KR960024571A - 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬공백과 액정 디스플레이용 색필터 - Google Patents

블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬공백과 액정 디스플레이용 색필터 Download PDF

Info

Publication number
KR960024571A
KR960024571A KR1019950052438A KR19950052438A KR960024571A KR 960024571 A KR960024571 A KR 960024571A KR 1019950052438 A KR1019950052438 A KR 1019950052438A KR 19950052438 A KR19950052438 A KR 19950052438A KR 960024571 A KR960024571 A KR 960024571A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
oxygen
film
compound
chromium
nitrogen
Prior art date
Application number
KR1019950052438A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100362459B1 (ko
Inventor
준지 후지카와
유키오 이무라
마사야스 다카하시
다카시 니시모토
히로유키 마쯔이
마사노부 후지타
Original Assignee
기타지마 요시토시
다이니뽄 인사쯔 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 기타지마 요시토시, 다이니뽄 인사쯔 가부시키가이샤 filed Critical 기타지마 요시토시
Publication of KR960024571A publication Critical patent/KR960024571A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100362459B1 publication Critical patent/KR100362459B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512Light shielding layers, e.g. black matrix
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

본 발명에 있어서, 액정 디스플레이용 색필터를 제조하는데 사용되는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬 공백은, 적어도 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막을 투명기판의 한 주표면상에 순차적으로 형성함으로써 형성된다. 상기 제1 및 제2무반사막은 각각 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물 또는 크롬화합물로 이루어진 반 투명막이고, 상기 스크리닝막은 크롬, 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물로 이루어진다. 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은, 대체로 전체의 가시파장범위내에서 부등식 ns〈n1〈n2〈n3(여기서, ns는 투명기판의 굴절률, n1은 제1무반사막의 복소굴절률의 실수부, n2는 제2무반사막의 복소굴절률의 실수부, n3는 스크리닝막의 복소굴절률의 실수부이다)을 만족한다.

Description

블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬공백과 액정 디스플레이용 색필터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 제1실시예에 있어서 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬공백의 단면도.

Claims (12)

  1. 투명 기판과, 상기 투명기판의 한 주표면상에 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막을 순차적으로 형성함으로써 형성된 적층막을 구비하여 구성되고, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 대체로 전체의 가시파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
    ns〈n1〈n2〈n3
    여기서, ns는 투명기판의 굴절률, n1은 제1무반사막의 복소굴절률의 실수부, n2는 제2무반사막의 복소굴절률의 실수부, n3는 스크리닝막의 복소굴절률의 실수부이다.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 적어도 상기 가시파장범위의 450∼650nm의 파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
    ns〈n1〈n2〈n3
  3. 제1항에 있어서, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 대체로 전체의 가시파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
    k1〈k2〈k3
    여기서, k1은 제1무반사막의 복소굴절률의 허수부, k2는 제2무반사막의 복소굴절률의 허수부, k3는 스크리닝막의 복소굴절률의 허수부이다.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2무반사막은 각각 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물로 이루어지고, 상기 스크리닝막은 크롬, 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1무반사막은, 30∼50원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물중의 하나를 함유하고, 상기 제2무반사막은, 45∼65원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소의 탄소의 화합물중의 하나를 함유하며, 상기 스크리닝막은 크롬으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제1무반사막은, 30∼50원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물 중의 하나를 함유하고, 상기 제2무반사막은 45∼65원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소의 탄소의 화합물중의 하나를 함유하며, 상기 스크리닝막은, 60원자% 이상의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물중의 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 공백.
  7. 투명기관과, 상기 투명기판상에 형성된 블랙 행렬스크린을 구비하여 구성되고, 상기 블랙 형렬스크린은, 상기 투명기판의 한 주표면상에 순차적으로 형성된 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 구비하여 구성되고, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 대체로 전체의 가시파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
    ns〈n1〈n2〈n3
    여기서, ns는 투명기판의 굴절률, n1은 제1무반사막의 복소굴절률의 실수부, n2는 제2무반사막의 복소굴절률의 실수부, n3는 스크리닝막의 복소굴절률의 실수부이다.
  8. 제7항에 있어서, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 적어도 상기 가시파장범위의 450∼650nm의 파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
    ns〈n1〈n2〈n3
  9. 제7항에 있어서, 상기 투명기판과 제1무반사막, 제2무반사막 및 스크리닝막은 대체로 전체의 가시파장범위내에서 하기의 부등식을 만족하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
    k1〈k2〈k3
    여기서, k1은 제1무반사막의 복소굴절률의 허수부, k2는 제2무반사막의 복소굴절률의 허수부, k3는 스크리닝막의 복소굴절률의 허수부이다.
  10. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2무반사막은 각각 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물 또는 크롬혼합물로 이루어진 반투명막이고, 상기 스크링닝막은 크롬, 주성분으로서 크롬을 함유한 크롬화합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1무반사막은, 30∼50원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물중의 하나를 함유하고, 상기 제2무반사막은, 45∼65원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소의 탄소의 화합물중의 하나를 함유하며, 상기 스크리닝막은 크롬으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
  12. 제10항에 있어서, 상기 제1무반사막은, 30∼50원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물 중의 하나를 함유하고, 상기 제2무반사막은, 45∼65원자%의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와7 탄소의 화합물중의 하나를 함유하며, 상기 스크리닝막은, 60원자% 이상의 크롬과, 산소, 산소와 질소의 화합물, 산소와 탄소의 화합물 및 산소와 질소와 탄소의 화합물중의 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 색필터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950052438A 1994-12-22 1995-12-20 블랙행렬스크린을형성하기위한크롬공백과액정디스플레이용색필터 KR100362459B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33538394A JP3440346B2 (ja) 1994-12-22 1994-12-22 ブラックマトリックス用クロムブランクスおよび液晶デイスプレイ用カラーフイルター
JP94-335383 1994-12-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960024571A true KR960024571A (ko) 1996-07-20
KR100362459B1 KR100362459B1 (ko) 2003-03-04

Family

ID=18287938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950052438A KR100362459B1 (ko) 1994-12-22 1995-12-20 블랙행렬스크린을형성하기위한크롬공백과액정디스플레이용색필터

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5592317A (ko)
JP (1) JP3440346B2 (ko)
KR (1) KR100362459B1 (ko)
TW (1) TW343292B (ko)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100463854B1 (ko) * 1996-07-19 2005-04-06 삼성전자주식회사 표시장치
US6071616A (en) * 1996-12-05 2000-06-06 Texas Instruments Incorporated Opaque low reflecting coating aperture on glass
US6157426A (en) * 1998-02-13 2000-12-05 Ois Optical Imaging Systems, Inc. Liquid crystal display with SiOx Ny inclusive multilayer black matrix
US6008872A (en) * 1998-03-13 1999-12-28 Ois Optical Imaging Systems, Inc. High aperture liquid crystal display including thin film diodes, and method of making same
US6452652B1 (en) * 1998-06-12 2002-09-17 National Semiconductor Corporation Light absorbing thin film stack in a light valve structure
KR100424853B1 (ko) * 1998-07-31 2004-03-27 호야 가부시키가이샤 포토마스크 블랭크, 포토마스크, 이들의 제조방법 및미세패턴의 형성방법
CN1075762C (zh) * 1998-12-30 2001-12-05 中国科学院感光化学研究所 一种变色薄膜的制备方法
US6344365B1 (en) * 2000-05-26 2002-02-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Arc coating on mask quartz plate to avoid alignment error on stepper or scanner
CA2364201A1 (en) * 2001-12-03 2003-06-03 Luxell Technologies, Inc. Optical interference member for matrix displays
CA2419121A1 (en) * 2002-05-03 2003-11-03 Luxell Technologies, Inc. Dark layer for an electroluminescent device
JP2004170554A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Victor Co Of Japan Ltd 反射型液晶表示装置
TWI322910B (en) * 2003-04-23 2010-04-01 Innolux Display Corp Black matrix, color filter and liquid crystal display device with the same
CN100403063C (zh) * 2003-04-25 2008-07-16 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 黑色矩阵、彩色滤光片和液晶显示装置
KR20060008534A (ko) * 2004-07-21 2006-01-27 삼성코닝 주식회사 신규 블랙 매트릭스, 그 제조방법 및 그를 이용한평판표시소자 및 전자파차폐 필터
KR20060046935A (ko) * 2004-11-12 2006-05-18 삼성코닝 주식회사 신규 블랙 매트릭스, 그 제조방법 및 그를 이용한평판표시소자 및 전자파차폐 필터
WO2007039161A1 (en) * 2005-09-27 2007-04-12 Schott Ag Mask blanc and photomasks having antireflective properties
JP4509050B2 (ja) * 2006-03-10 2010-07-21 信越化学工業株式会社 フォトマスクブランク及びフォトマスク
JP4883278B2 (ja) * 2006-03-10 2012-02-22 信越化学工業株式会社 フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法
US8615663B2 (en) * 2006-04-17 2013-12-24 Broadcom Corporation System and method for secure remote biometric authentication
JP4737426B2 (ja) 2006-04-21 2011-08-03 信越化学工業株式会社 フォトマスクブランク
TW200745630A (en) * 2006-04-24 2007-12-16 Asahi Glass Co Ltd Blank, black matrix, and color filter
KR101348605B1 (ko) * 2006-12-21 2014-01-07 삼성디스플레이 주식회사 컬러 필터 기판 및 이를 포함하는 액정표시패널
JP5531702B2 (ja) * 2010-03-23 2014-06-25 旭硝子株式会社 遮光膜付ガラス基板および液晶表示装置
JP5849719B2 (ja) * 2012-01-23 2016-02-03 旭硝子株式会社 光吸収体及びこれを用いた撮像装置
JP5983020B2 (ja) * 2012-05-18 2016-08-31 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
US8974896B2 (en) * 2013-03-08 2015-03-10 Vapor Technologies, Inc. Coated article with dark color
KR102087195B1 (ko) * 2013-09-05 2020-03-11 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판 및 표시판의 제조방법
JP6641687B2 (ja) * 2014-12-01 2020-02-05 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法およびブラックマトリクス基板の製造方法
JP6641688B2 (ja) * 2014-12-08 2020-02-05 大日本印刷株式会社 カラーフィルタおよび表示装置
US10725332B2 (en) * 2015-10-06 2020-07-28 Lg Chem, Ltd. Display device
KR102007149B1 (ko) 2016-11-24 2019-08-05 주식회사 삼양사 흑색 아조-금속 착물, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 경화막

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61272746A (ja) * 1985-05-28 1986-12-03 Asahi Glass Co Ltd フオトマスクブランクおよびフオトマスク
US5279911A (en) * 1990-07-23 1994-01-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Photomask
US5514499A (en) * 1993-05-25 1996-05-07 Kabushiki Kaisha Toshiba Phase shifting mask comprising a multilayer structure and method of forming a pattern using the same
US5415953A (en) * 1994-02-14 1995-05-16 E. I. Du Pont De Nemours And Company Photomask blanks comprising transmissive embedded phase shifter

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08179301A (ja) 1996-07-12
JP3440346B2 (ja) 2003-08-25
US5592317A (en) 1997-01-07
KR100362459B1 (ko) 2003-03-04
TW343292B (en) 1998-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960024571A (ko) 블랙 행렬스크린을 형성하기 위한 크롬공백과 액정 디스플레이용 색필터
US6137630A (en) Thin-film multilayer systems for use in a head-up display
KR960024559A (ko) 활성 매트릭스 액정 디스플레이 및 반사방지 블랙 매트릭스의 제조방법
JP3041094B2 (ja) ピーク抑制を有する光学的に可変な干渉装置及び方法
EP1279700A4 (en) BIAXIAL-ORIENTED POLYESTER FILM, ADHESIVE FILM AND COLORED HARD COATING FILM
KR970701379A (ko) 포토마스크 블랭크(Photomask Blanks)
KR940015631A (ko) 액정표시패널
KR920018516A (ko) 칼라 필터의 형성법
US5808714A (en) Low reflection shadow mask
TW428107B (en) Anti-reflection film and display device
CA2040305A1 (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
TW455729B (en) Reflection type liquid crystal display device
KR880005482A (ko) 투사형 표시장치
TW201243401A (en) Color filter, optical grating structure and display module
MY119036A (en) Display device
JPH11119007A (ja) ブランクス及びブラックマトリクス
JP3390561B2 (ja) 液晶表示装置用遮光膜
JPH0414784Y2 (ko)
US20040179153A1 (en) Color filter with low reflection and liquid crystal display device having same
JP4017747B2 (ja) Bm膜製造方法
EP0979425B1 (de) Absorbierendes dünnschichtsystem, bestehend aus metallischen und dielektrischen schichten
JP4184498B2 (ja) 亜鉛/インジウム系bm膜、及びbm膜製造方法
KR960021518A (ko) 가변색 태양광 조절필름
KR920012996A (ko) Lcd용 적색 필터
DE2754817C2 (de) Intensiv grün reflektierender Spiegel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121105

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131101

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee