KR970022525A - 하프톤 위상반전마스크 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 크롬막의 균일도 유지 및 무결함 특성을 갖는 크롬막의 두께 획득이 가능한 하프톤 위상반전마스크 제조방법에 과한 것으로, DUV(Dip Ultra Violet)용 하프톤 위상반전 마스크 제조방법에 있어서, DUV파장에 대하여 4 내지 10%의 광투과특성을 갖는 1000 내지 1500Å 두께의 불소함유 크롬막을 증착하는 것을 특징으로 한다.

Description

하프톤 위상반전마스크 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (4)

  1. DUV(Dip UltraViolet)용 하프톤 위상반전 마스크 제조방법에 있어서, DUV파장에 대하여 1000Å 내지 1500Å 두께에서 4% 내지 10%의 광투과특성을 갖도록 크롬(Cr)과 불소(F)가 소정 비율의 원자비로 구성된 불소 함유 크롬막을 위상반전물질로 사용하는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상반전 마스크 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 불소 함유 크롬막은 Cr:F이 1:2 원자비로 구성되는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상반전 마스크 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 불소 함유 크롬막은 레티클 상에 형성할시 크롬 타겟에 Ar개스와 불소(F)가 함유된 개스를 혼합 사용한 개스로 반응성 스퍼터링하여 형성하는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상반전 마스크 제조방법 .
  4. 제3항에 있어서; 상기 불소(F)가 함유된 개스는 CF4또는 SF6개스인 것을 특징으로 하는 하프톤 위상반전 마스크 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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