TW306014B - - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 ^〇β〇!4_Β7_ 五、發明説明（f ) 【發明背景】 本發明係闞於一種半導鼉元件製造遇程用之控制系統 及其控制方法，更明確的說，係醑於一種半導#髖元件製造 過程用之控制系统及其控制方法，其中，在進行相關遇程 所需的器具中，設有一半導髓製造通程程式，Μ檢査各種 狀況。藉此，以遒免在瑄些遇程中所產生的錯誤。 一般來說，Μ於一成品而言，一半導强元件會經過複 數涸不同的通程、例如光罩（MASK)製造、晶圓（WAFER )製造、姐装及檢驗。在埴些通程中，需要很多不同的設 備，像是數位轉換器（DIGITIZER)、顯影器（DEVELOP-E R )、擴散爐（D IF F U S 10 H F U R H A C E )、塗鍍器（C 0 A T E R ) 、化學蒸氣鍍膜器（CHEMICAL VAPOR DEPOSITOR, CVD)、自動固定器及測試器。 這些設備係被設計成在一主控罨腦控制之下而操作。 此主控電腦（HOST COMPUTER)係與一總主控電腦（ MAIN HOST COMPUTER)相連，且可Μ接收來自這些相關設 備所執行的資訊，Μ及由總主控電腦發出之程式資訊。如 上所述之設備中，例如此擴散爐或化學蒸氣鍍膜器（CV D),它不僅只執行單一的遇程，而是要執行一組由單一 過程修改後的複數涸不相同之遇程。 以下，將會解釋由不同程式所設定之複數個遇程係在 一擴散《 (圃中未示）中執行的情形。 此擴散爐係用執行一擴敗通程、或氧化遇程，其中， -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) 士衣- 訂 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明（>) 1 I 在 一 晶 圓 上 則 是 形 成 — 二 氧 化 矽 ( S 1 0. Z ) 層 0 特 別 是 1 1 I > 在 氧 化 m 程 中 » 此 氧 化 曆 可 Η 依 個 別 案 例 之 不 同 * 而 形 1 1 1 成 不 同 的 厚 度 0 如 此 9 用 來 控 制 此 形 成 相 對 應 厚 度 氧 化 層 N 1 I * 請 1 I 之 過 程 即 在 此 擴 散 爐 中 完 成 〇 先 閲 1 I 0 1 1 在 此 第 1 圔 • 將 氧 化 曆 形 成 至 3 0 0 0 埃 ( 即 A 9 背 1 1 ANGSTROM > 1 m 米 ) 的 程 式 是 被 指 定 為 縮 寫 Ρ P I D 之 注 意 1 1 I 1 % 且 形 成 8 0 0 埃 之 程 式 是 被 指 定 為 P P I D 2 0 而 事 項 1 I 再 I 此 P P I D ( PROCESS PROGRAM IDENTIFICATION) 係 為 厂 填 寫 本 1 一 I 遇 程 程 式 識 別 代 號 J 的 意 思 〇 為 了 要 執 行 根 據 刖 述 程 式 之 頁 1 | 氧 化 過 程 * 必 須 要 在 此 擴 散 爐 中 設 定 許 多 過 程 之 狀 態 條 件 1 I 0 闢 於 此 擴 散 過 程 之 溫 度 及 氧 化 量 t 此 P P I D 1 係 被 設 1 1 I 計 為 维 挎 在 1 0 0 0 之 溫 度 及 提 供 8 公 升 之 氧 氣 的 過 程 1 訂 〇 在 此 例 子 中 > P P I D 2 係 被 設 計 為 維 持 在 9 0 0 之 1 1 溫 度 及 提 供 1 0 公 升 之 氧 氣 0 1 I 用 來 執 行 這 些 遇 程 之 複 數 個 程 式 指 令 9 係 經 由 — 使 用 1 1 1 者 输 入 到 此 m 主 控 電 腦 ( 圈 中 未 示 ) 9 並 且 t 轉 送 到 該 主 1 控 電 臞 中 ( 圖 中 未 示 ) « 妷 JWS 後 > 再 轉 至 此 擴 散 爐 0 若 此 P 1 1 P I D 之 資 訊 輸 入 後 9 此 擴 散 爐 會 確 認 它 > 並 根 據 其 對 應 1 之 程 式 内 容 而 執 行 此 遇 程 0 在 必 要 的 時 候 9 在 一 單 獨 之 1 I 擴 散 爐 中 $ 這 些 根 據 相 對 應 之 Ρ P I D 程 式 而 處 理 之 複 數 I 1 個 遇 程 9 可 Μ 交 錯 變 換 的 執 行 〇 1 1 在 執 行 此 交 錯 變 換 的 通 程 中 9 當 從 該 主 控 霉 腦 傳 來 之 1 | 闢 於 P P I D 1 之 資 訊 收 到 後 9 此 擴 散 爐 先 設 定 它 的 遇 程 1 I 4 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 306014 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（>) 1 I 狀 態 為 1 0 0 0 之 溫 度 及 8 公 升 之 氧 氣 9 之 後 » 再 根 據 1 1 P P I D 1 來 執 行 相 對 應 之 遇 程 〇 在 P P I D 1 之 後 9 當 t 1 I 收 到 從 該 主 控 霄 臞 傳 來 之 有 醐 於 P P I D 2 之 資 • 訊 時 » 此 V 請 1 1 I 擴 散 爐 之 狀 態 即 固 定 在 9 0 0 t： 之 溫 度 及 1 0 公 升 之 氧 氣 先 閲 1 I 1 1 » 在 埴 種 情 形 下 » 係 會 執 行 P P I D 2 之 遇 程 〇 背 1 I 之 1 然 而 9 為 了 要 變 換 在 —* 設 備 中 之 —► 遇 程 中 t 當 由 此 主 注 意 1 I 控 霣 臞 傅 埋 相 闥 資 訊 到 此 通 程 執 行 設 備 時 例 如 到 此 擴 散 事 項 1 | 器 傳 真 4 L 時 t 此 邋 來 之 資 訊 經 常 無 法 正 確 的 接 收 » 或 者 在 如 此 % 本 1 擴 散 器 之 遇 程 執 行 設 備 中 產 生 錯 誤 〇 结 果 9 此 P P I D 可 1 1 能 無 法 變 換 9 致 於 仍 然 繼 鑛 執 行 原 先 之 P P I D 過 程 〇 1 I 另 外 9 由 於 設 在 該 遇 程 執 行 設 備 中 之 軟 體 的 問 題 9 此 I 1 I 傳 遞 來 之 P P I D 可 能 無 法 被 正 確 的 辨 認 出 來 * 故 > 此 先 1 訂 前 執 行 之 P P I D 過 程 仍 遒 讓 執 行 〇 另 外 9 由 於 通 訊 上 之 1 1 問 題 9 此 被 傳 缠 之 資 訊 可 能 有 改 變 但 是 仍 被 傳 送 至 該 過 1 1 程 執 行 設 備 中 0 1 I 除 上 述 這 些 例 子 外 t 要 被 傳 送 出 且 被 執 行 之 程 式 資 訊 1 r 9 可 能 無 法 正 確 的 被 該 通 程 執 行 設 備 所 接 收 〇 所 Μ > 所 執 1 行 的 遇 程 並 不 是 原 先 想 要 的 遇 程 » 而 是 去 執 行 一 錯 誤 的 過 1 1 程 9 如 此 9 將 損 害 產 品 之 品 質 0 1 I 為 了 要 解 決 上 述 之 問 題 t 且 為 了 要 避 免 遇 程 之 錯 誤 9 1 1 — 掌 管 此 等 相 對 應 設 備 之 搡 作 者 經 常 要 確 認 在 該 過 程 執 行 1 1 設 備 中 之 資 訊 及 程 式 〇 妖 而 f 對 於 要 能 精 確 的 檢 査 此 過 程 1 1 錯 誤 的 巨 的 而 言 ♦ 這 仍 妖 是 不 足 夠 的 〇 1 I 5 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印褽 五、 發明説明（f) 1 | [ 發 明 摘 要 ] 1 I 本 發 明 之 -- 巨 的 係、 提 供 — 種 » 於 半 導 髖 元 件 製 造 過 程 1 I 用 之 控 制 系 统 9 其 中 9 若 是 接 收 到 或 確 認 出 此 •傳 埵 到 — 設 請 1 1 備 之 遇 程 資 訊 是 不 正 確 的 9 則 確 認 此 情 況 > 並 且 中 斷 此.處 先 閲 1 | 讀 1 I 理 遇 程 〇 背 & 1 1 之 1 本 發 明 之 又 一 百 的 係 提 供 一 種 半 導 β 元 件 製 造 遇 程 用 注 1 事 1 之 控 制 方 法 9 而 它 會 確 認 由 一 設 備 所 設 定 之 程 式 資 訊 之 項 I 後 再 填 U t 若 發 現 此 並 非 被 當 初 所 下 指 令 之 過 程 時 9 就 會 中 斷 此 寫 本 I 處 理 遇 程 〇 頁 I 1 本 發 明 之 再 — 百 的 係 提 供 —. 種 半 等 體 元 件 製 造 過 程 用 1 I 之 控 制 方 法 9 其 中 t 若 是 產 生 了 — 程 式 錯 誤 9 則 顯 示 出 1 I 訊 息 t 藉 此 « 能 讓 操 作 者 注 意 到 這 個 錯 誤 0 1 訂 為 達 成 本 發 明 之 巨 的 9 本 發 明 偽 提 供 了 一 種 半 導 體 元 1 1 製 造 遇 程 用 之 控 制 系 统 » 其 包 括 一 m 主 控 電 腦 » 當 寅 1 I 訊 輸 入 後 » 用 Μ 傳 邋 — 遇 程 程 式 之 資 訊 9 Μ 及 要 被 製 造 成 1 I 晶 圓 之 資 訊 —* 透 過 複 數 涸 資 料 匯 流 排 ( DATA BUSES) 1 矣一 1 而 與 該 總 主 控 電 腦 相 連 接 之 主 控 電 腦 t 若 該 轉 送 的 遇 程 程 1 式 資 訊 係 已 貯 備 且 已 經 收 到 時 梦 則 讀 取 由 該 缌 主 控 電 腦 傳 1 遞 來 之 程 式 資 訊 及 晶 圓 資 訊 便 能 轉 送 該 過 程 程 式 及 —- 1 I 啟 動 指 令 9 並 且 » 判 斷 該 已 貯 備 之 資 訊 是 否 與 該 傳 遞 來 之 1 1 過 程 程 式 完 全 相 同 或 是 不 同 9 >λ 便 —. 旦 有 錯 誤 發 生 時 9 可 1 1 K 轉 送 一 等 待 指 令 及 一 透 過 複 數 個 資 料 匯 流 排 而 與 該 1 1 主 控 電 腦 相 連 接 之 過 程 執 行 設 備 f 貯 備 該 過 程 程 式 賁 訊 1 — 6 — 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3060^4 五、發明説明（5) 至該主控霣睡中，若由該主控電腰傳來之該操作啟動指令 與遇程程式資訊收到時，則將該過程程式資訊傳回給該主 控霣臞，而且，若接收到一由該主控轚腦傳來_之等待搡作 命令時，則停止搡作。 為達成本發明之目的，本發明係提供了一種由一缌主 控電臞、一主控霣臞及一遇程執行設備所構成之一種半専 體元件製造過程用之控制系统之控制方法，該方法包括下 列步驟：當一使用者輪入資訊於該總主控電腦中時，接收 遇程程式Μ及要被製造成晶圓之資訊，且由該主控電腦把 一啟動操作之指令及該過程程式傳逮給該遇程執行設備； 將該遇程程式資訊由該遇程執行設備貯備到該主控電腦； 在該主控電腦中，判斷是否該已貯備之過程程式與該傳遞 來之過程程式完全相同或者不同於在該主控電腦中之程式 ;及若該已貯備之過程程式不同於傳遞來之過程程式，則 由該主控鼋臞傳出一等待（STAND-BY)之指令，而且，若 該已貯備之遇程程式相同於傅遞來之過程程式，則允許此 過程執行設備繼鑛操作。 【圃式之簡單說明】 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圈係顯示出由複數個不同程式而設定之過程在一 擴散爐中之交鍇變換之執行狀態； 第2_係根據本發明之半導級元件製造過程用之控制 方法之滾程_ ; 第3匾係第2圔中，在該雄主控霄臞中，一操作執行 -7 - 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 五、 發明说明 (<7 ) 1 1 時 之 滾 程 圔 9 1 I 第 4 圃 係 第 2 Η 中 > 在 該 主 控 罨 m 中 9 一 搡 作 執 行 時 1 1 | 之 流 程 ΕΒ 及 y«-V 1 I • η 1 I 第 5 圏 係 第 2 中 > 在 該 擴 散 爐 中 $ --- 操 作 執 行 時· 之 先 閱 1 I 讀 1 1 流 程 圃 0 背 1 | 之 1 [ 本 發 明 之 較 佳 實 施 例 】 注 意 1 I 根 據 本 發 明 之 半 導 體 元 件 製 造 遇 程 用 之 控 制 系 统 及 其 項 再 1 1 I 控 制 方 法 » 將 配 合 圃 式 詳 细 說 明 於 後 〇 填 窝 本 裝 I 如 第 2 圈 所 示 » 根 據 本 發 明 之 一 實 施 例 9 在 — 半 導 體 頁 1 1 元 件 製 造 遇 程 用 之 控 制 系 统 中 i 一 透 遇 複 數 個 資 料 匯 流 排 1 I 而 與 主 控 電 腦 2 0 Λ 2 1 相 連 接 之 想 主 1 1 I 控 電 腦 1 > 每 涸 主 控 Ζ 腥 2 0 或 2 1 係 連 接 複 數 個 設 備 9 1 訂 亦 即 9 如 擴 散 逋 3 0 或 一 化 學 蒸 氣 鍍 膜 器 ( C V D ) 3 2 1 1 之 過 程 執 行 設 備 0 1 | 該 迪 主 控 電 腦 1 0 可 傳 _ —* 程 式 及 相 對 應 之 資 訊 給 該 1 I 主 控 電 腦 2 0 * 以 進 行 製 造 半 導 體 元 件 用 之 個 別 過 程 控 制 %， 1 操 作 0 基 於 與 該 總 主 控 電 腦 1 0 交 換 之 資 訊 9 該 主 控 電 腦 1 2 〇 控 制 了 該 個 別 過 程 執 行 設 備 中 所 進 行 之 一 預 定 過 程 0 1 然 後 9 根 據 由 此 主 控 電 腦 2 0 傳 遞 出 之 已 建 立 好 之 程 式 9 1 I 此 擴 散 爐 3 0 或 化 蒸 氣 鍍 膜 器 3 2 之 過 程 執 行 設 備 則 會 1 1 1 依 據 該 程 式 而 執 行 9 然 後 1 進 行 預 定 之 遇 程 〇 1 1 在 本 發 明 之 這 個 實 施 例 中 » 擴 散 爐 3 0 在 該 缌 主 控 電 1 1 腦 1 0 及 該 主 控 電 腦 2 0 的 控 制 之 下 9 則 進 行 該 過 程 〇 妖 1 I 8 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 306014 A7 B7 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 五、 發明説明 ’ Λ " 1 | 而 本 發 明 之 精 神 與 範 圃 並 不 只 限 於 該 實 施 例 0 1 I 在 該 擴 敗 爐 3 0 中 » 不 同 之 擴 散 遇 程 可 Μ 執 行 而 產 生 1 1 I 不 同 程 度 之 擴 散 作 用 〇 為 了 要 執 行 這 些 遇 程 f 在 該 擴 散 爐 1 I 請 1 I 3 0 中 事 先 設 有 許 多 個 程 式 〇 換 言 之 f 如 第 1 画 所 示 * , 依 先 閲 1 I 讀 1 1 據 此 擴 散 通 程 9 形 成 厚 度 不 同 之 氧 化 屋 的 過 程 之 程 式 則 可 背 面 1 I 之 1 被 定 為 如 上 所 述 之 P P I D 1 及 P Ρ I D 2 0 注 意 1 I 在 此 I Ρ P I D 1 係 為 — 透 遇 氧 化 作 用 而 形 成 一 厚 度 事 項 再 1 1 為 3 0 0 0 埃 之 程 式 9 在 此 過 程 之 狀 態 為 溫 度 是 1 0 〇 填 寫 本 L I 0 t： 且 氧 氣 量 為 8 公 升 0 而 P P I D 2 係 為 一 透 過 氧 化 作 頁 ___- 1 I 用 而 形 成 —— 厚 度 為 8 0 0 埃 之 程 式 9 在 此 過 程 之 狀 態 為 ： 1 I 溫 度 是 9 0 0 且 氧 氣 量 為 1 0 公 升 〇 1 1 1 根 據 本 發 明 前 述 之 霣 施 例 之 半 等 體 元 件 製 造 過 程 用 之 1 訂 控 制 系 統 中 * 該 缌 主 控 臞 1 0 執 行 有 鼷 晶 圓 之 過 程 指 令 1 1 及 資 訊 轉 送 給 該 主 控 電 腦 2 0 9 Μ 使 得 藉 由 該 操 作 員 之 控 1 1 制 > 譆 它 在 該 擴 散 逋 3 0 中 執 行 先 刖 已 設 定 好 的 程 式 9 例 1 1 | 如 P P I D 1 或 P P I D 2 0 在 此 « 此 過 程 之 指 令 包 括 了 1 r 一 甩 於 該 設 備 之 代 碼 值 ( CODE V ALUE) 9 Μ 便 執 行 該 過 程 1 » 並 使 定 名 為 P P I D 1 及 P P I D 2 之 程 式 分 別 在 相 對 1 應 之 設 備 中 執 行 〇 1 I 闞 於 要 被 傳 遞 之 過 程 指 令 及 資 訊 方 面 f 此 主 控 電 腦 2 1 1 0 將 一 P P I D 值 及 操 作 之 啟 動 指 令 傳 遞 到 相 對 應 之 設 備 1 1 1 亦 即 9 擴 敗 爐 3 0 〇 然 後 9 在 收 到 啟 動 指 令 後 » 擴 散 爐 1 I 3 0 被 啟 動 f 並 執 行 具 有 相 對 應 之 Ρ P I D 值 的 程 式 0 然 1 I — 9 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ) 1 I 後 貯 備 此 收 到 之 P Ρ I D 值 給 該 主 控 爾 臞 2 0 0 1 1 I 此 主 控 贫 臞 2 0 畲 比 對 由 該 擴 散 爐 3 0 已 貯 備 之 P P 1 1 1 I D 值 以 及 傳 遞 來 之 P P I D 值 » 判 «Γ 此 兩 個 P P I D /•—V 1 I • 請 1 | 值 是 否 完 全 相 同 〇 若 此 二 P P I D 值 完 全 相 同 9 該 擴 散- 爐 先 聞 I | 讀 1 1 3 0 則 會 被 設 定 來 執 行 一 想 要 執 行 的 遇 程 0 在 此 情 形 下 » 背 1 I 舍 之 1 不 傅 m 另 -* 指 令 〇 若 此 二 P P I D 值 不 相 同 » 則 該 擴 散 注 意 1 I 爐 3 0 則 不 畲 去 執 行 該 想 要 執 行 的 過 程 0 在 此 情 形 下 9 該 事 項 再 1 1 主 控 霄 臞 2 0 會 傳 逮 一 等 待 指 令 給 該 擴 散 爐 3 0 0 填 寫 本 1 | 當 由 該 主 控 電 臞 2 0 傳 缠 來 之 等 待 指 令 收 到 後 9 此 擴 頁 1 | 散 逋 3 0 會 將 現 有 的 設 定 改 變 成 為 一 等 待 狀 態 ， 並 且 停 止 1 I 該 過 程 〇 此 等 待 狀 態 係 指 所 有 的 操 作 都 停 止 t 一 直 等 待 9 1 1 1 直 到 該 搡 作 員 重 新 設 定 0 1 訂 故 f 若 是 因 為 系 统 錯 誤 ' 傳 輪 錯 誤 或 軟 體 上 的 問 題 而 1 1 使 得 在 該 擴 散 爐 3 0 中 要 執 行 的 程 式 設 定 不 當 的 時 候 t 則 1 I 可 >λ 中 斷 操 作 9 Μ 遴 免 錯 誤 的 操 作 及 原 料 的 浪 費 〇 1 1 | 請 參 閱 第 3 4 及 5 匾 Μ 下 將 解 釋 本 發 明 之 半 導 體 1 元 件 製 造 過 程 之 控 制 操 作 0 1 J 第 3 匪 係 為 在 _- 想 主 控 電 睡 1 0 中 9 一 操 作 執 行 時 之 1 [ 流 程 圃 t 用 以 確 認 遇 程 指 令 或 Ρ Ρ I D 錯 誤 狀 態 〇 第 4 圖 1 1 係 為 在 該 主 控 罨 腥 2 0 中 9 一 操 作 執 行 時 之 流 程 圈 9 用 以 1 1 傳 遞 資 訊 、 並 確 認 主 控 電 腦 1 0 及 該 擴 散 爐 3 0 之 P P 1 1 I D 值 0 第 5 圜 係 為 在 該 擴 散 逋 3 0 中 > 根 據 由 該 m 主 控 1 I 電 腦 2 0 傳 來 之 Ρ P I D 值 而 執 行 一 操 作 時 之 潦 程 團 9 並 1 | 1 0 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Μ現格（210X297公嫠〉 A7 B7 經濟部中央梂準局員工消費合作杜印製 五、 發明説明（& η 1 1 且 將 該 所 收 到 的 Ρ P I D 值 貯 镯 至 該 主 控 電 臞 2 0 0 1 I 鼷 於 第 3 園 ί 該 操 作 貝 操 作 此 主 控 霣 臞 1 0 Μ 接 收 一 1 1 用 >λ 執 行 —- 預 定 遘 程 及 晶 圓 資 料 之 程 式 0 該 m 控 霣 臞 1 1 I 讀 1 I 0 進 行 步 隳 S 2 9 Μ 便 得 知 由 操 作 者 所 要 執 行 之通程之，输 先 閲 1 I 讀 I 1 入 内 容 * 並 執 行 步 驟 S 4 9 以 轉 送 該 晶 圓 資 訊 及 Ρ Ρ I D 背 1 1 之 1 資 訊 0 在 步 驟 S 4 後 » 該 雄 主 控 電 臞 1 0 則 進 行 步 驟 S 6 注 意 1 1 9 Μ 便 當 不 斷 與 該 主 控 鬣 臞 2 0 傳 輪 時 9 m 能 執 行 其 它 的 事 項 1 I 再 1 U 裝 I 控 制 操 作 0 Μ 及 f 在 與 該 主 控 Ζ 臞 2 0 傳 輸 的 期 間 $ 此 缌 填 寫 本 主 控 罨 睡 1 0 則 執 行 步 驟 S 8 9 Μ 便 確 認 是 否 翻 於 Ρ Ρ I 頁 1 | D 錯 誤 以 绖 被 已 输 入 或 未 被 輪 入 0 此 Ρ Ρ I D 錯 誤 即 為 9 1 I 若 由 該 主 控 霄 腦 2 0 傳 來 之 Ρ Ρ I D 及 由 擴 散 爐 3 0 傳 回 1 1 來 之 Ρ Ρ I D 不 同 時 之 資 訊 9 並 且 > 指 出 此 錯 誤 給 該 操 作 1 訂 者 〇 若 此 Ρ Ρ I D 錯 誤 資 訊 係 经 由 該 主 控 電 腦 2 0 而 入 1 1 1 I 時 9 則 將 會 執 行 步 驟 S 1 0 > 以 便 输 出 一 錯 誤 訊 息 譆 該 操 1 1 | 作 員 知 道 此 錯 誤 0 此 刻 * 為 了 要 輸 出 此 訊 息 9 可 依 製 造 商 ’声 k 之 意 願 » 用 轚 音 輸 出 或 用 影 像 输 出 之 其 中 一 種 方 式 為 之 0 1 因 為 通 常 此 主 控 電 腦 2 0 均 具 有 一 顯 示 器 $ 且 該 操 作 者 可 1 藉 著 檢 視 此 顯 示 器 而 能 夠 確 認 一 遇 程 之 控 制 或 其 它 過 程 之 1 | 吠 態 > 故 t 將 Ρ P I D 之 一 預 定 訊 號 顯 示 出 是 需 要 的 0 1 1 在 步 驟 S 1 6 中 > 該 主 控 電 睡 2 0 執 行 一 轉 送 之 操 作 1 1 並 接 收 在 步 驟 S 1 8 中 由 該 擴 散 爐 3 0 已 經 貯 備 之 Ρ Ρ 1 | I D 資 訊 » 並 且 進 行 步 驟 S 2 0 9 Μ 便 判 斷 傳 遞 到 該 擴 散 I I _ 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（（〇 ) 爐30之PPID資訊與貯備至此主控電臞20之PP I D寅訊是否完全相同。 若傳适到該擴散爐3 0之PP I D資訊與貯備至此主

I 控霣臞2 0之PP I D資訊不是完全相同的，此主控S腦 20則執行步驟S22, Μ便轉送出一等待指令給該擴散 爐30,然後，在該總主控電腦10中則執行步驟S8。 闢於在第4及第5圈中之主控電臞20,在步驟S2 6中，該擴散爐30偽與該主控電腦2 0彼此相傳輸。在 步驟28中，其偽接到該晶圓及PP ID之資訊，以及啟 動操作之指令，而這些動作亦即在第4圃中之步驟S 16 ,即，由該主控電腰20傳來之資訊及指令。如果收到這 樣的資訊，該擴散ffi30則根據所輸入之資訊，進行初始 化（INITIALIZATION)之設定搡作。在此，依據輸人之P P I D資訊，來決定於該掮散爐30中之所要被執行之過 程。此初始化之執行係基於該相對應之PP I D程式而定 。在完成初始化設定之後，此擴散爐3 0則執行步驟S3 0,並將此時現有之PPID資訊貯備給該主控電腦2 0 。在執行步驟S30之後，依據由該主控電腦20傳回之 PP I D資訊正確與否，該擴敗爐3 0將會確認在步驟S 3 2中是否輸入一等待指令。若是輪入一等待指令，則執 行步驟S34, Μ便設定為等待狀態Μ停止該遇程，並且 ,若此等待指令在一預定時間内並未被執行的話，則執行 步驟S 3 8以進行一相對應之遇程。 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X25»7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

S〇6〇t4_五、發明説明（（丨） 經濟部中央標準局員工消费合作社印袈 ο 來傳睡為 腦這 設備良也提 偏藝顯 3 遞與電，定 電認 之設不這及 不此於 爐傳訊控設 控確 成行免。以 在於羼 散於資主備 主會 造執遴形、 K 精是 掮HD♦該設 總員。而程 Μ 情化 可一將 如回 I 則該 此作定題遇，的動 它於仍 一傳 Ρ ，把 用操設問該斷化自 -對改 給會 Ρ 同且 利此新體 ，中惡理 已 。修 傳將之不並 當，重软此被質管 而改内 令 ο 有們， ，時備或藉即品之 例修園 指2現它確 候息設誤。前生统 施做範 I 之臞較若正 時訊等錯認之發系 實下與 3 換霣比 ，否 的誤該輪確程而將 之況神 1 轉控會後是 程錯將傳的遇誤並 述情精 | 一主且然行 遇 D 並、動的錯、 上的之 有該並。執 個 I,誤自應程率 於園明 時，，訊之 整 Ρ 後錯被對遇比 限範發 何時訊資遞 制 Ρ 之统Μ相此之 侷與本 論備資 D 傳 控一 ，系可行因品 。不神在 無設的 I 此。在出態於誤執免產率並精 ， ，行 DP 別態 ，示狀由錯一避良效明之言 〇 果執 IP 判狀後顯之，程在或不之發明而的 结程 P 之會待然而備故過作 ，了作本發士知 ISP 來 ο 等 ο 設 之操品低操 本人易 之之遞 2 一 1 些 備之產減升 維之而 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公嫠）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 經濟部中央梂準局男工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 1 . 一 種 半 導 體 元 件 製 造 遇 程 用 之 控 制 % 統 f 其 包 括 * 1 1 一 m 主 控 電 腦 9 當 咨 貝 訊 输 入 後 9 用 f 邋 一 過 程 程 1 1 /二） 式 之 資 訊 ， >x 及 要 被 製 造 成 晶 圚 之 } U 'm f 請 1 L 先 1 一 透 過 複 數 儷 資 料 匯 流 排 而 與 該 % 控 電 臞 相 連 接 閱 讀 1 背 1 之 主 控 電 腦 9 若 該 轉 送 的 遇 程 程 式 資 訊 像 被 貯 備 且 已 ιέ 1 注 I 經 收 到 則 讀 取 由 該 m 主 控 霣 臞 傳 m 來 之 過 程 資 訊 及 意 事 1 晶 圚 資 訊 9 Μ 便 能 轉 送 該 過 程 程 式 及 啟 動 指 令 並 項 再 1 填 1- 且 9 判 斷 該 已 貯 備 之 資 訊 是 否 與 該 傳 m 來 之 過 程 程 式 寫 本 裝 頁 1 完 全 相 同 或 是 不 同 f 以 便 一 旦 有 錯 誤 發 生 時 9 可 以 轉 1 送 — 等 待 指 令 及 1 1 一 透 遇 複 數 個 資 料 匯 流 排 而 與 該 主 控 電 腦 相 連 接 之 1 1 過 程 執 行 設 備 9 若 由 該 主 控 電 腦 來 之 該 操 作 啟 動 指 令 訂 1 與 過 程 程 式 資 訊 收 到 時 $ 則 將 該 過 程 程 式 資 訊 貯 餚 至 1 1 該 主 控 罨 腦 9 而 且 9 若 接 收 到 一 由 該 主 控 電 腦 傳 來 之 1 1 等 待 操 作 命 令 時 9 則 停 止 操 作 0 1 1 2 . 如 牢 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 之 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 I 之 控 制 系 统 > 其 中 9 該 通 程 執 行 設 備 係 為 — 擴 散 爐 0 I 3 . 如 甲 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 之 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 I 之 控 制 系 统 其 中 9 該 遇 程 執 行 設 備 為 一 化 學 蒸 氣 1 1 鍍 膜 器 0 1 1 4 . 一 種 由 —. 缠 主 控 罨 腦 、 —- 主 控 電 腦 及 一 過 程 執 行 設 備 1 I 所 構 成 之 一 種 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 之 控 制 条 統 之 控 1 1 制 方 法 t 該 方 法 包 括 下 列 步 驟 1 1 一 1 4 一 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（〇奶）八4規/格（2丨0父297公釐） A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局属工消費合作社印製 «-丨― X 申請專利範圍 1 | 當 — 使 用 者 輸 入 黄 訊 於 該 m 主 控 爾 睡 中 時 9 接 收 過 1 I 程 程 式 及 要 被 製 造 成 晶 圆 之 資 訊 • 且 由 該 主 控 鼋 腦 把 1 1 I 一 啟 動 搡 作 之 指 令 及 該 遇 程 程 式 傳 遞 給 該 •過 程 執 行 設 請 1 1 1 備 it 閲 1 I 1 | 將 該 ϋ 程 程 式 資 訊 由 該 處 理 執 行 設 備 貯 備 到 該 主 控 背 ιέ I | 之 1 霄 臞 注 意 畫 1 I 在 該 主 控 電 腦 中 > 判 斷 是 否 該 已 貯 備 之 過 程 程 式 與 項 再 1 1 該 傳 遞 來 之 遇 程 程 式 完 全 相 同 或 者 不 同 於 在 該 主 控 填 寫 本 1 -I 電 腦 中 之 程 式 及 頁 Sw/· 1 1 若 該 已 貯 備 之 遇 程 程 式 不 同 於 傳 缠 來 之 遇 程 程 式 ， 1 1 則 由 該 主 控 電 腦 傳 出 一 等 待 執 行 之 指 令 « 而 且 若 該 1 I 已 貯 備 之 遇 程 程 式 相 同 於 傳 遞 來 之 過 程 程 式 9 則 允 許 1 訂 此 過 程 執 行 設 備 m 續 操 作 Ο 1 1 請 專 利 範 圍 第 4 項 所 述 之 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 1 I / 'Ά 制 系 統 之 控 制 方 法 > 其 中 » 該 等 待 操 作 指 令 係 由 該 1 i J 1 w主 控 電 蹈 输 出 到 該 遇 程 執 行 設 備 » 而 錯 誤 訊 息 係 由 該 r 主 控 電 腦 翰 出 至 該 埋 主 控 電 腦 〇 1 1 6 .如 $ 諝 專 利 範 圍 第 5 項 所 述 之 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 1 1 之 控 制 % 统 之 控 制 方 法 9 其 中 * 該 錯 誤 訊 息 係 由 該 m 1 I 主 控 電 腰 Μ 聲 音 而 输 出 0 1 1 I 7 .如 申 請 專 利 範 圍 第 5 項 所 述 之 半 導 體 元 件 製 造 過 程 用 1 1 之 控 制 系 统 之 控 制 方 法 9 其 中 » 該 錯 誤 訊 息 係 由 該 主 1 1 控 電 腦 Μ 看 的 見 的 顯 示 方 式 而 輸 出 〇 1 I 1 5 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 3060^4 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 8 驩遇 導該 半丨 之中 逑其 所， 項法 4 方 第制 圃控 範之 利统 專系 請制 申控 如之 件 元 執 程 用該 程在 遇備 造設 製行 預 - 之 後 電 控 主 該 到 送 傳 式 程 〇 程作 遇揉 及始 令開 指會 作内 操間 動 時 啟定 9 用間 程時 遇待 造等 製之 件定 元預 髏該 導在 半 ， 之中 述其 所 ， 項法 8 方 第制 園控 範之 利统 專系 請制 申控 如之 送 傅 且 並 訊 資 之 來 回 傳 該 査 檢 會 臞S. 0 控令 主指 該待 , 等 内該 --------1裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ir 經濟部中央梂準局負工消費合作社印製 6 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）