JP2000250100A - 光学測定機用照明装置 - Google Patents
光学測定機用照明装置Info
- Publication number
- JP2000250100A JP2000250100A JP11052649A JP5264999A JP2000250100A JP 2000250100 A JP2000250100 A JP 2000250100A JP 11052649 A JP11052649 A JP 11052649A JP 5264999 A JP5264999 A JP 5264999A JP 2000250100 A JP2000250100 A JP 2000250100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- optical
- optical axis
- irradiation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
- G02B21/084—Condensers for incident illumination only having annular illumination around the objective
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V17/00—Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages
- F21V17/02—Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages with provision for adjustment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
- F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
- F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】構造が簡単であり、しかも、被測定物への照射
角度を簡単に変えることができる光学測定機用照明装置
を提供すること。 【解決手段】光発生手段４１からの照明光を被測定物２
５に向かって集光させる照射角度可変手段４２が集光レ
ンズ４４という簡単な構造の光学部材を備えて構成され
る。この集光レンズ４４が光学系３７の光軸に沿って移
動可能とされることで被測定物２５への照明光の照射角
度を簡単に変更することができる。
角度を簡単に変えることができる光学測定機用照明装置
を提供すること。 【解決手段】光発生手段４１からの照明光を被測定物２
５に向かって集光させる照射角度可変手段４２が集光レ
ンズ４４という簡単な構造の光学部材を備えて構成され
る。この集光レンズ４４が光学系３７の光軸に沿って移
動可能とされることで被測定物２５への照明光の照射角
度を簡単に変更することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学系によって得
られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
測定する画像処理型測定機やその他の光学測定機に使用
される照明装置に関する。詳しくは、光学系の光軸に対
して傾斜した方向から照明光を被測定物に照射する照明
装置の改良に関する。
られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
測定する画像処理型測定機やその他の光学測定機に使用
される照明装置に関する。詳しくは、光学系の光軸に対
して傾斜した方向から照明光を被測定物に照射する照明
装置の改良に関する。
【０００２】
【背景技術】拡大光学系によって被測定物の測定部位を
光学的に拡大し、その拡大画像から被測定物の寸法や形
状などを測定する画像処理型測定機、例えば、工具顕微
鏡、投影機、視認型三次元測定機等では、被測定物の拡
大画像を得る上で被測定物に対する照明がきわめて重要
な役割を果たす。
光学的に拡大し、その拡大画像から被測定物の寸法や形
状などを測定する画像処理型測定機、例えば、工具顕微
鏡、投影機、視認型三次元測定機等では、被測定物の拡
大画像を得る上で被測定物に対する照明がきわめて重要
な役割を果たす。
【０００３】従来、画像処理型測定機における照明方式
として、被測定物に対してほぼ真上から照明光を被測定
物に照射する垂直落射照明方式が知られている。しか
し、垂直落射照明方式は、形状が比較的簡単な被測定物
を測定するときに用いられる場合が多く、複雑な形状の
被測定物、例えば、エッジ部を数多く有する階段状の被
測定物の測定では、そのエッジ部の影を表示装置などに
鮮明に描写できない場合がある。
として、被測定物に対してほぼ真上から照明光を被測定
物に照射する垂直落射照明方式が知られている。しか
し、垂直落射照明方式は、形状が比較的簡単な被測定物
を測定するときに用いられる場合が多く、複雑な形状の
被測定物、例えば、エッジ部を数多く有する階段状の被
測定物の測定では、そのエッジ部の影を表示装置などに
鮮明に描写できない場合がある。
【０００４】そこで、これを解決するものとして、拡大
光学系の光軸に対して所定の角度で傾斜した方向から照
明光を被測定物に照射することで、エッジ部の影を鮮明
に検出できるようにした照明装置が提案されている。例
えば、ファイバー照明装置から光軸と平行に照射される
照射光を光学系の光軸と略直交する方向に反射させるパ
ラボラ型のミラーと、このミラーで反射された照射光を
被測定物に向かって集光させるリング型のミラーとを備
えた従来例１がある。この従来例１では、パラボラ型ミ
ラーの照明装置に対する進退量を調整するとともに、リ
ング型ミラーの光軸上での相対位置を調整することで被
測定部に対する照射角度を変更する。
光学系の光軸に対して所定の角度で傾斜した方向から照
明光を被測定物に照射することで、エッジ部の影を鮮明
に検出できるようにした照明装置が提案されている。例
えば、ファイバー照明装置から光軸と平行に照射される
照射光を光学系の光軸と略直交する方向に反射させるパ
ラボラ型のミラーと、このミラーで反射された照射光を
被測定物に向かって集光させるリング型のミラーとを備
えた従来例１がある。この従来例１では、パラボラ型ミ
ラーの照明装置に対する進退量を調整するとともに、リ
ング型ミラーの光軸上での相対位置を調整することで被
測定部に対する照射角度を変更する。
【０００５】また、ファイバー照明装置から照射される
照射光を光学系の光軸から離れる方向に屈折させるリン
グ状のコンデンサレンズと、このコンデンサレンズで屈
折した照射光を被測定物に向かって集光させるリング状
反射部材とを備えた従来例２（実開平7-23208号）があ
る。この従来例２では、リング状反射部材は光軸を中心
とする円周上に順次一部が重なった状態で配置された複
数の花びら状ミラー片を備え、このミラー片の端部が開
閉することで被測定物への照射角度を変更する構成とさ
れる。
照射光を光学系の光軸から離れる方向に屈折させるリン
グ状のコンデンサレンズと、このコンデンサレンズで屈
折した照射光を被測定物に向かって集光させるリング状
反射部材とを備えた従来例２（実開平7-23208号）があ
る。この従来例２では、リング状反射部材は光軸を中心
とする円周上に順次一部が重なった状態で配置された複
数の花びら状ミラー片を備え、このミラー片の端部が開
閉することで被測定物への照射角度を変更する構成とさ
れる。
【０００６】さらに、光を照射するために被測定物に向
けたＬＥＤを光軸の周りに複数備え、これらのＬＥＤの
点灯位置を制御することで照射角度を変更する従来例３
がある。また、光学系周辺にリング状レンズを配置し、
その上部で光源をレンズの径方向に移動させることで被
測定物へ照明する光の角度を調整する従来例４がある。
けたＬＥＤを光軸の周りに複数備え、これらのＬＥＤの
点灯位置を制御することで照射角度を変更する従来例３
がある。また、光学系周辺にリング状レンズを配置し、
その上部で光源をレンズの径方向に移動させることで被
測定物へ照明する光の角度を調整する従来例４がある。
【０００７】さらに、対物レンズの光軸から離れた対物
レンズ周縁部を介して被測定物に向けて照明光を斜めに
照射する従来例５（特開平8-166514号）がある。また、
光源から照射される照明光を反射する反射ミラーと、こ
のミラーで反射された照射光を被測定物に向かって集光
させる固定式のフルネルレンズとを備えた従来例６があ
る。
レンズ周縁部を介して被測定物に向けて照明光を斜めに
照射する従来例５（特開平8-166514号）がある。また、
光源から照射される照明光を反射する反射ミラーと、こ
のミラーで反射された照射光を被測定物に向かって集光
させる固定式のフルネルレンズとを備えた従来例６があ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来例１では、ファイ
バー照明装置からの照射光を２組のミラーで所定の反射
光とするために、各ミラーの反射面を断面放物線に形成
しなければならない。そのため、高度な反射面加工が必
要となり、製造コストがアップするという問題点があ
る。さらに、両ミラーを相対的に移動させるには複雑な
移動機構が必要とされ、この点からも製造コストが高い
ものになる。従来例２では、リング状反射部材は複数の
花びら状ミラー片を備えた複雑な構造とされており、全
てのミラー片を同期作動させることでリング状反射部材
を開閉するため、被測定物への照射光の調整が困難であ
るという問題点がある。
バー照明装置からの照射光を２組のミラーで所定の反射
光とするために、各ミラーの反射面を断面放物線に形成
しなければならない。そのため、高度な反射面加工が必
要となり、製造コストがアップするという問題点があ
る。さらに、両ミラーを相対的に移動させるには複雑な
移動機構が必要とされ、この点からも製造コストが高い
ものになる。従来例２では、リング状反射部材は複数の
花びら状ミラー片を備えた複雑な構造とされており、全
てのミラー片を同期作動させることでリング状反射部材
を開閉するため、被測定物への照射光の調整が困難であ
るという問題点がある。
【０００９】また、従来例３では、照射角度を変更する
ために、多数のＬＥＤが必要とされ、製造コストが高い
ものになるだけでなく、発熱等に起因する不都合も生じ
る。さらに、従来例４では、大きな照射角度を得るため
にリング状レンズが大型化してしまうので、照射角度の
変更に制限がある。その上、光源としてリング状のファ
イバー照明を用いる場合には照射角度を変更できない。
そのため、ストレート状のファイバー照明を用いなけれ
ばならないが、それでは、円筒状の被測定物を測定する
に際して、照明ムラを起こすこともある。
ために、多数のＬＥＤが必要とされ、製造コストが高い
ものになるだけでなく、発熱等に起因する不都合も生じ
る。さらに、従来例４では、大きな照射角度を得るため
にリング状レンズが大型化してしまうので、照射角度の
変更に制限がある。その上、光源としてリング状のファ
イバー照明を用いる場合には照射角度を変更できない。
そのため、ストレート状のファイバー照明を用いなけれ
ばならないが、それでは、円筒状の被測定物を測定する
に際して、照明ムラを起こすこともある。
【００１０】また、従来例５では対物レンズの直径寸法
等から照射角度が一義的に決定するので、照射角度を変
更できないという問題点がある。さらに、従来例６で
は、フルネルレンズが固定されているため、従来例５と
同様に、照射角度を変更できないという問題点がある。
等から照射角度が一義的に決定するので、照射角度を変
更できないという問題点がある。さらに、従来例６で
は、フルネルレンズが固定されているため、従来例５と
同様に、照射角度を変更できないという問題点がある。
【００１１】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、構造が簡単であり、しかも、被測定物への照射
角度を簡単に変えることができる光学測定機用照明装置
を提供することにある。
解消し、構造が簡単であり、しかも、被測定物への照射
角度を簡単に変えることができる光学測定機用照明装置
を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は光発
生手段からの照明光を集光レンズで屈折させて光軸上に
集光させるとともに、この集光レンズを光軸上に沿って
移動することで照射角度を変更することで前記目的を達
成しようとするものである。具体的には、本発明の光学
測定機用照明装置は、光学系の光軸を中心として外方へ
放射状に照明光を発生する光発生手段と、前記光学系の
光軸と同心で、かつ、前記光発生手段からの照明光を被
測定物に向かって集光させる照射角度可変手段とを備え
た光学測定機用照明装置であって、前記照射角度可変手
段は、前記光発生手段からの照明光を屈折させて前記光
軸上に集光させるとともに前記光軸上に沿って移動自在
とされた集光レンズを備えたことを特徴とする。
生手段からの照明光を集光レンズで屈折させて光軸上に
集光させるとともに、この集光レンズを光軸上に沿って
移動することで照射角度を変更することで前記目的を達
成しようとするものである。具体的には、本発明の光学
測定機用照明装置は、光学系の光軸を中心として外方へ
放射状に照明光を発生する光発生手段と、前記光学系の
光軸と同心で、かつ、前記光発生手段からの照明光を被
測定物に向かって集光させる照射角度可変手段とを備え
た光学測定機用照明装置であって、前記照射角度可変手
段は、前記光発生手段からの照明光を屈折させて前記光
軸上に集光させるとともに前記光軸上に沿って移動自在
とされた集光レンズを備えたことを特徴とする。
【００１３】この構成の本発明では、光発生手段から発
生した照明光は照射角度可変手段を構成する集光レンズ
によって被測定物に照射される。ここで、被測定物に対
する照明光の照射角度を変える場合には、集光レンズを
光軸に沿って移動させる。例えば、被測定物に照射され
る照明光の照射角度を小さくするには、集光レンズを光
発生手段の近接位置に置く。すると、光発生手段で発生
した照明光は、集光レンズの中央部で屈折されて小さな
角度で被測定物に照射される。これに対して、照射角度
を大きくするには、集光レンズを光発生手段から離隔し
た位置に置く。すると、光発生手段で発生した照明光
は、集光レンズの周縁部で屈折されて大きな角度で被測
定物に照射される。従って、照射角度変更手段を集光レ
ンズという簡単な構成とし、この集光レンズを光軸上に
沿って移動することで照明光の照射角度を簡単に変更す
ることができる。
生した照明光は照射角度可変手段を構成する集光レンズ
によって被測定物に照射される。ここで、被測定物に対
する照明光の照射角度を変える場合には、集光レンズを
光軸に沿って移動させる。例えば、被測定物に照射され
る照明光の照射角度を小さくするには、集光レンズを光
発生手段の近接位置に置く。すると、光発生手段で発生
した照明光は、集光レンズの中央部で屈折されて小さな
角度で被測定物に照射される。これに対して、照射角度
を大きくするには、集光レンズを光発生手段から離隔し
た位置に置く。すると、光発生手段で発生した照明光
は、集光レンズの周縁部で屈折されて大きな角度で被測
定物に照射される。従って、照射角度変更手段を集光レ
ンズという簡単な構成とし、この集光レンズを光軸上に
沿って移動することで照明光の照射角度を簡単に変更す
ることができる。
【００１４】ここで、本発明では、前記集光レンズは環
状レンズとしてもよい。この構成では、被測定物に反射
された照明光は環状レンズに遮られることなく光学系の
光軸を通って光学系で観察されるので、適正な測定を確
保することができる。さらに、前記集光レンズは複数枚
から構成されるものでもよい。これらの集光レンズを光
軸に沿って並べるとともに、これらの相対距離を調整す
ることで、被測定物への照射角度の微調整をすることが
できる。
状レンズとしてもよい。この構成では、被測定物に反射
された照明光は環状レンズに遮られることなく光学系の
光軸を通って光学系で観察されるので、適正な測定を確
保することができる。さらに、前記集光レンズは複数枚
から構成されるものでもよい。これらの集光レンズを光
軸に沿って並べるとともに、これらの相対距離を調整す
ることで、被測定物への照射角度の微調整をすることが
できる。
【００１５】また、前記光発生手段は、前記光軸を中心
としたリング状に形成されたファイバー照明を備えた構
成、あるいは、前記光軸を中心としたリング状に形成さ
れたＬＥＤ照明を備えた構成である。これらの構成で
は、ファイバー照明やＬＥＤ照明を選択的に点灯・消灯
することで光量調整や照射位置が容易に変更することが
できる。
としたリング状に形成されたファイバー照明を備えた構
成、あるいは、前記光軸を中心としたリング状に形成さ
れたＬＥＤ照明を備えた構成である。これらの構成で
は、ファイバー照明やＬＥＤ照明を選択的に点灯・消灯
することで光量調整や照射位置が容易に変更することが
できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の照明装置について
好適な実施形態を挙げ、添付図面を参照しながら詳細に
説明する。なお、以下の説明にあたって、同一構成要件
については、同一符号を付し、その説明を省略もしくは
簡略化する。 ［第１実施形態］第１実施形態が図１から図４に示され
ている。図１では本発明を画像処理型測定機に適用した
例が示されている。同画像処理型測定機１０は、大きく
分けて、顕微鏡２０と、画像表示装置９０とから構成さ
れている。
好適な実施形態を挙げ、添付図面を参照しながら詳細に
説明する。なお、以下の説明にあたって、同一構成要件
については、同一符号を付し、その説明を省略もしくは
簡略化する。 ［第１実施形態］第１実施形態が図１から図４に示され
ている。図１では本発明を画像処理型測定機に適用した
例が示されている。同画像処理型測定機１０は、大きく
分けて、顕微鏡２０と、画像表示装置９０とから構成さ
れている。
【００１７】顕微鏡２０は、水平部２１Ａ及び起立部２
１Ｂを有する側面Ｌ字形の支持台２１を含む。支持台２
１の水平部２１Ａ上には、上面に被測定物２５を載置す
る載物台２２が設置されている。載物台２２は、水平面
内における直交二軸方向、つまり、左右方向（Ｘ軸方
向）及び前後方向（Ｙ軸方向）へそれぞれ移動可能なＸ
−Ｙテーブルから構成され、かつ、各軸方向の移動量が
Ｘ軸マイクロメータヘッド２３及びＹ軸マイクロメータ
ヘッド２４により設定または計測できるようになってい
る。
１Ｂを有する側面Ｌ字形の支持台２１を含む。支持台２
１の水平部２１Ａ上には、上面に被測定物２５を載置す
る載物台２２が設置されている。載物台２２は、水平面
内における直交二軸方向、つまり、左右方向（Ｘ軸方
向）及び前後方向（Ｙ軸方向）へそれぞれ移動可能なＸ
−Ｙテーブルから構成され、かつ、各軸方向の移動量が
Ｘ軸マイクロメータヘッド２３及びＹ軸マイクロメータ
ヘッド２４により設定または計測できるようになってい
る。
【００１８】支持台２１の起立部２１Ｂには、上下動つ
まみ２６を有する上下動ガイド２７が設けられている。
上下動ガイド２７には、上下動つまみ２６の回動操作に
よって、図示しないラックやピニオンなどを介して上下
動する側面コ字形の支持枠３１が上下動可能に支持され
ている。支持枠３１の前面開放側において、その左右両
端には図示しない円柱体がそれぞれ介装されているとと
もに、支持枠３１の開放側には平面コ字形のカバー３３
が取り付けられている。
まみ２６を有する上下動ガイド２７が設けられている。
上下動ガイド２７には、上下動つまみ２６の回動操作に
よって、図示しないラックやピニオンなどを介して上下
動する側面コ字形の支持枠３１が上下動可能に支持され
ている。支持枠３１の前面開放側において、その左右両
端には図示しない円柱体がそれぞれ介装されているとと
もに、支持枠３１の開放側には平面コ字形のカバー３３
が取り付けられている。
【００１９】支持枠３１の中心部には、結像光学系３７
が設けられている。結像光学系３７は、図２に示される
通り、支持枠３１の下方に突出した対物レンズ３４と、
この対物レンズ３４と同軸上に設けられた結像レンズ３
５と、この結像レンズ３５と同軸上に設けられかつ支持
枠３１上に突出したＣＣＤカメラ３６とから構成されて
いる。ＣＣＤカメラ３６には、配線コード３８を介して
画像表示装置９０が接続されている。
が設けられている。結像光学系３７は、図２に示される
通り、支持枠３１の下方に突出した対物レンズ３４と、
この対物レンズ３４と同軸上に設けられた結像レンズ３
５と、この結像レンズ３５と同軸上に設けられかつ支持
枠３１上に突出したＣＣＤカメラ３６とから構成されて
いる。ＣＣＤカメラ３６には、配線コード３８を介して
画像表示装置９０が接続されている。
【００２０】支持枠３１の下部には、本実施形態にかか
る光学測定機用照明装置４０が設けられている。この光
学測定機用照明装置４０は結像光学系３７の光軸を中心
として外方へ放射状の照明光を発生するリング状の光発
生手段４１と、結像光学系３７の光軸と同心で、かつ、
光発生手段４１からの照明光を被測定物２５に向かって
集光させる照射角度可変手段４２とを備えて構成されて
いる。
る光学測定機用照明装置４０が設けられている。この光
学測定機用照明装置４０は結像光学系３７の光軸を中心
として外方へ放射状の照明光を発生するリング状の光発
生手段４１と、結像光学系３７の光軸と同心で、かつ、
光発生手段４１からの照明光を被測定物２５に向かって
集光させる照射角度可変手段４２とを備えて構成されて
いる。
【００２１】光発生手段４１は、前記光軸を中心とする
リング状でかつ下方外側に向かって照明光を放射するフ
ァイバー照明５１と、このファイバー照明５１を支持枠
３１に取り付ける筒状部材４３とを備えている。これら
の筒状部材４３及びファイバー照明５１は、前記光軸と
同芯上に配置されており、その内周面と対物レンズ３４
の外周面との間には所定寸法の隙間が形成されている。
リング状でかつ下方外側に向かって照明光を放射するフ
ァイバー照明５１と、このファイバー照明５１を支持枠
３１に取り付ける筒状部材４３とを備えている。これら
の筒状部材４３及びファイバー照明５１は、前記光軸と
同芯上に配置されており、その内周面と対物レンズ３４
の外周面との間には所定寸法の隙間が形成されている。
【００２２】ファイバー照明５１は、図３に示される通
り、内部に環状空間を有するリング状部材５２と、この
リング状部材５２の環状空間内に束ねた状態で収納され
た複数本の光ファイバ５３とから構成されている。各光
ファイバ５３の先端５３Ａは、１本ずつリング状部材５
２の斜め下に向けて円環状に整列配列されている。な
お、各光ファイバ５３の基端側５３Ｂは、図示しない光
源まで導かれている。ファイバー照明５１は、各光ファ
イバー５３が選択的に点灯・消灯することで部分的に照
明光を発生させることができる構成である。
り、内部に環状空間を有するリング状部材５２と、この
リング状部材５２の環状空間内に束ねた状態で収納され
た複数本の光ファイバ５３とから構成されている。各光
ファイバ５３の先端５３Ａは、１本ずつリング状部材５
２の斜め下に向けて円環状に整列配列されている。な
お、各光ファイバ５３の基端側５３Ｂは、図示しない光
源まで導かれている。ファイバー照明５１は、各光ファ
イバー５３が選択的に点灯・消灯することで部分的に照
明光を発生させることができる構成である。
【００２３】照射角度可変手段４２は光発生手段４１か
らの照明光を屈折させて光軸上に集光させる１枚の集光
レンズ４４と、この集光レンズ４４を光軸上に沿って手
動又は自動で上下に移動させる図示しない移動機構とを
備えて構成されている。集光レンズ４４は、その軸芯が
前記光軸と一致する環状レンズであり、この集光レンズ
４４は対物レンズ３４と干渉しないようにするために、
その内周寸法が対物レンズ３４の外周寸法より大きく形
成されている。集光レンズ４４は、非球面、楕円、放
物、フレネル等の種々のレンズから構成されるが、光軸
上に照明光を集光できるものであれば、その種類は問わ
れない。
らの照明光を屈折させて光軸上に集光させる１枚の集光
レンズ４４と、この集光レンズ４４を光軸上に沿って手
動又は自動で上下に移動させる図示しない移動機構とを
備えて構成されている。集光レンズ４４は、その軸芯が
前記光軸と一致する環状レンズであり、この集光レンズ
４４は対物レンズ３４と干渉しないようにするために、
その内周寸法が対物レンズ３４の外周寸法より大きく形
成されている。集光レンズ４４は、非球面、楕円、放
物、フレネル等の種々のレンズから構成されるが、光軸
上に照明光を集光できるものであれば、その種類は問わ
れない。
【００２４】画像表示装置９０は、ＣＲＴ９１と、ＣＣ
Ｄカメラ３６からの信号をＣＲＴ９１に表示させる制御
装置９２とから構成されている。制御装置９２は、前記
各制御を行うためのつまみ、スイッチなどからなる操作
部９３をその前部に備えている。
Ｄカメラ３６からの信号をＣＲＴ９１に表示させる制御
装置９２とから構成されている。制御装置９２は、前記
各制御を行うためのつまみ、スイッチなどからなる操作
部９３をその前部に備えている。
【００２５】次に、第１実施形態の作用を図４に基づい
て説明する。測定に当たっては、載物台２２の上に載置
された被測定物２５が対物レンズ３４に対向位置するよ
うに載物台２２のＸ軸及びＹ軸マイクロメータヘッド２
３，２４を回して設定しておく。また、上下動つまみ２
６を回して対物レンズ３４の焦点位置に被測定物２５の
測定部位が位置するように設定しておく。
て説明する。測定に当たっては、載物台２２の上に載置
された被測定物２５が対物レンズ３４に対向位置するよ
うに載物台２２のＸ軸及びＹ軸マイクロメータヘッド２
３，２４を回して設定しておく。また、上下動つまみ２
６を回して対物レンズ３４の焦点位置に被測定物２５の
測定部位が位置するように設定しておく。
【００２６】この状態において、図４に示される通り、
光発生手段４１のファイバー照明５１から光軸からの広
がり角度αをもって放射された光は集光レンズ４４で集
光されて被測定物２５に照射される。被測定物２５から
の反射光は、対物レンズ３４、結像レンズ３５を介して
ＣＣＤカメラ３６に入射される。ここで、電気信号に変
換された後、画像表示装置９０の制御装置９２に入力さ
れる。その結果、被測定物２５の画像がＣＲＴ９１に表
示される。
光発生手段４１のファイバー照明５１から光軸からの広
がり角度αをもって放射された光は集光レンズ４４で集
光されて被測定物２５に照射される。被測定物２５から
の反射光は、対物レンズ３４、結像レンズ３５を介して
ＣＣＤカメラ３６に入射される。ここで、電気信号に変
換された後、画像表示装置９０の制御装置９２に入力さ
れる。その結果、被測定物２５の画像がＣＲＴ９１に表
示される。
【００２７】ここで、被測定物２５に対する照明光の照
射角度を変える場合には、集光レンズ４４を図示しない
移動機構によって光軸に沿って移動させる。例えば、被
測定物２５に照射される照明光の照射角度βを小さくす
るには、図４の実線に示される通り、集光レンズ４４を
光発生手段４１のファイバー照明５１の近接位置に置
く。すると、ファイバー照明５１で発生した照明光は、
集光レンズ４４の中央部で屈折されて小さな角度で被測
定物２５に照射される。これに対して、照射角度βを大
きくするには、図４の想像線に示される通り、集光レン
ズ４４をファイバー照明５１から離隔した位置に置く。
すると、ファイバー照明５１で発生した照明光は、集光
レンズ４４の周縁部で屈折されて大きな角度で被測定物
２５に照射される。なお、照明光の光量調整や照射位置
の調整はファイバー照明５１を選択的に点灯・消灯する
ことで行う。
射角度を変える場合には、集光レンズ４４を図示しない
移動機構によって光軸に沿って移動させる。例えば、被
測定物２５に照射される照明光の照射角度βを小さくす
るには、図４の実線に示される通り、集光レンズ４４を
光発生手段４１のファイバー照明５１の近接位置に置
く。すると、ファイバー照明５１で発生した照明光は、
集光レンズ４４の中央部で屈折されて小さな角度で被測
定物２５に照射される。これに対して、照射角度βを大
きくするには、図４の想像線に示される通り、集光レン
ズ４４をファイバー照明５１から離隔した位置に置く。
すると、ファイバー照明５１で発生した照明光は、集光
レンズ４４の周縁部で屈折されて大きな角度で被測定物
２５に照射される。なお、照明光の光量調整や照射位置
の調整はファイバー照明５１を選択的に点灯・消灯する
ことで行う。
【００２８】従って、第１実施形態によれば、光発生
手段４１からの照明光を被測定物２５に向かって集光さ
せる照射角度可変手段４２が集光レンズ４４という簡単
な構造の光学部材を備えて構成され、この集光レンズ４
４が結像光学系３７の光軸に沿って移動可能とされるこ
とで被測定物２５への照明光の照射角度を簡単に変更す
ることができる。そのため、被測定物２５のエッジ部の
形状などに応じて適正な角度で照明光を照射することが
できるから、被測定物２５のエッジ部などの画像も立体
感を損なうことなく鮮明に描画できる。
手段４１からの照明光を被測定物２５に向かって集光さ
せる照射角度可変手段４２が集光レンズ４４という簡単
な構造の光学部材を備えて構成され、この集光レンズ４
４が結像光学系３７の光軸に沿って移動可能とされるこ
とで被測定物２５への照明光の照射角度を簡単に変更す
ることができる。そのため、被測定物２５のエッジ部の
形状などに応じて適正な角度で照明光を照射することが
できるから、被測定物２５のエッジ部などの画像も立体
感を損なうことなく鮮明に描画できる。
【００２９】さらに、集光レンズ４４を軸芯が結像光
学系３７の光軸と一致する環状レンズとしたから、被測
定物２５に反射された照明光は集光レンズ４４に遮られ
ることなく光軸を通って結像光学系３７で観察されるの
で、適正な測定を確保することができる。また、光発
生手段４１は、結像光学系３７の光軸を中心としたリン
グ状に形成されたファイバー照明５１を備えた構成であ
るため、ファイバー照明５１を選択的に点灯・消灯する
ことで光量調整や照射位置が容易に変更することができ
る。
学系３７の光軸と一致する環状レンズとしたから、被測
定物２５に反射された照明光は集光レンズ４４に遮られ
ることなく光軸を通って結像光学系３７で観察されるの
で、適正な測定を確保することができる。また、光発
生手段４１は、結像光学系３７の光軸を中心としたリン
グ状に形成されたファイバー照明５１を備えた構成であ
るため、ファイバー照明５１を選択的に点灯・消灯する
ことで光量調整や照射位置が容易に変更することができ
る。
【００３０】［第２実施形態］次に、本発明の第２実施
形態を図５及び図６に基づいて説明する。第２実施形態
は光発生手段１４１が第１実施形態の光発生手段４１と
相違するもので、他の構成は第１実施形態と同じであ
る。図５において、顕微鏡２０の支持枠３１の下部に
は、本実施形態にかかる光学測定機用照明装置１４０が
設けられている。この光学測定機用照明装置１４０は結
像光学系３７の光軸を中心として外方へ放射状の照明光
を発生するリング状の光発生手段１４１と、結像光学系
３７の光軸と同心に配置された前記照射角度可変手段４
２とを備えて構成されている。
形態を図５及び図６に基づいて説明する。第２実施形態
は光発生手段１４１が第１実施形態の光発生手段４１と
相違するもので、他の構成は第１実施形態と同じであ
る。図５において、顕微鏡２０の支持枠３１の下部に
は、本実施形態にかかる光学測定機用照明装置１４０が
設けられている。この光学測定機用照明装置１４０は結
像光学系３７の光軸を中心として外方へ放射状の照明光
を発生するリング状の光発生手段１４１と、結像光学系
３７の光軸と同心に配置された前記照射角度可変手段４
２とを備えて構成されている。
【００３１】光発生手段１４１は、前記光軸を中心とす
るリング状でかつ下方外側に向かって照明光を放射する
ＬＥＤ照明１５１と、このＬＥＤ照明１５１を支持枠３
１に取り付ける筒状部材４３とを備えている。これらの
筒状部材４３及びＬＥＤ照明１５１は、前記光軸と同芯
上に配置されており、その内周面と対物レンズ３４の外
周面との間には所定寸法の隙間が形成されている。
るリング状でかつ下方外側に向かって照明光を放射する
ＬＥＤ照明１５１と、このＬＥＤ照明１５１を支持枠３
１に取り付ける筒状部材４３とを備えている。これらの
筒状部材４３及びＬＥＤ照明１５１は、前記光軸と同芯
上に配置されており、その内周面と対物レンズ３４の外
周面との間には所定寸法の隙間が形成されている。
【００３２】ＬＥＤ照明１５１は、リング状のフレーム
１５２と、このフレーム１５２の内部に配置された複数
本の発光素子１５３とから構成されている。各発光素子
１５３は、フレーム１５２の斜め下に向けて円環状に整
列配列されている。ＬＥＤ照明１５１は、各発光素子１
５３が選択的に点灯・消灯することで部分的に照明光を
発生させることができる構成である。
１５２と、このフレーム１５２の内部に配置された複数
本の発光素子１５３とから構成されている。各発光素子
１５３は、フレーム１５２の斜め下に向けて円環状に整
列配列されている。ＬＥＤ照明１５１は、各発光素子１
５３が選択的に点灯・消灯することで部分的に照明光を
発生させることができる構成である。
【００３３】次に、第２実施形態の作用を図６に基づい
て説明する。測定に当たっては、第１実施形態と同様
に、載物台２２の上に載置された被測定物２５が対物レ
ンズ３４に対向位置するように設定し、対物レンズ３４
の焦点位置に被測定物２５の測定部位が位置するように
設定しておく。この状態において、図６に示される通
り、光発生手段１４１のＬＥＤ照明１５１から光軸から
の広がり角度αをもって放射された光は集光レンズ４４
で集光されて被測定物２５に照射される。
て説明する。測定に当たっては、第１実施形態と同様
に、載物台２２の上に載置された被測定物２５が対物レ
ンズ３４に対向位置するように設定し、対物レンズ３４
の焦点位置に被測定物２５の測定部位が位置するように
設定しておく。この状態において、図６に示される通
り、光発生手段１４１のＬＥＤ照明１５１から光軸から
の広がり角度αをもって放射された光は集光レンズ４４
で集光されて被測定物２５に照射される。
【００３４】ここで、被測定物２５に対する照明光の照
射角度を変える場合には、第１実施形態と同様に、集光
レンズ４４を図示しない移動機構によって光軸に沿って
移動させる。例えば、被測定物２５に照射される照明光
の照射角度βを小さくするには、図６の実線に示される
通り、集光レンズ４４を光発生手段１４１のＬＥＤ照明
１５１の近接位置に置く。すると、ＬＥＤ照明１５１で
発生した照明光は、集光レンズ４４の中央部で屈折され
て小さな角度で被測定物２５に照射される。
射角度を変える場合には、第１実施形態と同様に、集光
レンズ４４を図示しない移動機構によって光軸に沿って
移動させる。例えば、被測定物２５に照射される照明光
の照射角度βを小さくするには、図６の実線に示される
通り、集光レンズ４４を光発生手段１４１のＬＥＤ照明
１５１の近接位置に置く。すると、ＬＥＤ照明１５１で
発生した照明光は、集光レンズ４４の中央部で屈折され
て小さな角度で被測定物２５に照射される。
【００３５】これに対して、照射角度βを大きくするに
は、図６の想像線に示される通り、集光レンズ４４をＬ
ＥＤ照明１５１から離隔した位置に置く。すると、ＬＥ
Ｄ照明１５１で発生した照明光は、集光レンズ４４の周
縁部で屈折されて大きな角度で被測定物２５に照射され
る。なお、照明光の光量調整や照射位置の調整はＬＥＤ
照明１５１を選択的に点灯・消灯することで行う。
は、図６の想像線に示される通り、集光レンズ４４をＬ
ＥＤ照明１５１から離隔した位置に置く。すると、ＬＥ
Ｄ照明１５１で発生した照明光は、集光レンズ４４の周
縁部で屈折されて大きな角度で被測定物２５に照射され
る。なお、照明光の光量調整や照射位置の調整はＬＥＤ
照明１５１を選択的に点灯・消灯することで行う。
【００３６】従って、第２実施形態によれば、第１実施
形態のとの作用効果を奏することができる。さら
に、光発生手段１４１は、結像光学系３７の光軸を中心
としたリング状に形成されたＬＥＤ照明１５１を備えた
構成であるため、第１実施例のと同様の作用効果を達
成、つまり、ＬＥＤ照明１５１を選択的に点灯・消灯す
ることで光量調整や照射位置が容易に変更することがで
きる。
形態のとの作用効果を奏することができる。さら
に、光発生手段１４１は、結像光学系３７の光軸を中心
としたリング状に形成されたＬＥＤ照明１５１を備えた
構成であるため、第１実施例のと同様の作用効果を達
成、つまり、ＬＥＤ照明１５１を選択的に点灯・消灯す
ることで光量調整や照射位置が容易に変更することがで
きる。
【００３７】［第３実施形態］次に、本発明の第３実施
形態を図７及び図８に基づいて説明する。第３実施形態
は光発生手段２４１が第１，２実施形態の光発生手段４
１，１４１と相違するもので、他の構成は第１，２実施
形態と同じである。図７において、顕微鏡２０の支持枠
３１の下部には、本実施形態にかかる光学測定機用照明
装置２４０が設けられている。
形態を図７及び図８に基づいて説明する。第３実施形態
は光発生手段２４１が第１，２実施形態の光発生手段４
１，１４１と相違するもので、他の構成は第１，２実施
形態と同じである。図７において、顕微鏡２０の支持枠
３１の下部には、本実施形態にかかる光学測定機用照明
装置２４０が設けられている。
【００３８】この光学測定機用照明装置２４０は前記光
発生手段４１と、結像光学系３７の光軸と同心で、か
つ、光発生手段４１からの照明光を被測定物２５に向か
って集光させる照射角度可変手段２４２とを備えて構成
されている。照射角度可変手段２４２は光発生手段４１
からの照明光を屈折させて光軸上に集光させる複数枚
（図では２枚）の集光レンズ４４と、これらの集光レン
ズ４４をそれぞれ光軸上に沿って手動又は自動で上下に
移動させる図示しない移動機構とを備えて構成されてい
る。これらの集光レンズ４４は、その軸芯が前記光軸と
一致するように上下に並んで配置されている。
発生手段４１と、結像光学系３７の光軸と同心で、か
つ、光発生手段４１からの照明光を被測定物２５に向か
って集光させる照射角度可変手段２４２とを備えて構成
されている。照射角度可変手段２４２は光発生手段４１
からの照明光を屈折させて光軸上に集光させる複数枚
（図では２枚）の集光レンズ４４と、これらの集光レン
ズ４４をそれぞれ光軸上に沿って手動又は自動で上下に
移動させる図示しない移動機構とを備えて構成されてい
る。これらの集光レンズ４４は、その軸芯が前記光軸と
一致するように上下に並んで配置されている。
【００３９】次に、第３実施形態の作用を図８に基づい
て説明する。測定に当たっては、第１実施形態と同様
に、載物台２２の上に載置された被測定物２５が対物レ
ンズ３４に対向位置するように設定し、対物レンズ３４
の焦点位置に被測定物２５の測定部位が位置するように
設定しておく。この状態において、図８に示される通
り、光発生手段４１のファイバー照明５１から光軸から
の広がり角度αをもって放射された光は２枚の集光レン
ズ４４で集光されて被測定物２５に照射される。
て説明する。測定に当たっては、第１実施形態と同様
に、載物台２２の上に載置された被測定物２５が対物レ
ンズ３４に対向位置するように設定し、対物レンズ３４
の焦点位置に被測定物２５の測定部位が位置するように
設定しておく。この状態において、図８に示される通
り、光発生手段４１のファイバー照明５１から光軸から
の広がり角度αをもって放射された光は２枚の集光レン
ズ４４で集光されて被測定物２５に照射される。
【００４０】ここで、被測定物２５に対する照明光の照
射角度を変える場合には、２枚の集光レンズ４４を図示
しない移動機構によって光軸に沿って同期移動又は差動
させる。例えば、被測定物２５に照射される照明光の照
射角度βを小さくするには、図８の実線に示される通
り、２枚の集光レンズ４４を光発生手段４１のファイバ
ー照明５１の近接位置に置く。すると、ファイバー照明
５１で発生した照明光は、２枚の集光レンズ４４の中央
部でそれぞれ屈折されて小さな角度で被測定物２５に照
射される。
射角度を変える場合には、２枚の集光レンズ４４を図示
しない移動機構によって光軸に沿って同期移動又は差動
させる。例えば、被測定物２５に照射される照明光の照
射角度βを小さくするには、図８の実線に示される通
り、２枚の集光レンズ４４を光発生手段４１のファイバ
ー照明５１の近接位置に置く。すると、ファイバー照明
５１で発生した照明光は、２枚の集光レンズ４４の中央
部でそれぞれ屈折されて小さな角度で被測定物２５に照
射される。
【００４１】これに対して、照射角度βを大きくするに
は、図８の想像線に示される通り、２枚の集光レンズ４
４をファイバー照明５１から離隔した位置に置く。する
と、ファイバー照明５１で発生した照明光は、集光レン
ズ４４の周縁部で屈折されて大きな角度で被測定物２５
に照射される。
は、図８の想像線に示される通り、２枚の集光レンズ４
４をファイバー照明５１から離隔した位置に置く。する
と、ファイバー照明５１で発生した照明光は、集光レン
ズ４４の周縁部で屈折されて大きな角度で被測定物２５
に照射される。
【００４２】従って、第３実施形態によれば、第１実施
形態の〜と同様の作用効果を奏することができる他
に、集光レンズ４４を複数枚としたから、これらの集光
レンズ４４を光軸に沿って並べるとともに、これらの相
対距離を調整することで、被測定物２５への照射角度の
微調整を行うことができる。なお、第３実施形態ではフ
ァイバー照明５１に代えてＬＥＤ照明１５１を用いても
よい。
形態の〜と同様の作用効果を奏することができる他
に、集光レンズ４４を複数枚としたから、これらの集光
レンズ４４を光軸に沿って並べるとともに、これらの相
対距離を調整することで、被測定物２５への照射角度の
微調整を行うことができる。なお、第３実施形態ではフ
ァイバー照明５１に代えてＬＥＤ照明１５１を用いても
よい。
【００４３】以上、本発明において好適な実施形態を挙
げて説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計変更が可能である。例えば、
前記各実施形態では集光レンズ４４を環状レンズとした
が、本発明では被測定物２５から反射された光が結像光
学系３７に伝達されるなら、軸芯部が周縁部と一体とな
った通常のレンズから構成してもよい。さらに、光発生
手段４１，１４１は光ファイバーやＬＥＤを使用した
が、レーザ等の使用も可能である。
げて説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計変更が可能である。例えば、
前記各実施形態では集光レンズ４４を環状レンズとした
が、本発明では被測定物２５から反射された光が結像光
学系３７に伝達されるなら、軸芯部が周縁部と一体とな
った通常のレンズから構成してもよい。さらに、光発生
手段４１，１４１は光ファイバーやＬＥＤを使用した
が、レーザ等の使用も可能である。
【００４４】また、本発明に係る光学測定機用照明装置
は工具顕微鏡のものに限定されるものではなく、投影
機、三次元測定機などの他の形式の光学式測定機にも適
用できるものである。
は工具顕微鏡のものに限定されるものではなく、投影
機、三次元測定機などの他の形式の光学式測定機にも適
用できるものである。
【００４５】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、構造が簡
単であり、しかも、被測定物への照射角度を簡単に変え
ることができるという効果を達成できる。
単であり、しかも、被測定物への照射角度を簡単に変え
ることができるという効果を達成できる。
【図１】本発明の第１実施形態が適用された工具顕微鏡
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態の要部を示す断面図である。
【図３】第１実施形態におけるファイバー照明を上から
みた斜視図である。
みた斜視図である。
【図４】第１実施形態の作用を説明するための概略構成
図である。
図である。
【図５】本発明の第２実施形態の要部を示すもので図２
に相当する図である。
に相当する図である。
【図６】第２実施形態の作用を説明するための概略構成
図である。
図である。
【図７】本発明の第３実施形態の要部を示すもので図２
に相当する図である。
に相当する図である。
【図８】第３実施形態の作用を説明するための概略構成
図である。
図である。
２５ 被測定物 ３７ 光学系 40,140，240 光学測定機用照明装置 41,141 光発生手段 42,242 照射角度可変手段 ４４ 集光レンズ ５１ ファイバー照明 １５１ ＬＥＤ照明
Claims (5)
- 【請求項１】光学系の光軸を中心として外方へ放射状に
照明光を発生する光発生手段と、前記光学系の光軸と同
心で、かつ、前記光発生手段からの照明光を被測定物に
向かって集光させる照射角度可変手段とを備えた光学測
定機用照明装置であって、前記照射角度可変手段は、前
記光発生手段からの照明光を屈折させて前記光軸上に集
光させるとともに前記光軸上に沿って移動自在とされた
集光レンズを備えたことを特徴とする光学測定機用照明
装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の光学測定機用照明装置に
おいて、前記集光レンズは環状レンズであることを特徴
とする光学測定機用照明装置。 - 【請求項３】請求項１又は２に記載の光学測定機用照明
装置において、前記集光レンズは複数枚から構成される
ことを特徴とする光学測定機用照明装置。 - 【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載の光学測
定機用照明装置において、前記光発生手段は、前記光軸
を中心としたリング状に形成されたファイバー照明を備
えたことを特徴とする光学測定機用照明装置。 - 【請求項５】請求項１から３のいずれかに記載の光学測
定機用照明装置において、前記光発生手段は、前記光軸
を中心としたリング状に形成されたＬＥＤ照明を備えた
ことを特徴とする光学測定機用照明装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11052649A JP2000250100A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 光学測定機用照明装置 |
| US09/512,765 US6461030B1 (en) | 1999-03-01 | 2000-02-25 | Illuminator for optical measuring instrument |
| EP00104168A EP1035427B1 (en) | 1999-03-01 | 2000-02-29 | Illuminator for optical measuring instrument |
| DE60020282T DE60020282T2 (de) | 1999-03-01 | 2000-02-29 | Illuminator für ein optisches messinstrument |
| TW089103577A TW425488B (en) | 1999-03-01 | 2000-03-01 | Illuminator for optical measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11052649A JP2000250100A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 光学測定機用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000250100A true JP2000250100A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12920709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11052649A Withdrawn JP2000250100A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 光学測定機用照明装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6461030B1 (ja) |
| EP (1) | EP1035427B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000250100A (ja) |
| DE (1) | DE60020282T2 (ja) |
| TW (1) | TW425488B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101251709B (zh) * | 2007-02-20 | 2011-03-30 | 三丰株式会社 | 照明装置、图像测定装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7248402B2 (en) * | 2002-12-09 | 2007-07-24 | Carl Zeiss Surgical Gmbh | Surgical microscopy system |
| US7001055B1 (en) * | 2004-01-30 | 2006-02-21 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Uniform pupil illumination for optical inspection systems |
| AT506565B1 (de) * | 2008-04-09 | 2010-03-15 | Photonic Optische Geraete Gmbh | Mikroskopständer |
| DE102014101219A1 (de) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Carl Zeiss Ag | Beleuchtungseinrichtung zur Fourier-Ptychographie |
| CN105607240B (zh) * | 2016-01-21 | 2017-12-15 | 核工业理化工程研究院 | 显微镜用底座 |
| CN108737702A (zh) * | 2018-05-23 | 2018-11-02 | 四川松瑞科技有限公司 | 一种具有识别障碍物的摄像装置及其使用方法 |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE375731C (de) | 1923-05-17 | Siemens Schuckertwerke G M B H | Anordnung zur Befestigung der Schmelzleiter an den Endkontakten elektrischer Schmelzeinsaetze | |
| GB375731A (en) * | 1931-06-20 | 1932-06-30 | Leitz Ernst Gmbh | Improvements in or relating to microscopes |
| US2004806A (en) | 1933-02-02 | 1935-06-11 | Bausch & Lomb | Microscope illuminator |
| DE2331750C3 (de) | 1973-06-22 | 1978-04-20 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Auflicht-Beleuchtungseinrichtung für wahlweise Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung |
| US3999855A (en) | 1974-10-24 | 1976-12-28 | Block Engineering, Inc. | Illumination system |
| JPS5641088A (en) * | 1979-09-12 | 1981-04-17 | Hitachi Ltd | Monitoring device for laser light axis |
| US5052338A (en) * | 1990-01-31 | 1991-10-01 | Asymptotic Technologies, Inc. | Apparatus for dispensing viscous materials a constant height above a workpiece surface |
| DE4016264A1 (de) | 1990-05-19 | 1991-11-21 | Faseroptik Henning Gmbh & Co | Faseroptik-ringlicht |
| US5268749A (en) | 1991-07-26 | 1993-12-07 | Kollmorgen Corporation | Apparatus and method for providing uniform illumination of a sample plane |
| FR2683296B1 (fr) * | 1991-11-06 | 1994-01-28 | Angenieux Ets Pierre | Systeme d'eclairage a champ eclaire variable. |
| JPH0695038A (ja) * | 1992-03-19 | 1994-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超解像走査光学装置、光学装置の超解像用光源装置及び光学装置の超解像用フィルター |
| US5424838A (en) * | 1993-03-01 | 1995-06-13 | Siu; Bernard | Microelectronics inspection system |
| JP3359071B2 (ja) | 1992-12-11 | 2002-12-24 | オリンパス光学工業株式会社 | エピダーク対物レンズ |
| JPH06235821A (ja) | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Ina Koki Seisakusho:Kk | 光ファイバーリング照明装置 |
| US5283802A (en) * | 1993-06-04 | 1994-02-01 | Bear Hsiung | Adjustable laser module mounting device |
| JPH0723208A (ja) | 1993-06-21 | 1995-01-24 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
| US5430620A (en) * | 1993-10-08 | 1995-07-04 | Cogent Light Technologies, Inc. | Compact surgical illumination system capable of dynamically adjusting the resulting field of illumination |
| KR950034479A (ko) | 1994-05-24 | 1995-12-28 | 오노 시게오 | 조명광학계 |
| US5580163A (en) | 1994-07-20 | 1996-12-03 | August Technology Corporation | Focusing light source with flexible mount for multiple light-emitting elements |
| JPH08166514A (ja) | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Nikon Corp | 斜光照明装置 |
| KR0155830B1 (ko) * | 1995-06-19 | 1998-11-16 | 김광호 | 변형노광장치 및 노광방법 |
| US5883704A (en) * | 1995-08-07 | 1999-03-16 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus wherein focusing of the apparatus is changed by controlling the temperature of a lens element of the projection optical system |
| JPH0980330A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-28 | Minolta Co Ltd | マルチビーム走査光学系 |
| US5644400A (en) * | 1996-03-29 | 1997-07-01 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for determining the center and orientation of a wafer-like object |
| JP3722547B2 (ja) * | 1996-04-08 | 2005-11-30 | オリンパス株式会社 | 照明光学系 |
| JP3315358B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2002-08-19 | 株式会社ミツトヨ | 画像処理測定機の照明装置 |
| US5920380A (en) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Sandia Corporation | Apparatus and method for generating partially coherent illumination for photolithography |
-
1999
- 1999-03-01 JP JP11052649A patent/JP2000250100A/ja not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-02-25 US US09/512,765 patent/US6461030B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-02-29 DE DE60020282T patent/DE60020282T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-02-29 EP EP00104168A patent/EP1035427B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-01 TW TW089103577A patent/TW425488B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101251709B (zh) * | 2007-02-20 | 2011-03-30 | 三丰株式会社 | 照明装置、图像测定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE60020282D1 (de) | 2005-06-30 |
| US6461030B1 (en) | 2002-10-08 |
| TW425488B (en) | 2001-03-11 |
| EP1035427A2 (en) | 2000-09-13 |
| DE60020282T2 (de) | 2005-11-10 |
| EP1035427A3 (en) | 2002-03-13 |
| EP1035427B1 (en) | 2005-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2650215B2 (ja) | 照明装置を有する観察装置 | |
| US4737022A (en) | Automatic focusing device for reflected light microscopes | |
| KR100293126B1 (ko) | 검사장치 | |
| JP3385432B2 (ja) | 検査装置 | |
| US6688744B2 (en) | Back projection visual field tester | |
| JPS62168125A (ja) | ビジヨンシステム用の対象物照明装置 | |
| JPH07325036A (ja) | 検査用光学系および検査装置 | |
| US6862137B2 (en) | Method for adjusting a lamp relative to an illuminating beam path of a microscope and a microscope suitable for carrying out the method | |
| JPH08201304A (ja) | 光学検査装置 | |
| JP3315358B2 (ja) | 画像処理測定機の照明装置 | |
| JP2000250100A (ja) | 光学測定機用照明装置 | |
| US6729728B2 (en) | Back projection visual field tester | |
| JP2596821Y2 (ja) | 画像処理型測定機の照明装置 | |
| US9036160B2 (en) | Device for recording biometric data | |
| JP2022170900A (ja) | 分析装置 | |
| JP2590737Y2 (ja) | 画像処理型測定機の照明装置 | |
| EP1021983B1 (en) | Compact visual field tester | |
| JP2010091468A (ja) | 収差測定装置 | |
| JPH07198620A (ja) | 検査装置 | |
| JP2020529615A (ja) | フォーカスとアライメントのために２つの動作をするレチクルプロジェクタを備えたビデオ測定システム | |
| JP2002196259A (ja) | 視野位置表示装置 | |
| JPH04297810A (ja) | 光学検査装置 | |
| JPH0651812U (ja) | 画像処理型測定機 | |
| JP2018189517A (ja) | 計測装置、および物品製造方法 | |
| JPH10246857A (ja) | 斜光照明装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060509 |