JP6255305B2 - 光学顕微装置 - Google Patents
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Description
11 試料室
12 真空容器
13 試料台
21 電子線照射系
22 コラム
23 電子線源
24 コンデンサーレンズ
25 スキャン用偏向器
26 電子線検出器
31 光学撮像系
32 第1の光学素子
32a 第1のレンズ
32b 第1の反射ミラー
32c 第2の反射ミラー
33 覗き窓
34 撮像器
35 第2の光学素子
35a 第2のレンズ
36 照明用光源
37 アパーチャ
38 結像面
39 鏡筒
41 制御ユニット
42 顕微画像表示部
43 光学画像表示部
51 鏡筒部
52 開口部
53 鏡筒部
O 光軸
S 電子線軸
W 試料
Claims (6)
- 大気圧以下の圧力に調圧される試料室を有し、前記試料室内に試料台が設けられる真空容器と、
前記真空容器に設けられ、前記試料台に配置された試料に垂直に荷電粒子線を照射する粒子線照射系と、
粒子線が照射された観察部位からの二次粒子線により顕微画像を検出する顕微画像検出系と、
光軸が前記試料に対して傾斜するとともに荷電粒子線の線軸に交差し、前記観察部位に対向して前記真空容器に設けられ、前記観察部位の光学画像を撮像する光学撮像系と、
前記試料室内に配置され、前記観察部位を照明する照明用光源と、を有し、
前記光学撮像系は、
前記試料室内に前記観察部位に対向して配置される第1の光学素子と、
前記第1の光学素子からの画像光を透過させ、かつ前記真空容器を閉塞する覗き窓と、
前記真空容器の外部に配置され、前記観察部位の前記光学画像を撮像する撮像器と、
前記真空容器の外部に配置され、前記第1の光学素子からの前記画像光を前記撮像器の結像面に結像させる第2の光学素子と、を有し、
前記結像面に対する前記画像光の入射角を21°±5°の範囲とした、光学顕微装置。 - 請求項1記載の光学顕微装置において、前記照明用光源はLEDであり、当該LEDを前記試料台よりも前記顕微画像検出系側に寄せて前記試料室内に配置した、光学顕微装置。
- 請求項1または2記載の光学顕微装置において、前記第1の光学素子は対物レンズであり、第2の光学素子は結像レンズである、光学顕微装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光学顕微装置において、前記第1の光学素子は前記観察部位に対向した第1の反射ミラーと、前記第1の反射ミラーからの反射光を前記第2の光学素子に向けて反射する第2の反射ミラーである、光学顕微装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学顕微装置において、前記結像面に対する前記画像光の入射角が可変となるように、前記撮像器を揺動自在とした、光学顕微装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学顕微装置において、前記顕微画像を表示する顕微画像表示部と、前記顕微画像表示部に隣接して設けられ、前記光学画像を表示する光学画像表示部とを有し、前記顕微画像と前記光学画像とを比較して表示する、光学顕微装置。
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