JP4591658B2 - 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 - Google Patents
撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
前記課題を解決するための第2の手段は、請求項1に記載の撮像素子検査用照明装置であって、
前記変倍リレー光学系は、前記結像部と前記変倍部の間に視野絞りを有し、前記変倍リレー光学系による前記光源の像と第1レンズ群までの距離e1、前記視野絞りと前記第3レンズ群までの距離e2、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群までの距離e3、前記第4レンズ群と前記光源までの距離をe4とし、前記光源の有効径をΦとしたとき、前記被検物体である撮像素子の射出瞳までの距離Lと、前記距離Lを前記撮像素子のF値に応じて、以下の関係を有することを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
Claims (6)
- 被検物体である撮像素子に光源からの照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置であって、
前記被検物体側より前記光源側に向かって、第1のレンズ群と、変倍リレー光学系とが配置され、
前記変倍リレー光学系は、前記光源と一体となって光軸方向に移動可能とされており、
前記変倍リレー光学系は、前記被検物体側から前記光源側に向かって、第2レンズ群からなる結像部と、変倍部が配置され、
前記変倍部は、前記被検物体側より前記光源側に向かって順に、第3レンズ群と第4レンズ群を有し、前記第3レンズ群および前記第4レンズ群の距離を変化可能としていることを特徴とする撮像素子検査用照明装置。 - 請求項1に記載の撮像素子検査用照明装置であって、
前記変倍リレー光学系は、前記結像部と前記変倍部の間に視野絞りを有し、
前記変倍リレー光学系による前記光源の像と前記第1レンズ群までの距離e1、前記視野絞りと前記第3レンズ群までの距離e2、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群までの距離e3、前記第4レンズ群と前記光源までの距離をe4とし、前記光源の有効径をΦとしたとき、前記被検物体である撮像素子の射出瞳までの距離Lと、前記距離Lを前記撮像素子のF値に応じて、以下の関係を有することを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
- 前記光源が光ファイバー端面、又は光ファイバー端面に拡散板を取り付けたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 請求項1から請求項3うちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置を構成要素の一部として有することを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1乃至請求項3のうちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置を用いて、前記撮像素子の入射瞳位置と、前記撮像素子検査用照明装置の射出瞳位置を一致させ、かつ前記照明光のF値を調整して前記撮像素子のF値に一致した状態で前記撮像素子を照明し、検査を行うことを特徴とする撮像素子の検査方法。
- ウエハ上に形成された撮像素子を、請求項5に記載の撮像素子の検査方法を使用して検査する工程を有することを特徴とする撮像素子の製造方法。
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