JP2018054303A - 欠陥検出装置及び欠陥観察装置 - Google Patents
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Abstract
Description
レビュー装置100は、試料ホルダ102及びステージ103を備える駆動部と、光学式高さ検出器104と、光学顕微鏡部105と真空槽112と、SEM106(電子顕微鏡部)と、レーザ変位計(図示せず)を備えて構成される。
光学顕微鏡105は、暗視野照明光学系201と、明視野照明光学系211と、検出光学系210を有する。図2においては、真空槽112および真空封止窓111、113の表記を省略している。
尚、本発明の実施形態では、照明部(暗視野照明光学系201)は、試料101上に対して照射する実質的に同一の波長及び実質的に同一の偏光をもつ複数の光線(光線A、光線B)を試料101上に集光させる集光レンズ255と、複数の光線(光線A、光線B)を互いに近接させ、かつ集光レンズ255の光軸と平行な光路にする複数光線合成部(270、273)とを有する。そして、照明部(暗視野照明光学系201)によって試料101上で発生した散乱光は、図2に示す検出器207によって検出される。
上記実施形態1〜3では、2光線を用い、試料101を照明する方法について述べたが、照射する光線数は2本に限らず、3本以上の光線を照射してもよい。図7、図8は、3光線を用いた実施形態4における光学顕微鏡部の照明光を説明する図である。本実施形態におけるレビュー装置の構成は図1〜3と同様であるため、その説明は省略する。
102 試料ホルダ
103 ステージ
104 光学式高さ検出器
105 光学顕微鏡
106 電子顕微鏡
107 欠陥検査装置
111、113 真空封止窓
112 真空槽
121 ネットワーク
122 ライブラリ
123 ユーザインターフェース
124 記憶装置
125 制御システム
151 電子線源
152 引き出し電極
153 偏向電極
154 対物レンズ電極
155 二次電子検出器
156 反射電子検出器
201 暗視野照明光学系
202 対物レンズ
203、204 レンズ系
205 空間分布光学素子
206 結像レンズ
207 検出器
208 切り替え機構
209 高さ制御機構
210 検出光学系
211 明視野照明光学系
212 白色光源
213 照明レンズ
214 ハーフミラー
250 光源
251、252、256 平凸レンズ
253、254 シリンドリカルレンズ
255 集光レンズ
260 1/2波長板
261 NDフィルタ
270 PBS
271 組合せ波長板
272 偏光子
273 1/2波長板
274 ミラー
275 ダイクロイックミラー
276 AO周波数シフタ
277 1/4波長板
301 光軸
302、303 瞳面
1000 欠陥観察装置
Claims (15)
- 試料上に対して照射する実質的に同一の波長及び実質的に同一の偏光をもつ複数の光線を前記試料上に集光させる集光レンズと、前記複数の光線を互いに近接させ、かつ前記集光レンズの光軸と平行な光路にする複数光線合成部とを有する照明部と、
前記照明部によって前記試料上で発生した散乱光を検出する検出部と、
を有することを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記検出部は、瞳面上に波長依存性及び偏光依存性をもつフィルタを有することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数の光線は、複数の光源から照射されることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数の光線は、単一の光源から照射された光線を分割して得た光線であることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数光線合成部は、偏光ビームスプリッターと組合せ波長板を有することを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数光線合成部と前記集光レンズの間に、前記複数の光線の偏光方向を100:1以上の消光比を有するように設定する偏光子もしくは偏光ビームスプリッターが配置されていることを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数の光源は同じ偏光方向の光線を照射する向きに載置され、一部の前記複数の光源から照射された光線の偏光方向を1/2波長板で90度回転させることを特徴とする請求項5に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数光線合成部はミラーであることを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。
- 一部の前記複数の光線の波長をAO周波数シフタでシフトさせ、前記複数光線合成部はダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数の光線は、前記集光レンズの光軸に対して軸対称に入射することを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。
- 前記単一光源は直線偏光の光線を照射する光源であって、前記直線偏光の光線を分割する分割部はハーフミラーであることを特徴とする請求項4に記載の欠陥検出装置。
- 前記単一光源は直線偏光の光線を照射する光源であって、前記直線偏光の光線を分割する分割部は1/4波長板と偏光ビームスプリッターを有することを特徴とする請求項4に記載の欠陥検出装置。
- 前記複数の光線の波長差は最大で平均波長の±1%以内であり、前記複数の光線の偏光軸範囲は±10°以内であることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 一部の前記複数の光線が前記集光レンズの光軸とは異軸であることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 請求項1に記載の欠陥検出装置と、
前記欠陥検出装置の前記検出部で検出された散乱光に基づく画像を取得し、この取得した画像に基づき欠陥の座標を算出する制御部と、
を有し、
前記欠陥検出装置の前記照明部は、前記検出部の瞳外に配置されていることを特徴とする欠陥観察装置。
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