KR970012951A - 전자현미경 - Google Patents

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KR970012951A
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electron
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쇼 다까미
다다시 오다까
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가나이 쯔도무
가부시키 가이샤 히다치 세사쿠쇼
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
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  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
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Abstract

전자선 조사에 의한 시료 오손(汚損)을 허용범위로 억제하는 전자현미경이 제공된다.
본 발명의 전자현미경은 시료에 대한 전자선 조사전류를 직접 측정하는 조사전류 측정부와, 시료상의 관찰영역에 대한 전자선 조사시간을 측정하는 조사시간 측정부, 측정된 조사전류, 조사시간 및 미리 설정된 관찰배율에 의거하여 관찰영역에 조사된 전자선 도즈량을 연산하는 연산부를 구비한 것이다.

Description

전자현미경
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 본 발명에 의한 전자현미경의 개략 구성도,
도 2는 도즈량의 계산 및 표시의 순서를 나타낸 플로우챠트,
도 3은 시야가 변했을 경우의 도즈량 계산 예에 대한 플로우챠트,
도 4는 시야의 좌표의 설명도,
도 5는 도즈량 또는 조사시간의 계산 및 표시의 순서를 나타낸 플로우챠트,
도 6은 도즈량 표시방법의 일례를 나타낸도,
도 7은 도즈량이 허용치를 초과했을 때 전자선 조사를 중지하는 실시예의 플로우챠트,
도 8은 조사시간의 표시예를 나타낸 도,
도 9는 조사시간의 다른 표시예를 나타낸 도.

Claims (10)

  1. 시료에 대한 전자선 조사전류를 직접 측정하는 수단과, 상기 시료상의 관찰영역으로의 전자선 조사시간을 측정하는 계시수단과, 상기 측정된 전자선 조사전류, 상기 전자선 조시시간 및 설정된 관찰배율에 의거하여 상기 관찰영역에 조사된 전자선 도즈량을 연산하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  2. 제1항에 있어서, 연산된 전자선 도즈량을 순차 표시하는 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  3. 제1항에 있어서, 기준이 되는 전자선 도즈량을 등록하는 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  4. 제3항에 있어서, 등록된 전자선 도즈량과 상기 시료상의 관찰영역에 조사된 전자선 도즈량을 대비하여 그 대비결과를 순차 표시하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  5. 제3항에 있어서, 상기 시료상의 관찰영역에 조사된 전자선 도즈량이 상기 등록된 전자선 도즈량을 초과했을 때, 시료에 대한 전자선 조사를 중지하는 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  6. 제1항에 있어서, 기준이 되는 전자선 도즈량을 등록하는 수단과, 상기 측정된 전자선 조사전류 및 관찰배율에 의거하여 상기 시료상의 관찰영역에 조사된 전자선 도즈량이 상기 등록된 전자선 도즈량에 도달할 때 까지의 허용시간을 연산하는 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  7. 제6항에 있어서, 상기 등록된 전자선 도즈량으로부터 연산된 허용시간과, 상기 계시수단에 의해 측정된 조사시간을 대비하여 그 대비결과를 순차 표시하는 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  8. 시료에 대한 전자선 조사전류를 직접 측정하는 수단과, 상기 시료상의 관찰영역으로의 전자선 조사시간을 측정하는 계시수단과, 기준이 되는 조사시간 및 관찰배율을 등록하는 수단과, 상기 등록된 전자선 조사시간과 상기 계시수단에 의해 측정된 전자선 조사시간을 대비하여 그 대비결과를 순차 표시하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  9. 시료에 대한 전자선 조사전류를 측정하는 수단과, 상기 시료상의 관찰영역으로의 전자선 조사시간을 측정하는 계시수단과, 기준이 되는 전자선 주사시간 및 관찰배율을 등록하는 수단과, 상기 계시수간에 의해 측정된 전자선 조사시간이 등록된 전자선 조사식단을 초과했을 때 시료에 대한 전자선 조사를 중지하는 수다을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
  10. 제1항에 있어서, 상기 전자선 조사전류 및 상기한 미리 설정된 관찰배율이 정해진 조건하에서, 전자선 조사에 의한 상기 시료상의 패턴폭에 관하여, 상기 패턴폭의 변화가 시료의 소망 특성에 변화를 주지 않는, 허용되는 패턴폭의 변화량(△d)에 대해, 패턴폭의 계측을 자동적으로 실행하여, 상기 변화량이 △d에 도달했을 때에 상기 패턴폭이 △d에 도달할 때 까지의 전자선 조사시간을 계측하는 수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960032744A 1995-08-07 1996-08-06 전자현미경 KR100441673B1 (ko)

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