JP6733268B2 - 電子線応用装置 - Google Patents
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Description
EPMA101は、試料Sが載置される試料ステージ10と、電子線Eを試料S表面上の分析位置に照射する電子線源20と、試料S表面上の分析位置から放出された特性X線Pによる信号を検出するX線検出部30と、試料S表面上の分析位置を含む領域に可視光を照射する落射光用光源部40と、試料Sの分析位置を含む領域に可視光を照射する透過光用光源部50と、試料S表面上の分析位置を含む領域で反射した可視光、もしくは、試料Sの分析位置を含む領域を透過した可視光を検出する画像取得装置70と、制御ボード180と、制御ボード180とLAN等で接続されたコンピュータ190とを備える。
試料台10aの上面は、試料Sを載せたり取り除いたりすることができるようになっているとともに、試料台10aの中央部には開口10bが形成されており、この開口10bを可視光が通過するようになっている。このような試料台10aは、コンピュータ190の試料ステージ制御部91aによって、各駆動機構のパルスモータへ必要な駆動パルス信号が出力されることにより、所望のX方向やY方向やZ方向へ移動させることができる。
また、CCDカメラ71の前方(X方向)には、落射光用光源部40から出射された可視光と同じ光軸で可視光を検出するために、平板形状のハーフミラー62が配置されている。これにより、所定方向(Z方向)に進行する可視光の50%が、ハーフミラー62によって進行方向をX方向に変えるようになっている。一方、−X方向に進行する可視光の50%は、ハーフミラー62を透過した後にリレーレンズ72を介してCCDカメラ71の検出面へ導かれる。
(1)一般的な試料を分析する場合
まず、ユーザは、操作部94を用いて落射光用光源部40の電源ON(入力情報)を入力することにより、制御ボード通信部91cから画像取得制御部180aに入力情報(落射光用光源部40の使用)を出力する。これにより、画像取得制御部180aによって、落射光用光源部40からZ方向に出射された可視光が、ハーフミラー62や有孔ミラー61によって進行方向を変え、試料S表面上の分析位置を含む領域にZ方向から照射される。また、試料S表面上の分析位置を含む領域で−Z方向に反射した可視光が、有孔ミラー61によって進行方向を−X方向に変えてハーフミラー62を透過し、リレーレンズ72を介してCCDカメラ71の検出面に導かれる。
そして、制御ボード通信部91cは、画像取得制御部180aからカラー光学像を取得してモニタ93に表示する。これにより、ユーザは、カラー光学像を観察しながら、操作部94を用いて試料ステージ10をX方向やY方向やZ方向に移動させることにより、最適な焦点が得られるように配置するとともに、試料S表面上の分析位置範囲を設定する。
そして、分析制御部91bは、収集された信号の強度に基づいて、試料S表面上の分析位置のX線画像を取得してモニタ93に表示する。
まず、ユーザは、操作部94を用いて透過光用光源部50の電源ON(入力情報)を入力することにより、制御ボード通信部91cから画像取得制御部180aに入力情報(透過光用光源部50の使用)を出力する。これにより、画像取得制御部180aによって、透過光用光源部50から出射された可視光が、試料Sの分析位置を含む領域に所定方向と逆方向(−Z方向)から照射される。また、試料S表面上の分析位置を含む領域で−Z方向に透過した可視光が、有孔ミラー61によって進行方向を−X方向に変えてハーフミラー62を透過し、リレーレンズ72を介してCCDカメラ71の検出面に導かれる。
そして、制御ボード通信部91cは、画像取得制御部180aからカラー光学像を取得してモニタ93に表示する。
そこで、本発明は、種類の異なる複数の光源を備える光学像観察システムにおいて、光源の種類を変えても、適正な色のカラー光学像を撮像および観察することができる電子線応用装置を提供することを目的とする。
また、「試料から放出された信号」としては、特性X線や二次電子、反射電子等が挙げられる。
また、上記の電子線応用装置において、前記落射光用光源部のホワイトバランス調整パラメータを入力させるための落射光用光源部調整画面と、前記透過光用光源部のホワイトバランス調整パラメータを入力させるための透過光用光源部調整画面とを表示する設定部を備えるようにしてもよい。
さらに、本発明の電子線応用装置において、前記落射光用光源部および前記透過光用光源部のいずれか一方の光源部は、ハロゲンランプであるとともに、他方の光源部は、LEDであるようにしてもよい。
EPMA1は、試料Sが載置される試料ステージ10と、電子線Eを試料S表面上の分析位置に照射する電子線源20と、試料S表面上の分析位置から放出された特性X線Pによる信号を検出するX線検出部30と、試料S表面上の分析位置を含む領域に可視光を照射する落射光用光源部40と、試料Sの分析位置を含む領域に可視光を照射する透過光用光源部50と、試料S表面上の分析位置を含む領域で反射した可視光、もしくは、試料Sの分析位置を含む領域を透過した可視光を検出する画像取得装置70と、制御ボード80と、制御ボード80とLAN等で接続されたコンピュータ90とを備える。
例えば、製造業者等が、製品出荷前に落射光用光源部調整画面を用いて落射光用光源部40のホワイトバランス調整パラメータ(RGB値)を入力するとともに、透過光用光源部調整画面を用いて透過光用光源部50のホワイトバランス調整パラメータ(RGB値)を入力することにより、落射光用光源部40と透過光用光源部50のホワイトバランス調整パラメータがそれぞれ記憶部92に記憶(プリセット)される。
また、ユーザ等が、製品使用前に(ユーザモードで)落射光用光源部調整画面を用いて落射光用光源部40のホワイトバランス調整パラメータを入力するとともに、透過光用光源部調整画面を用いて透過光用光源部50のホワイトバランス調整パラメータを入力することにより、落射光用光源部40と透過光用光源部50のホワイトバランス調整パラメータがそれぞれ記憶部92に記憶(プリセット)される。
そして、制御ボード通信部91cは、画像取得制御部80aから落射光用光源部40のホワイトバランス調整パラメータを用いて調整されたカラー光学像を取得してモニタ93に表示する。
そして、制御ボード通信部91cは、画像取得制御部80aから透過光用光源部50のホワイトバランス調整パラメータを用いて調整されたカラー光学像を取得してモニタ93に表示する。
上述した実施形態では、X線検出部30を備える構成を示したが、これに代えて、もしくはこれに加えて、二次電子、反射電子による受光信号の強度を検出する検出器を備える構成としてもよい。この場合、画像として電子像を取得することができる。
20 電子線源
30 検出器
40 落射光用光源部
50 透過光用光源部
71 CCDカメラ(画像取得部)
91 制御部
92 記憶部
E 電子線
S 試料
Claims (3)
- 試料に所定方向から電子線を照射する電子線源と、
前記試料から放出された信号を検出する検出器と、
前記試料に前記所定方向から可視光を照射する落射光用光源部と、
前記試料に前記所定方向と逆方向から可視光を照射する透過光用光源部と、
前記試料で前記所定方向と逆方向に反射したか、或いは、前記試料を前記所定方向と逆方向に透過した可視光が入射して、前記試料の光学像を取得する画像取得部と、
前記信号に基づいて画像を取得する制御部を備える電子線応用装置であって、
前記落射光用光源部の色温度と前記透過光用光源部の色温度とは異なっており、
前記落射光用光源部のホワイトバランス調整パラメータと、前記透過光用光源部のホワイトバランス調整パラメータとを記憶するための記憶部を備え、
前記制御部は、前記落射光用光源部から可視光が出射された際には、前記落射光用光源部のホワイトバランス調整パラメータに基づいて前記光学像のホワイトバランスを調整して調整された当該光学像を表示し、
前記透過光用光源部から可視光が出射された際には、前記透過光用光源部のホワイトバランス調整パラメータに基づいて前記光学像のホワイトバランスを調整して調整された当該光学像を表示することを特徴とする電子線応用装置。
- 前記落射光用光源部のホワイトバランス調整パラメータを入力させるための落射光用光源部調整画面と、前記透過光用光源部のホワイトバランス調整パラメータを入力させるための透過光用光源部調整画面とを表示する設定部を備えることを特徴とする請求項1に記載の電子線応用装置。
- 前記落射光用光源部および前記透過光用光源部のうち、いずれか一方の光源部は、LEDであるとともに、他方の光源部は、ハロゲンランプであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子線応用装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016074352A JP6733268B2 (ja) | 2016-04-01 | 2016-04-01 | 電子線応用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016074352A JP6733268B2 (ja) | 2016-04-01 | 2016-04-01 | 電子線応用装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017188722A JP2017188722A (ja) | 2017-10-12 |
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ID=60044991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016074352A Active JP6733268B2 (ja) | 2016-04-01 | 2016-04-01 | 電子線応用装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6733268B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05260398A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-10-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電子スチル・カメラおよびその制御方法 |
JP4253381B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2009-04-08 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用電子カメラ |
JP2003310554A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-05 | Topcon Corp | 眼科撮影装置 |
JP5829415B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2015-12-09 | 株式会社島津製作所 | 電子線分析装置 |
JP2012211771A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Shimadzu Corp | 電子線分析装置 |
-
2016
- 2016-04-01 JP JP2016074352A patent/JP6733268B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017188722A (ja) | 2017-10-12 |
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