JPH0525654U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】フラッシングを常に一定間隔で行えるようにす
るにはフラッシングスイッチ１８が押されるとコンピュ
ータ１６ではフラッシング実行後の経過時間をモニタ
し、予め設定したフラッシング要求時間以上経過した場
合はフラッシング要求装置１９にフラッシング要求を表
示したり、さらには、自動的に高電圧印加をOFFしたり
することで実施する。 【効果】フラッシング要求時間を自動的に知ることがで
き、さらに常に一定間隔でフラッシングを実施できるよ
うになるので、オペレータの余計な負担を軽減でき、ま
た、電子銃の破損等の問題も軽減でき、操作性、電子銃
の品質を向上させる効果がある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡およびその類似装置において、フ ラッシング（陰極表面の吸着ガスの離脱を行うこと）を定期的に実行するのに好 適な冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の装置は、特開平1−187749 号に記載のように電子銃そのものの制御法に ついては記述はあるが、定期的に陰極表面の吸着ガスの離脱のために実行するフ ラッシングのタイミングについてはオペレータに委ねられていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来技術は、フラッシング実行についてはストップウォッチ等で時間を計 測し一定時間経過したらフラッシング実行、あるいは、装置使用開始時フラッシ ング実行するなど、フラッシング実行の時期は、オペレータに委ねられており、 フラッシング実行の時期については配慮されておらず、操作性の点やフラッシン グ実行のタイミングによっては電子銃の破損等につながる場合があるなど電子銃 の品質の点で問題があった。

【０００４】 本考案の目的は、フラッシング実行の時期をオペレータに自動的に報告し、オ ペレータの余計な負担を軽減し操作性を向上させることにある。

【０００５】 本考案の他の目的は、フラッシングを定期的に実行しなければならないように することで、電子銃の破損等の問題を軽減し電子銃の品質を向上させることにあ る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、請求項１に関してはフラッシング要求時間以上経 過した場合には、フラッシング実行の時期をオペレータに自動的に報告すること で達成される。

【０００７】 また、請求項２に関しては、請求項１に記載したフラッシング要求時間以上経 過した場合には、更に予め設定した時間以上経過してもオペレータが高電圧印加 制御部をＯＦＦしなかった時は強制的に高電圧印加制御部をＯＦＦし、その後は フラッシングを実行しなければ高電圧印加制御部をＯＮできないようにすること で達成される。

【０００８】

【作用】

予め設定したフラッシング要求時間以上経過した場合には、フラッシング実行 の時期をオペレータが自動的に知ることができるので、オペレータの余計な負担 を軽減し操作性を向上させることができる。

【０００９】 また、予め設定したフラッシング要求時間以上経過した場合には、更に予め設 定した時間以上経過してもオペレータが高電圧印加制御部をＯＦＦしなかった時 は強制的に高電圧印加ＯＦＦし、その後はフラッシングを実行しないと高電圧印 加制御部をＯＮできないようになるので、電子銃の破損等の問題を軽減し電子銃 の品質を向上させることができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図１により説明する。電子銃１により放出された電 子ビーム２は、対物レンズ４により細く絞られ試料５に照射される。対物レンズ ４は対物レンズ電源７により励磁される。

【００１１】 また、偏向信号発生器９によって発生する偏向信号は、コンピュータ１６によ り試料５上の操作範囲を変更でき、偏向増幅器６によって偏向コイル３ａ，３ｂ を励磁し、電子ビーム２を試料５上で２次元走査する。この走査範囲によって倍 率が決定する。

【００１２】 さらに、この時、試料５に入射した電子ビーム２により発生した信号（２次電 子、反射電子など）は、検出器８により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ偏向器１０ によりアナログ信号からディジタル信号に変換され画像メモリ１１に記憶される 。この画像メモリ１１はＤ／Ａ偏向器１２によりディジタル信号からアナログ信 号に変換されたが像表示用ＣＲＴの輝度信号としてグリッドに印加される。この とき、Ａ／Ｄ変換器１０、画像メモリ１１、Ｄ／Ａ変換器１２は、Ａ／Ｄ変換し て画像表示するためのタイミング信号を偏向信号発生器９により受ける。また、 画像表示用ＣＲＴ１４の偏向コイル１３は偏向信号発生器９の偏向信号に基づい て偏向増幅器１５により励磁される。

【００１３】 一方、電子銃１は、陰極１ａ，第一陽極１ｂ，第二陽極１ｃから構成される。 高電圧印加スイッチ１７が押されると、コンピュータ１６により高電圧制御回路 ２１が選択され、陰極１ａと第一陽極１ｂ間には、引出電圧が印加され、陰極 １ａより電子ビーム２が放出される。さらに、陰極１ａと第二陽極１ｃに加速電 圧が印加され、電子ビーム２は加速される。

【００１４】 また、フラッシングスイッチ１８が押されると、コンピュータ１６によりフラ ッシング制御回路２０が選択され、陰極１ａは陰極表面の吸着ガスの離脱のため に表面の清浄化が行われる。さらに、フラッシングスイッチ１８が押されると、 コンピュータ１６では、フラッシング実行後の経過時間をモニタし始める。また 、フラッシング要求時には、コンピュータ１６により、フラッシング要求表示装 置１９が選択され、フラッシング要求が表示される。

【００１５】 以上のような構成において特許請求項１の一実施例として、図２に示すように 、フラッシングスイッチ１８を押すと、フラッシング実行後コンピュータ１６は フラッシング実行後の経過時間をモニタを開始し、予め設定したフラッシング要 求時間以上経過した場合には、コンピュータ１６によりフラッシング要求表示装 置１９を選択し、例えば、パトライトを点滅させオペレータにフラッシングの時 期を知らせることで実施できる。

【００１６】 以上述べたように本実施例によれば、予め設定したフラッシング要求時間以上 経過した場合には自動的にフラッシングを要求する表示がでるので、オペレータ はフラッシングの時期を気にしながら操作しなくても良くなるので、余計な負担 を軽減でき操作性を向上できる。

【００１７】 本実施例では、フラッシング要求表示装置１９を設けフラッシングを要求する ための表示を行いオペレータに知らせていたが、画像表示用ＣＲＴ１４にフラッ シングを要求するための表示を重ねて表示するようにしても同等の効果が得られ る。

【００１８】 請求項２の一実施例として、図３に示すようにフラッシングスイッチ１８を押 すと、フラッシング実行後コンピュータ１６はフラッシング実行後の経過時間を モニタを開始し、予め設定したフラッシング要求時間以上経過した場合には更に 予め設定した時間以上経過した時はコンピュータ１６により自動的に高電圧制御 回路２１をＯＦＦし、その後高電圧印加スイッチ１７を押してもフラッシングス イッチ１８を押してフラッシング実行しないと高電圧印加スイッチ１７を有効に しないことで実施できる。

【００１９】 以上述べたように本実施例によれば、予め設定したフラッシング要求時間以上 経過した場合には更に予め設定した時間以上経過してもオペレータがフラッシン グを実行しなければ自動的に高電圧制御回路２１をＯＦＦするようになるので、 常に一定間隔でフラッシングができるようになり、電子銃の破損等の問題を軽減 できるので、電子銃の品質を向上できる。

【００２０】 さらに、前記請求項１，２の実施例を組み合わせることにより、フラッシング スイッチ１８を押してフラッシング実行後、予め設定したフラッシング要求時間 以上経過した場合には自動的にフラッシング要求の表示をするので、それに従い オペレータはフラッシングスイッチ１８を押してフラッシングを実行するが、も し、フラッシング要求表示があるにもかかわらず更に予め設定した時間以上フラ ッシングを実行しない場合は自動的に高電圧印加回路２１をＯＦＦし、その後高 電圧印加スイッチ１７を押したとしてもフラッシングスイッチ１８を押してフラ ッシングを実行しないと高電圧印加できないようになるので、オペレータはフラ ッシング実行の時期を気にしなくても自動的にフラッシング実行の時期を知るこ とができるので余計な負担を軽減でき操作性を向上できるとともに、常に一定間 隔でフラッシングができるようになり、電子銃１の破損等の問題を軽減できるの で電子銃の品質も向上できる。

【００２１】

【考案の効果】

本考案によれば、フラッシング実行後予め設定したフラッシング要強時間以上 経過した場合には、自動的にフラッシング要求の表示をするのでオペレータはフ ラッシング実行の時期を気にしなくても良くなるので、余計な負担を軽減でき操 作性を向上させる効果がある。

【００２２】 また、予め設定したフラッシング要求時間以上経過した場合には、更にフラッ シング要求表示があるにもかかわらず更に予め設定した時間以上フラッシングを 実行しない場合は自動的に高電圧印加をＯＦＦし、例え高電圧印加スイッチを押 したとしてもフラッシングを実行しないと高電圧印加できなくなるので、常に一 定間隔でフラッシングを実行するようになり、電子銃の破損等の問題を軽減でき 電子銃の品質を向上させる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す冷陰極電界放出型走査
電子顕微鏡のブロック図である。

【図２】本考案実施例のフロー図である。

【図３】他の実施例のフロー図である。

【符号の説明】

１…電子銃、２…電子ビーム、１４…ＣＲＴ、１６…コ
ンピュータ、１７…高電圧印加スイッチ、１８…フラッ
シングスイッチ、１９…フラッシング要求表示装置、２
０…フラッシング制御回路、２１…高電圧印加制御回
路。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】陰極より電子ビームを引き出す引出電極と
   放出電子ビームを加速する加速電極とを有する電子銃
   と、引出電極、加速電極にそれぞれ引出電圧、加速電圧
   を印加する高電圧制御手段と高電圧制御手段をＯＮある
   いはＯＦＦする手段と陰極を加熱するフラッシング手段
   と、フラッシング実行後の経過時間をモニタする手段
   と、フラッシング要求を表示する手段を有する冷陰極電
   界放出型走査電子顕微鏡において、前記フラッシング実
   行後の経過時間をモニタする手段によりフラッシング実
   行後の経過時間を計測し、前記経過時間が任意の予め設
   定したフラッシング要求時間以上経過した場合には、フ
   ラッシング要求を表示するようにしたことを特徴とする
   走査電子顕微鏡。
2. 【請求項２】請求項１記載の走査電子顕微鏡において、
   任意の予め設定したフラッシング要求時間以上経過した
   場合には、更に予め設定した時間経過後高電圧制御手段
   を自動的にＯＦＦし、その後はフラッシングを実行しな
   いと高電圧制御部をＯＮできなくしたことを特徴とする
   走査電子顕微鏡。