KR970013370A - 비스무트 화합물의 제조 방법 및 비스무트 화합물의 유전체 물질 - Google Patents

비스무트 화합물의 제조 방법 및 비스무트 화합물의 유전체 물질 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 비스무트 화합물에 의한 유전체에 있어서, 도전성의 부생성상의 생성을 억제하는 것이다.
이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에서는 압력 0.01 내지 50torr의 분위기 중에서 원료가스를 도입하고, 비스무트 화합물의 전구 물질을 기체상에 퇴적한 후, 산화성 분위기 중에서 열처리를 실시하는 비스무트 화합물의 제조 방법을 제공한다.

Description

비스무트 화합물의 제조 방법 및 비스무트 화합물의 유전체 물질
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 산소 분압이 20 내지 70% 범위에서, 산소 분압과 박막의 조성과의 관계를 나타내는 도면.
제2도는 산소 분압을 38.9%로 했을시 얻어진 박막의 X선 회절 패턴도.
제3도는 산소 분압을 22.2%로 했을시 얻어진 박막의 X선 회절 패턴도.
제4도는 비스무트 층상 화합물과 파이로클로아 구조의 부새성물과의 상분율의 산소분압의 의존성을 나타내는 도면.
제5도는 성막시의 산소 분압과 잔류 분극 및 쇼트율과의 관계를 나타내는 도면.

Claims (13)

  1. 압력 0.01 내지 50 torr 분위기 중에서 원료 가스를 도입하고, 비스무트 화합물의 전구 물질을 기체(基體)상에 퇴적하는 제1 공정과, 상기 전구 물질을 산화성 분위기 중에서 열처리하는 제2 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 공정후에 얻어지는 비스무트 화합물이 비스무트 층상 화합물과 파이로클로아 구조의 복합 산화물을 함유하는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 비스무트 층상 화합물이 Bi2(SraBabCac)(TadBbe)209의 조성식으로 표시되고, a,b,c,d,e는 원자비로 0 내지 1의 값을 취하며, a+b+c=1, d+e=인 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 파이로클로아 구조의 복합 산화물이 (Bi, (Sr, Ba, Ca))2-x(Ta, Nb)207의 조성식으로 표시되는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 공정에서의 산소 분압이 전압의 20 내지 50%임을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 공정에서의 기체 온도가 400 내지 750℃임을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 비스무트 화합물의 전구 물질이 플루오라이트 구조의 결정체로 이루어지는 상과 아모르포스상을 함유하는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제2 공정은 산화성 분위기 중에서 상기 제1 공정에서의 상기 비스무트 화합물의 전구 물질의 성막 온도 이상 850℃이하의 온도 범위에서 실시되는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  9. 플루오라이트 구조의 결정체로 이루어지는 상과 아모르포스상을 함유하는 비스무트 화합물의 전구 물질을 기체상에 퇴적하는 공정과, 상기 전구 물질을 산화성 분위기 중에서 열처리하는 공정을 포함하며, 비스무트 층상 화합물과 파이로클로아 구조의 복합 산화물을 함유하는 비스무트 산화물을 형성하는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 제조 방법.
  10. 주상의 비스무트 층상 화합물과 부생성상의 파이로클로아 구조의 복합 산화물을 함유하는 비스무트 화합물의 유전체 물질.
  11. 제10항에 있어서, 상기 비스무트 층상 화합물이 Bi2(SraBabCac)(TadNbd)209의 조성식으로 표시되고, a, b, c, d, e는 원자비로, 0 내지 1의 값을 취하며, a+b+c=1, d+e=인 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 유전체 물질.
  12. 제10항에 있어서, 상기 파이로클로아 구조의 복합 산화물일 (Bi, (Sr, Ba, Ca))2-x(Ta, Nb)207의 조성식으로 표시되는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 유전체 물질.
  13. 제10항에 있어서, 상기 비스무트 층상 화합물이 Bi2SrTa209의 조성식으로 표시되고, 상기 파이로클로아 구조의 복합 산화물이 (Bi, Sr)2-xTa207의 조성식으로 표시되는 것을 특징으로 하는 비스무트 화합물의 유전체 물질.
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