KR950025445A - 전자빔 테스터 및 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법 - Google Patents

전자빔 테스터 및 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법 Download PDF

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KR950025445A
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Abstract

본 발명은 고속의 디바이스 동작과 동기된 전위 콘트라스트상을 단시간에 취득함과 동시에, 정밀도 좋게 그 콘트라스트상 간의 매칭을 취한다.
디바이스 입력 장치에 의해 디바이스에 신호를 입력하고, 전자빔 테스트에 트리거 신호를 입력하고, 설계 데이타로부터 레이아웃의 배선 패턴을 디스플레이 표시하고, 디바이스 동작중인 배선에서의 소정의 측정점에 조사 수단에 의해 빔을 조사하고, 이 조사된 측정점으로부터 방출되는 2차 전자량을 검출기에 의해 검출하고, 이 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 도시되지 않은 연산 수단에 의해 연산하고, 이 연산 수단에서 얻어진 전위 정보를 상기 레이아웃의 배선 패턴에 중첩시켜서 표시한다. 따라서, 고속의 디바이스 동작과 동기된 전위 콘트라스트상을 단시간에 취득할 수 있고 동시에, 정밀도 좋게 그 콘트라스트상 간의 매칭을 취할 수 있다.

Description

전자빔 테스터 및 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1 내지 제8실시예에 따른 전자빔 테스터를 도시한 구성도,
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 전자빔 테스터의 테스트 방법의 순서를 도시한 흐름도,
제3도는 본 발명의 제1실시예에 따른 전자빔 테스터를 이용한 디바이스의 제1테스트 방법을 설명하는 도면.

Claims (7)

  1. 디바이스에 소정의 신호를 입력하는 신호 입력 수단과, 설계 데이티로부터 레이아웃의 배선 패턴을 디스플레이에 표시하는 제1표시수단과, 상기 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하는 조사 수단과, 상기 전자빔이 조사된 측정점으로부터 방출되는 2차 전자량을 검출하는 검출수단과, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하는 연산 수단과, 상기 연산수단에서 얻어진 전위 정오를 상기 레이아웃의 배선 패턴에 중첩시켜서 표시하는 제2표시수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스트.
  2. 디바이스에 소정의 신호를 입력하는 신호 입력 수단과, 상기 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하는 조사 수단과, 상기 전자빔이 조사된 측정점으로부터 방출되는 2차전자량을 검출하는 검출수단과, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하는 연산수단과, 상기 연산 수단에서 얻어진 정보를 미리 준비된 상기 디바이스의 레이아웃 배서 패턴의 데이타에 대응시켜서 연속한 배선 영역을 전위 분포로 간주하는 데이타 처리 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터.
  3. 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하는 조사수단과, 상기 측정점으로부터 방출된 2차 전자량을 소정의 동작 타이밍시에 검출하는 검출수단과, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하는 연산 수단과, 상기 연산 수단에서 얻어진 전위를 상기 디바이스의 레이아웃의 배선 패턴중 특정 배선 부분에 중첩시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터.
  4. 디바이스에 소정의 신호를 입력하고, 설계 데이타로부터 레이아웃의 배선 패턴을 디스플레이에 표시하고, 상기 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하고, 상기 조사된 측정점으로부터 방출되는 2차 전자량을 검출하고, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하고, 상기 연산으로 얻어진 전위 정보를 상기 레이아웃의 배선 패턴에 중첩시켜서 표시하는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법.
  5. 디바이스에 소정의 신호를 입력하고, 상기 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하고, 상기 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하고, 상기 전자빔이 조사된 측정점으로부터 방출되는 2차 전자량을 검출하고, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하고, 상기 연산 수단에서 얻어진 정보를 미리 준비된 상기 디바이스의 레이아웃 배선 패턴의 데이터에 대응시켜서 연속된 배선 영역의 전위 분포로 간주하는 데이타 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법.
  6. 디바이스 동작중인 배선에 있어서의 임의의 측정점에 전자빔을 조사하고, 상기 측정점으로부터 방출된 2차 전자량을 소정의 동작 타이밍시에 검출하고, 상기 검출된 2차 전자량에 대응한 상기 측정점의 전위를 연산하고, 상기 연산으로 얻어진 전위를 상기 디바이스의 레이아웃 배선 패턴 중 특정 배선 부분에 중첩시키는 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 측정점은 복수점인 것을 특징으로 하는 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950002401A 1994-02-10 1995-02-10 전자빔 테스터 및 전자빔 테스터를 사용하는 테스트 방법 KR0164920B1 (ko)

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