KR970023622A - 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

반도체소자 제조공정을 위한 프로그램의 설정된 상태를 체크하여 공정오류를 방지할 수 있는 제어 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
본 발명의 제어시스템은, 공정 프로그램 정보와 웨이퍼 정보가 입력되면 이들 정보들을 전송하는 메인호스트컴퓨터, 상기메인호스트컴퓨터에서 전송된 공정 프로그램 정보와 웨이퍼 정보를 판독하여 상기 프로그램 정보 및 동작개시 명령을 전송하고, 상기 전송된 공정 프로그램 정보의 백업이 수신되면 백업된 프로그램 정보가 전송된 것과 동일한지 판단하여 오류 발생시 동작 대기 명령을 전송하는 호스트컴퓨터 및 상기 호스트컴퓨터로부터 상기 동작개시 명령과 공정 프로그램 정보가 수신되면 상기 공정 프로그램 정보를 상기 호스트컴퓨터로 백업시키고, 상기 호스트컴퓨터로부터 동작 대기 명령이 수신되면 동작을 중지하는 공정수행장치를 포함하여 구성된다.
본 발명에 의하면, 공정오류로 인한 불량률이 개선될 수 있고, 시스템 관리에 있어서 자동화가 이루어질 수 있으므로, 작업성이 극대화되는 효과가 있다.

Description

반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 확산로에서 서로 다른 프로그램에 의하여 설정된 공정이 교번 수행됨을 나타내는 공정도이다,
제2도는 본 발명에 따른 반도체소자 제조 공정의 시스템의 실시예를 나타내는 블럭도이다,
제3도는 제2도의 메인호스트컴퓨터에서 수행되는 동작을 나타내는 흐름도이다.

Claims (9)

  1. 공정 프로그램 정보와 제조할 웨이퍼 정보가 입력되면 상기 정보들을 전송하는 메인호스트컴퓨터; 상기 메인호스트컴퓨터와 데이타버스로 접속되어 있으며, 상기 메인호스트컴퓨터에서 전송된 공정 프로그램 정보와 웨이퍼 정보를 판독하여 상기 공정 프로그램 정보 및 동작개시 명령을 전송하고, 상기 전송된 공정 프로그램 정보의 백업이 수신되면백업된 공정 프로그램 정보가 전송된 것과 동일한지 판단하여 오류 발생시 동작 대기 명령을 전송하는 호스트컴퓨터; 및상기 호스트컴퓨터와 데이타버스로 접속되어 있으며, 상기 호스트컴퓨터로부터 상기 동작개시 명령과 공정 프로그램 정보가 수신되면 상기 공정 프로그램 정보를 상기 호스트컴퓨터로 백업시키고, 상기 호스트컴퓨터로부터 동작 대기 명령이 수신되면 동작을 중지하는 공정수행장치; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공정수행장치는 확산로임을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공정수행장치는 화학기상증착 장치임을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정의제조 시스템.
  4. 메인호스트컴퓨터, 호스트컴퓨터 및 공정수행장치로 구성된 반도체소자 제조 시스템의 공정 제어 방법에 있어서, 상기 메인호스트컴퓨터에 사용자가 공정 프로그램 정보 및 제조할 웨이퍼 정보를 입력하면, 상기 정보들이 상기호스트컴퓨터로 입력되고, 그에 따라서 동작개시 명령과 상기 공정 프로그램 정보가 상기 호스트컴퓨터로부터 상기 공정수행장치로 전송되는 과정; 상기 공정 프로그램 정보가 상기 공정수행장치로부터 상기 호스트컴퓨터로 백업되는 과정; 상기 백업된 공정 프로그램이 상기 전송된 공정 프로그램과 동일한 것인지 상기 호스트컴퓨터에서 판단되는 과정; 상기 백업된 공정 프로그램이 상기 전송된 공정 프로그램과 다르면 상기 호스트컴퓨터로부터 대기명령이 전송되어 상기 공정수행장치의 동작이 중지되며, 상기 백업된 공정 프로그램이 상기 전송된 공정 프로그램과 같으면 상기 공정수행장치의 동작이 진행되는 과정을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 동작 대기 명령이 상기 호스트컴퓨터로부터 상기 공정수행장치로 출력될 때 에러 메세지가 상기 호스트컴퓨터로부터 상기 메인호스트컴퓨터로 출력됨을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 에러 메세지가 상기 메인호스트컴퓨터에 의하여 음향으로 출력됨을 특징으로 하는상기 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 에러 메세지가 상기 메인호스트컴퓨터에 의하여 시각적으로 디스플레이됨을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 동작개시 명령 및 상기 공정 프로그램 정보가 상기 호스트컴퓨터로 전송되고 소정 대기 시간을 가진 후 상기 공정수행장치의 공정이 진행됨을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 호스트컴퓨터는 상기 소정 대기 시간 내에 상기 백업된 정보를 판단하여 상기 대기 명령을 전송함을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조 공정 제어 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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