KR950033658A - 위상반전마스크의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 위상반전마스크의 제조방법에 관한 것으로, 간단한 공정에 의해 신뢰성이 우수하고 성능이 향상된 위상반전마스크를 제조하기 위한 것이다.
본 발명은 투명기판상에 금속막을 형성하는 단계와, 상기 금속막을 하프톤층 패턴으로 패터닝하는 단계, 및 상기 금속막에 산소이온을 주입하고 열처리하여 금속산화막으로 이루어진 하프톤층 및 위상반전층을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로하는 위상반전마스크의 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 하프톤 위상반전마스크의 제조방법을 도시한 공정순서도, 제2도는 본 발명의 하프톤 위상반전마스크의 제조방법을 도시한 공정순서도.
Claims (3)
- 투명기판상에 금속막을 형성하는 단계와, 상기 금속막을 하프톤층 패턴으로 패터닝하는 단계, 상기 금속막에 산소이온을 주입하고 열처리하여 금속산화막으로 이루어진 하프톤층 및 위상반전층을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 위상반전마스크의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속막은 아연으로 형성하는 것을 특징으로 하는 위상반전마스크의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속막은 λ/2(n-1)(λ:광파장, n:금속산화막의 투과도 굴절률)을 만족하는 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 위상반전마스크의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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