JP2011185633A - 電子部品の検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品の検査装置であって、当該検査装置は、電子部品における故障発生が疑われる配線に接続するための電流検出端子106と、電流検出端子106に接続されており、配線に生じた電流を検出する電流検出器105と、電流検出端子106と電流検出器105との間に設けられ、電流を通過させるか否かをゲートの開閉により切り替えるゲーティング装置112と、電子ビームを生成する電子銃101と、電子ビームをパルス化するパルスビーム発生装置111と、パルス化された電子ビームを配線に照射した際に生じた電流を電流検出器105により検出する際に、ゲーティング装置112のゲートの開閉を調整するゲーティング調整装置113とを備える。
【選択図】図1
Description
図7は、パルス電流の生成及びゲーティングの詳細について説明するためのタイミングチャート及び波形図である。
図9は、電子ビーム103の走査方法について説明するための図である。
以下、パルス電流のゲーティング方法の2つの例について説明する。第1の例では、ゲーティング装置112のゲートタイミングを、上述のように、予め定められた初期設定値に固定する。一方、第2の例では、ゲーティング装置112のゲートタイミングを、パルス電流の遅延量に応じて変化させる。
ここで、電子ビーム103を点Y0(図7)に照射した際に、パルス電流の検出量が最大量となるよう、ゲート幅及びゲートタイミングを調整する方法の例について説明する。本方法は、図11に示す第2の例において、パルス電流F2Aやパルス電流F2Bを検出する際のゲート幅及びゲートタイミングの調整にも適用可能である。
102 偏向装置
103 電子ビーム
104 真空試料室
105 吸収電流アンプ
106 電流検出端子
107 半導体装置
108 偏向制御装置
109 制御用計算機
110 表示装置
111 パルスビーム発生装置
112 ゲーティング装置
113 ゲーティング調整装置
201 加速電圧
202 電気抵抗
203 定電流源
Claims (7)
- 電子部品の検査方法であって、
電流検出端子にゲーティング装置を介して接続された電流検出器を用意し、
前記電子部品における故障発生が疑われる配線に、前記電流検出端子を接続し、
前記配線上に、電子ビームをパルス化して照射し、
前記電子ビームを前記配線に照射した際に生じた電流を、前記ゲーティング装置のゲートの開閉を調整しつつ、前記電流検出器により検出する、
ことを特徴とする電子部品の検査方法。 - 更に、前記電子ビームの照射位置と、前記電流検出器により検出された前記電流と、の関係を画像として表現した電流像を生成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の検査方法。 - 前記電子ビームのパルス幅は、前記電子ビームが前記電流像の1画素分の領域に滞留する期間よりも短く設定される、
ことを特徴とする請求項2に記載の電子部品の検査方法。 - 前記電子ビームにより生じた前記電流は、前記ゲートのゲート幅及びゲートタイミングを調整しつつ検出される、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の電子部品の検査方法。 - 前記電子ビームにより生じた前記電流は、前記ゲートタイミングを、前記電子ビームの照射位置に依存しないタイミングに調整しつつ検出され、
前記電流像は、前記電子ビームの照射位置と、前記電流の検出量との関係を画像として表現したものであることを特徴とする請求項2に記載の電子部品の検査方法。 - 前記電子ビームにより生じた前記電流は、前記電流の検出量が最大値となるよう、前記ゲートタイミングを前記電流の検出値に基づいて調整しつつ検出され、
前記電流像は、前記電子ビームの照射位置と、前記電流の検出量が最大値となる前記ゲートタイミングとの関係を画像として表現したものであることを特徴とする請求項2に記載の電子部品の検査方法。 - 電子部品の検査装置であって、
前記電子部品における故障発生が疑われる配線に接続するための電流検出端子と、
前記電流検出端子に接続されており、前記配線に生じた電流を検出する電流検出器と、
前記電流検出端子と前記電流検出器との間に設けられ、前記電流を通過させるか否かをゲートの開閉により切り替えるゲーティング装置と、
電子ビームを生成する電子銃と、
前記電子ビームをパルス化するパルスビーム発生装置と、
パルス化された前記電子ビームを前記配線に照射した際に生じた電流を前記電流検出器により検出する際に、前記ゲーティング装置の前記ゲートの開閉を調整するゲーティング調整装置と、
を備えることを特徴とする電子部品の検査装置。
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