KR970002477A - 변형노광장치 및 노광방법 - Google Patents

변형노광장치 및 노광방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 변형노광장치 및 노광방법에 관한 것으로서, 사점조명계와 고리 조명계를 결합한 상태의 조명계에 관한 것이다. 본 발명의 변형노광장치는 광원부, 상기 광원부에서 발산하는 빛을 제한하는 조절부, 상기 조절부에서 나온 빛을 굴절 및 회절시키는 굴절 및 회절부, 상기 굴절 및 회절부에서 나오는 빛을 웨이퍼 상에 집광시키는 집광부로 구비되는 변형노광장치에 있어서, 상기 조절부가 8개의 노광구를 갖는 필터(구경스톱:A.S)로 구비된다.
본 발명에 의하면 해상도를 종래의 변형노광 이상으로 유지하면서 상 형성면(또는 웨이퍼) 상에 광에너지의 세기분포를 균일하게 형성된다. 또한 마스크패턴을 통과하는 빛의 이미지 형성정보를 균일하게 하므로서, 양호한 콘택패턴을 얻을수 있고 프락시머티 효과(proximity effect)도 줄일 수 있다.

Description

변형노광장치 및 노광방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명에 의한 변형노광장치를 나타내는 도면이다.

Claims (5)

  1. 광원부, 상기 광원부에서 발산하는 빛을 제한하는 조절부, 상기 조절부에서 나온 빛을 굴절 및 회절시키는 굴절 및 회절부, 상기 굴절 및 회절부에서 나오는 빛을 웨이퍼 상에 집광시키는 집광부로 구비되는 변형노광장치에 있어서, 상기 조절부가 8개의 노광구를 갖는 필터(구경스톱:A.S)로 구비되는 것을 특징으로 하는 변형노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 필터는 종래의 사점필터(quadrupole filter)와 원환필터(annular filter)의 조합으로 구성된 것을 특징으로 하는 변형노광장치.
  3. 변형노광장치를 이용하는 노광방법에 있어서, 광원으로부터 발산하는 빛을 근축광(near off axis lighr)과 원축광(far off axis light)으로 발생시키는 단계; 상기 근축광 및 원축광을 마스크패턴에 사입사(oblique incident)시키는 단계; 및 상기 마스크 패턴으로부터 나오는 빛을 웨이퍼 상에 집광시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 변형노광장치의 노광방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 근축광 및 원축광은 8개의 노광구를 갖는 필터(또는 구경스톱:aperture stop)를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 변형노광장치의 노광방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 필터는 사점필터 및 원환필터를 조합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 변형노광장치의 노광방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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