 실리카-함유 세라믹으로 전환되기에 충분한 온도까지 상기 조성물을 가열한 후 ; (C) 화학적 증착 공정에 의해 실리콘 카바이드 피복물을 실리카-함유 세라믹의 표면에 피복하고 ; (D) 수소 실세스퀴옥산 수지를 포함하는 조성물을 실리콘 카바이드 피복물을 표면에 피복하고 ; (E) 수소 실세스퀴옥산 수지가 다공성 실리카-함유 세라믹으로 전환되기에 충분한 온도까지 상기 조성물을 가열한 후 ; (F) 다고성 실리카-함유 세라믹을 불투명 물질을 포함하는 물질로 함침시키는 것을 포함함을 특징으로 하는 전자장치상에 보호용 피막을 형성시키기 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960057684A 1995-11-07 1996-11-26 전자장치 보호용 피복물 KR970027019A (ko)

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US08/563,255 1995-11-27
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JP7-314839 1995-11-28
JP7-333932 1995-11-28

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