JPH06267467A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06267467A JPH06267467A JP5056774A JP5677493A JPH06267467A JP H06267467 A JPH06267467 A JP H06267467A JP 5056774 A JP5056774 A JP 5056774A JP 5677493 A JP5677493 A JP 5677493A JP H06267467 A JPH06267467 A JP H06267467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam irradiation
- sample
- computer
- blanking
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】走査電子顕微鏡およびその類似装置において、
ビーム照射による試料の損傷やチャージアップの抑制、
あるいは、防止を図ること。 【構成】ビーム照射スイッチ１２が押されるとコンピュ
ータ１１ではビーム照射開始後の経過時間をモニタし、
予め設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合
は自動的にコンピュータ１１よりビームブランキング発
生器８にビームブランキングの信号を送ることで実施す
る。 【効果】オペレータはビームブランキングのタイミング
を気にしながら操作しなくても良くなるので、余計な負
担を軽減でき操作性を向上できるとともにビーム照射に
よる試料の損傷の防止やチャージアップを抑制、あるい
は、防止する効果がある。
ビーム照射による試料の損傷やチャージアップの抑制、
あるいは、防止を図ること。 【構成】ビーム照射スイッチ１２が押されるとコンピュ
ータ１１ではビーム照射開始後の経過時間をモニタし、
予め設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合
は自動的にコンピュータ１１よりビームブランキング発
生器８にビームブランキングの信号を送ることで実施す
る。 【効果】オペレータはビームブランキングのタイミング
を気にしながら操作しなくても良くなるので、余計な負
担を軽減でき操作性を向上できるとともにビーム照射に
よる試料の損傷の防止やチャージアップを抑制、あるい
は、防止する効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡および
その類似装置において、ビーム照射による試料の損傷や
チャージアップを防止するのに好適な走査電子顕微鏡に
関する。
その類似装置において、ビーム照射による試料の損傷や
チャージアップを防止するのに好適な走査電子顕微鏡に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、特開昭63−12146 号公報
に記載のようにビーム照射による試料の損傷やチャージ
アップを防止する方法についての記述はあるが、同一箇
所でビーム照射した場合にはやはり試料の損傷やチャー
ジアップが発生する場合もあり、そのタイミングはオペ
レータに委せられていた。
に記載のようにビーム照射による試料の損傷やチャージ
アップを防止する方法についての記述はあるが、同一箇
所でビーム照射した場合にはやはり試料の損傷やチャー
ジアップが発生する場合もあり、そのタイミングはオペ
レータに委せられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ビー
ム照射による試料の損傷の防止やチャージアップの防止
は、オペレータに委せられていた。たとえば、オペレー
タが装置から離れる場合にはビーム照射をＯＦＦするよ
うに義務づけていた。そのため、ビーム照射をＯＮのま
まにしていると、ビーム照射による試料の損傷やチャー
ジアップが発生することもあった。
ム照射による試料の損傷の防止やチャージアップの防止
は、オペレータに委せられていた。たとえば、オペレー
タが装置から離れる場合にはビーム照射をＯＦＦするよ
うに義務づけていた。そのため、ビーム照射をＯＮのま
まにしていると、ビーム照射による試料の損傷やチャー
ジアップが発生することもあった。
【０００４】本発明の目的は、自動的にビーム照射をＯ
ＦＦに実行し、ビーム照射による試料の損傷の防止やチ
ャージアップの防止をするとともにオペレータの余計な
負担を軽減し操作性を向上させることにある。
ＦＦに実行し、ビーム照射による試料の損傷の防止やチ
ャージアップの防止をするとともにオペレータの余計な
負担を軽減し操作性を向上させることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合には、ビ
ーム照射を自動的にＯＦＦすることで達成される。
に、連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合には、ビ
ーム照射を自動的にＯＦＦすることで達成される。
【０００６】
【作用】予め設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過
した場合には、自動的にビーム照射がＯＦＦされるの
で、オペレータの余計な負担を軽減し操作性を向上させ
ることができる。
した場合には、自動的にビーム照射がＯＦＦされるの
で、オペレータの余計な負担を軽減し操作性を向上させ
ることができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。電子銃１により放出された電子ビーム２は、対物レ
ンズ５により細く絞られ試料６に照射される。対物レン
ズ５は対物レンズ電源１３により励磁される。
る。電子銃１により放出された電子ビーム２は、対物レ
ンズ５により細く絞られ試料６に照射される。対物レン
ズ５は対物レンズ電源１３により励磁される。
【０００８】また、偏向信号発生器１０によって発生す
る偏向信号は、コンピュータ１１により試料６上の操作
範囲を変更でき、偏向増幅器９によって偏向コイル４
ａ，４ｂを励磁し、電子ビーム２を試料６上で２次元走
査する。この走査範囲によって倍率が決定する。
る偏向信号は、コンピュータ１１により試料６上の操作
範囲を変更でき、偏向増幅器９によって偏向コイル４
ａ，４ｂを励磁し、電子ビーム２を試料６上で２次元走
査する。この走査範囲によって倍率が決定する。
【０００９】さらに、この時、試料６に入射した電子ビ
ーム２により発生した信号（２次電子，反射電子など）
は、検出器７により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ偏向器
１４によりアナログ信号からディジタル信号に変換され
画像メモリ１５に記憶される。この画像メモリ１５はＤ
／Ａ偏向器１６によりディジタル信号からアナログ信号
に変換され画像表示用ＣＲＴの輝度信号としてグリッド
に印加される。このとき、Ａ／Ｄ変換器１４，画像メモ
リ１５，Ｄ／Ａ変換器１６は、Ａ／Ｄ変換して画像表示
するためのタイミング信号を偏向信号発生器１０により
受ける。また、画像表示用ＣＲＴ１８の偏向コイル１７
は偏向信号発生器１０の偏向信号に基づいて偏向増幅器
１９により励磁される。
ーム２により発生した信号（２次電子，反射電子など）
は、検出器７により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ偏向器
１４によりアナログ信号からディジタル信号に変換され
画像メモリ１５に記憶される。この画像メモリ１５はＤ
／Ａ偏向器１６によりディジタル信号からアナログ信号
に変換され画像表示用ＣＲＴの輝度信号としてグリッド
に印加される。このとき、Ａ／Ｄ変換器１４，画像メモ
リ１５，Ｄ／Ａ変換器１６は、Ａ／Ｄ変換して画像表示
するためのタイミング信号を偏向信号発生器１０により
受ける。また、画像表示用ＣＲＴ１８の偏向コイル１７
は偏向信号発生器１０の偏向信号に基づいて偏向増幅器
１９により励磁される。
【００１０】また、ビームが照射されていない状態でビ
ーム照射スイッチ１２が押されると、ビームブランキン
グ発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキング
OFFの信号が送られるとブランキングが解除されビーム
２は試料６に到達するようになる。さらに、ビーム照射
スイッチ１２が押されビーム照射が開始されると、コン
ピュータ１１では、ビーム照射開始後の経過時間をモニ
タし始める。一方、ビームが照射されている状態でビー
ム照射スイッチ１２が押されると、ビームブランキング
発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキングＯ
Ｎの信号が送られるとブランキングされビーム２は試料
６には到達しないようになる。
ーム照射スイッチ１２が押されると、ビームブランキン
グ発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキング
OFFの信号が送られるとブランキングが解除されビーム
２は試料６に到達するようになる。さらに、ビーム照射
スイッチ１２が押されビーム照射が開始されると、コン
ピュータ１１では、ビーム照射開始後の経過時間をモニ
タし始める。一方、ビームが照射されている状態でビー
ム照射スイッチ１２が押されると、ビームブランキング
発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキングＯ
Ｎの信号が送られるとブランキングされビーム２は試料
６には到達しないようになる。
【００１１】以上のような構成において一実施例とし
て、図２に示すように、ビームが照射されていない状態
でビーム照射スイッチ１２を押すと、ビームブランキン
グ発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキング
ＯＦＦの信号が送られるとブランキングが解除されＣＲ
Ｔ１８に試料像が表示される。さらに、ビーム照射開始
後コンピュータ１１はビーム照射開始後の経過時間のモ
ニタを開始し、予め設定した連続ビーム照射禁止時間以
上経過した場合には、ビームブランキング発生器８にコ
ンピュータ１１により自動的にビームブランキングＯＦ
Ｆの信号が送られると試料６にはビームが照射されなく
することで実施できる。また、これに同期してコンピュ
ータ１１は画像メモリ１５への書き込みを禁止するので
画像表示用ＣＲＴ１４にはフリーズされた画像が表示さ
れる。
て、図２に示すように、ビームが照射されていない状態
でビーム照射スイッチ１２を押すと、ビームブランキン
グ発生器８にコンピュータ１１よりビームブランキング
ＯＦＦの信号が送られるとブランキングが解除されＣＲ
Ｔ１８に試料像が表示される。さらに、ビーム照射開始
後コンピュータ１１はビーム照射開始後の経過時間のモ
ニタを開始し、予め設定した連続ビーム照射禁止時間以
上経過した場合には、ビームブランキング発生器８にコ
ンピュータ１１により自動的にビームブランキングＯＦ
Ｆの信号が送られると試料６にはビームが照射されなく
することで実施できる。また、これに同期してコンピュ
ータ１１は画像メモリ１５への書き込みを禁止するので
画像表示用ＣＲＴ１４にはフリーズされた画像が表示さ
れる。
【００１２】以上述べたように本実施例によれば、予め
設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合には
自動的にビームブランキングするので、オペレータはビ
ームブランキングのタイミングを気にしながら操作しな
くても良くなるので、余計な負担を軽減でき操作性を向
上できるとともにビーム照射による試料の損傷の防止や
チャージアップの防止をすることもできる。
設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合には
自動的にビームブランキングするので、オペレータはビ
ームブランキングのタイミングを気にしながら操作しな
くても良くなるので、余計な負担を軽減でき操作性を向
上できるとともにビーム照射による試料の損傷の防止や
チャージアップの防止をすることもできる。
【００１３】また、予め設定する連続ビーム照射禁止時
間は、試料６の観察条件、例えば、試料６の材質により
チャージアップ等の度合いが違うので、予め観察する試
料ごとに連続ビーム照射禁止時間をコンピュータ１１に
記憶させておき、観察時に試料によりその条件が設定で
きるようにすることでさらに、操作性を向上させること
ができる。
間は、試料６の観察条件、例えば、試料６の材質により
チャージアップ等の度合いが違うので、予め観察する試
料ごとに連続ビーム照射禁止時間をコンピュータ１１に
記憶させておき、観察時に試料によりその条件が設定で
きるようにすることでさらに、操作性を向上させること
ができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、ビーム照射開始後予め
設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合に
は、自動的にビーム照射をＯＦＦするので、オペレータ
はビームブランキングを気にしながら操作しなくても良
くなるので、余計な負担を軽減でき操作性を向上できる
とともにビーム照射による試料の損傷の防止やチャージ
アップを防止させる効果がある。
設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合に
は、自動的にビーム照射をＯＦＦするので、オペレータ
はビームブランキングを気にしながら操作しなくても良
くなるので、余計な負担を軽減でき操作性を向上できる
とともにビーム照射による試料の損傷の防止やチャージ
アップを防止させる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す走査電子顕微鏡のブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明の実施例のフロー図である。
１…電子銃、２…電子ビーム、８…ビームブランキング
発生回路、１１…コンピュータ、１２…ビーム照射スイ
ッチ、１７…ＣＲＴ。
発生回路、１１…コンピュータ、１２…ビーム照射スイ
ッチ、１７…ＣＲＴ。
Claims (1)
- 【請求項１】ビーム照射後の経過時間をモニタする手段
と、ビーム照射をＯＮあるいはOFFする手段と、連続ビ
ーム照射禁止時間を設定する手段とを有する走査電子顕
微鏡において、ビーム照射後の経過時間をモニタする手
段によりビーム照射後の経過時間を計測し、前記ビーム
照射後の経過時間が任意の予め設定した連続ビーム照射
禁止時間以上経過した場合には、ビーム照射を自動的に
ＯＦＦするようにしたことを特徴とする走査電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5056774A JPH06267467A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5056774A JPH06267467A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06267467A true JPH06267467A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=13036810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5056774A Pending JPH06267467A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06267467A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0758140A2 (en) * | 1995-08-07 | 1997-02-12 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
-
1993
- 1993-03-17 JP JP5056774A patent/JPH06267467A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0758140A2 (en) * | 1995-08-07 | 1997-02-12 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
| EP0758140A3 (en) * | 1995-08-07 | 1997-11-05 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
| US5912462A (en) * | 1995-08-07 | 1999-06-15 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
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