JP2020529615A - フォーカスとアライメントのために2つの動作をするレチクルプロジェクタを備えたビデオ測定システム - Google Patents
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Abstract
Description
高倍率撮像システム16は、より小さな視野とより小さな被写界深度で動作し、より小さな試験対象物のフィーチャを測定するとともに、オートフォーカス法を活用すること等により試験対象物の表面の高さの変動を測定する。この方法では、表面高さがベストフォーカス位置と等しい。レチクル56の画像、例えば高倍率カメラ40によって試験対象物12の表面上の照明パターン84として捕捉された画像により、試験対象物12の表面上の異なる点における最良のフォーカス位置を正確に決定することができる。フォーカス位置では、最大のコントラストが現れる。測定は、試験対象物12に対して光学アセンブリを相対的に平行移動させて最良の焦点位置を特定するとともに、リニアエンコーダや他の距離測定装置を使用するなどして平行移動を測定することにより、行うことができる。オートフォーカス測定は、高倍率カメラ40を光軸(Z)に沿って移動させるとともに、カメラの変位を測定することにより、を行うこともできる。このカメラ変位は、カメラマウントの圧電ステージ内にポテンショメータや他の距離測定装置を組み込むなどにより、測定することができる。より良い再現性と精度を達成するために、高倍率カメラ40のf/数(たとえばf/2.5)は、対象平面(object plane)でのf/数(たとえばf/5.0)よりも低いことが好ましい。より高い精度と再現性の目的のために、高倍率カメラ40は、各測定を行う前にその公称位置(名目位置:nominal position)に戻すことができる。しかしながら、短い測定時間がより重要であると考えられる場合、高倍率カメラ40を用いた測定は、公称位置に戻ることなく連続して行うことができる。
Claims (26)
- 試験対象物を測定するためのビデオ測定システムであって、
撮像システムと、
レチクルの画像を、前記撮像システムを通して前記試験対象物に投影するレチクルプロジェクタと、
前記試験対象物の画像を、前記試験対象物に投影された前記レチクルの画像とともに、前記撮像システムを介して捕捉するカメラと、
前記レチクルの画像を、前記試験対象物の前の前記撮像システムに沿った位置から前記カメラへと反射する選択反射器と、
第1モードにおいて前記レチクルの画像を、前記試験対象物に向け前記試験対象物から前記カメラに向けるように動作可能であり、第2モードにおいて前記レチクルの画像を、前記選択反射器に向け前記選択反射器から前記カメラに向けるように動作可能であるモードセレクタと、
を備えたビデオ測定システム。 - 前記モードセレクタは前記レチクルプロジェクタと前記選択反射器を含み、前記レチクルプロジェクタは、前記第1、第2モードにそれぞれ関連する第1、第2のタイプの光で前記レチクルを選択的に照明するように構成され、前記選択反射器は、2つのタイプの光のうち前記第2のタイプの光だけを前記カメラに向けるように構成される、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器は、ビームスプリット特性と関連付けられ、これにより、前記2つのタイプの光のうち前記第1のタイプの光が前記選択反射器を通過し、前記2つのタイプの光のうち前記第2のタイプの光が前記選択反射器から前記カメラへと向けて反射される、請求項2に記載のビデオ測定システム。
- 前記レチクルプロジェクタが照明器を含み、前記照明器が、第1の波長帯域によって識別される前記第1のタイプの光を発し、第2の異なる波長帯域によって識別される前記第2のタイプの光を発する、請求項2に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器が二色のビームスプリッタを含む、請求項4に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器が、ミラーと、前記第1のタイプの光を遮断する色フィルタとを含む、請求項4に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとシャッターを含み、前記シャッターは、前記第2モードで開くことにより、前記第2のタイプの光の反射をサポートして、前記レチクルの画像を前記選択反射器から前記カメラへと向けるとともに、前記第1モードで閉じることにより、前記選択反射器から前記カメラへの前記第1のタイプの光の反射を遮る請求項2に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとシャッターを含み、前記シャッターは、前記第2モードで開くことにより、前記レチクルの画像が前記反射器から前記カメラへと向けて反射するのをサポートするとともに、前記第1モードで閉じることにより、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記カメラへと反射するのを遮る請求項1に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとアクチュエータを含み、前記アクチュエータは、前記ミラーを、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記カメラへと反射するのをサポートする第1位置と、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記カメラへと反射するのをサポートしない第2位置との間で動かす、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- 前記カメラと、前記撮像システムの少なくとも一部のうち、少なくとも一方の位置は、前記レチクルのパターンを前記試験対象物にフォーカスさせるように調節可能である、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- さらにコンピュータ処理部を備え、前記コンピュータ処理部は、前記カメラによって捕捉された前記レチクルの画像から、画像コントラストおよび前記カメラ内での画像アライメントを測定する、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- 前記レチクルは、画像コントラストを測定するために前記第1のモードで有効な第1のパターンと、前記カメラ内の画像アライメントを測定するために前記第2のモードで有効な第2の異なるパターンを含む、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- さらに第1ビームスプリッタを備え、前記第1ビームスプリッタは、前記レチクルの画像を、前記撮像システムから前記選択反射器へと向けるとともに、前記選択反射器から前記撮像システムへと向ける、請求項1に記載のビデオ測定システム。
- さらに第2ビームスプリッタを備え、前記第2ビームスプリッタは、前記レチクルの画像を前記レチクルプロジェクタから前記撮像システムに向け、前記試験対象物の画像を前記撮像システムから前記カメラに向ける、請求項13に記載のビデオ測定システム。
- 前記第1ビームスプリッタは、前記レチクルの画像を、前記試験対象物に向け前記試験対象物から前記カメラに向ける、請求項14に記載のビデオ測定システム。
- 試験対象物を測定するためのビデオ測定システムであって、
第1倍率のカメラを含む第1倍率撮像システムと、第2倍率のカメラを含む第2倍率撮像システムとを備え、前記第1倍率撮像システムが前記第2倍率システムとは異なる倍率で動作し、さらに、
前記第1倍率撮像システムと前記第2倍率撮像システムの両方のために、前記試験対象物を照らす光を収集する共通の対物レンズと、
前記共通の対物レンズによって収集された光を、前記第1倍率撮像システムと前記第2倍率撮像システムの両方に向ける第1ビームスプリッタと、
レチクルの画像を第2倍率撮像システムに向けて投射するレチクルプロジェクタと、
前記レチクルプロジェクタからの光を前記第2倍率撮像システムに導き、前記第2倍率撮像システム内の光を前記第2倍率カメラに向ける第2ビームスプリッタと、
前記レチクルの画像を、前記第1ビームスプリッタを介して前記第1倍率撮像システムと前記第2倍率撮像システムの両方に向けて反射する選択反射器と、
第1モードと第2モードで動作可能なモードセレクタと、
を備え、前記モードセレクタは、前記第1モードでは、前記レチクルの画像を前記試験対象物に向けるとともに、前記試験対象物から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラに向け、前記第2モードでは、前記レチクルの画像を前記選択反射器に向けるとともに、前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラに向ける、ビデオ測定システム。 - 前記モードセレクタは前記レチクルプロジェクタと前記選択反射器を含み、前記レチクルプロジェクタは、前記第1、第2モードにそれぞれ関連する第1、第2のタイプの光で前記レチクルを選択的に照明するように構成され、前記選択反射器は、2つのタイプの光のうちの前記第2のタイプの光だけを、前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへ向ける、請求項16に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器は、ビームスプリット特性と関連付けられ、これにより、前記2つのタイプの光のうち前記第1のタイプの光が前記選択反射器を通過し、前記2つのタイプの光のうち前記第2のタイプの光が前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと向けて反射される、請求項17に記載のビデオ測定システム。
- 前記レチクルプロジェクタが照明器を含み、前記照明器が、第1の波長帯域によって識別される前記第1のタイプの光を発し、第2の異なる波長帯域によって識別される前記第2のタイプの光を発する、請求項17に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器が二色のビームスプリッタを含む、請求項19に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器が、ミラーと、前記第1のタイプの光を遮断する色フィルタとを含む、請求項19に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとシャッターを含み、前記シャッターは、前記第2モードで開くことにより、前記第2のタイプの光の反射をサポートして、前記レチクルの画像を前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと向けるとともに、前記第1モードで閉じることにより、前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへの前記第1のタイプの光の反射を遮る請求項17に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとシャッターを含み、前記シャッターは、前記第2モードで開くことにより、前記レチクルの画像が前記反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと向けて反射するのをサポートするとともに、前記第1モードで閉じることにより、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと反射するのを遮る請求項16に記載のビデオ測定システム。
- 前記選択反射器がミラーとアクチュエータを含み、前記アクチュエータは、前記ミラーを、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと反射するのをサポートする第1位置と、前記レチクルの画像が前記選択反射器から前記第1倍率カメラと前記第2倍率カメラへと反射するのをサポートしない第2位置との間で動かす、請求項16に記載のビデオ測定システム。
- さらにコンピュータ処理部を備え、前記カメラによって捕捉された前記レチクルの画像から、画像コントラストおよび前記カメラ内での画像アライメントを測定する、請求項16に記載のビデオ測定システム。
- 前記レチクルは、画像コントラストを測定するために前記第1のモードで有効な第1のパターンと、前記カメラ内の画像アライメントを測定するために前記第2のモードで有効な第2の異なるパターンを含む、請求項25に記載のビデオ測定システム。
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