JP2005250030A - 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 - Google Patents
撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 2次光源8から放出された照明光は、レンズ群5、レンズ群4およびレンズ群2からなるリレー光学系で前記2次光源の像をP’面に形成する。リレーレンズ系はレンズ群5とレンズ群4とからなる変倍部と、レンズ群2からなる結像部とからなる。変倍部ではレンズ群5とレンズ群4との距離e3を変化させることにより、光源像の投影倍率(照明F値に対応)を変化させることができる。このとき2次光源8の像はレンズ群2の被検物体側焦点位置P’に形成される。この光源像P’とレンズ群1との間隔e1を所定の関係式によって設定することにより、被検面に照射する光束の中心線が光軸と交差する点(照明光学系の射出瞳位置)を決め、これを撮像素子の入射瞳位置と一致させることができる。
【選択図】 図1
Description
Claims (10)
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置であって、第1のレンズ群とリレー光学系を有し、前記第1のレンズ群は、その後側焦点位置が被検査対象物である撮像素子面の近傍に位置し、前記リレー光学系は、光源(2次光源を含む)と一体となって光軸方向に移動可能とされており、その移動に伴って、当該リレー光学系が形成する前記光源の像の光軸方向位置をその移動量だけ光軸方向に移動可能とされていることを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
- 請求項1に記載の撮像素子検査用照明装置であって、前記リレー光学系全体の前側焦点位置、又は前記リレー光学系に含まれる所定のレンズ群の前側焦点位置に、視野絞りが設けられていることを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置であって、第1のレンズ群とリレー光学系を有し、前記第1のレンズ群は、その後側焦点位置が被検査対象物である撮像素子面の近傍に位置し、前記リレー光学系の各レンズ位置と、光源(2次光源を含む)の位置は光軸方向に移動可能とされており、その移動に伴って、当該リレー光学系が形成する前記光源の像の光軸方向位置を光軸方向に移動可能とされていると共に、照明光のF値が可変とされていることを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
- 請求項3に記載の撮像素子検査用照明装置であって、前記リレー光学系は、第2のレンズ群からなる結像部と、第3のレンズ群及び第4のレンズ群からなる変倍部とを有し、前記変倍部は前記リレー光学系中に設けられた視野絞りをケーラー照明すると共に、前記第3のレンズ群と前記第4のレンズ群との距離を変えることによって光源の結像倍率を変化させるものであり、前記結像部は、その前側焦点位置が前記視野絞り位置に位置するように設けられ、かつ後側焦点位置に、前記光源の像を結像するものであることを特徴とする撮像素子検査用照明装置。
- 前記光源が光ファイバ端面、又は光ファイバー端面に拡散板を取り付けたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 前記光源が光ファイバ端面又は光ファイバー端面に拡散板を取り付けたものであることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置を構成要素の一部として有することを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1、請求項2、請求項5のうちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置を用いて、被検査対象物である撮像素子の入射瞳位置と、前記撮像素子検査用照明装置の射出瞳位置を一致させた状態で前記撮像素子を照明し、検査を行うことを特徴とする撮像素子の検査方法。
- 請求項3、請求項4、請求項6のうちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置を用いて、被検査対象物である撮像素子の入射瞳位置と、前記撮像素子検査用照明装置の射出瞳位置を一致させ、かつ、前記照明光のF値を調整して前記撮像素子の仕様によって決まる照明F値に一致させた状態で前記撮像素子を照明し、検査を行うことを特徴とする撮像素子の検査方法。
- ウエハ上に形成された撮像素子を、請求項8又は請求項9に記載の撮像素子の検査方法を使用して検査する工程を有することを特徴とする撮像素子の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2008197399A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Photonic Lattice Inc | 偏光顕微鏡,偏光顕微鏡用ユニット |
KR102081958B1 (ko) * | 2019-07-12 | 2020-04-24 | 주식회사 코아시스 | 고배율 검사렌즈를 사용한 카메라모듈 제어장치 및 이를 사용한 카메라 모듈 검사 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH116802A (ja) * | 1997-04-21 | 1999-01-12 | Mejiro Precision:Kk | 検査装置 |
JPH11223795A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Sony Corp | 光のコヒーレンス低減方法及びその装置、照明方法及びその装置、並びにバンドルファイバー |
JP2003035902A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Toshiba Corp | 投写型液晶プロジェクタの照明装置 |
JP2003156406A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
JP2004004169A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Nikon Corp | 顕微鏡照明装置及び顕微鏡装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH116802A (ja) * | 1997-04-21 | 1999-01-12 | Mejiro Precision:Kk | 検査装置 |
JPH11223795A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Sony Corp | 光のコヒーレンス低減方法及びその装置、照明方法及びその装置、並びにバンドルファイバー |
JP2003035902A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Toshiba Corp | 投写型液晶プロジェクタの照明装置 |
JP2003156406A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
JP2004004169A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Nikon Corp | 顕微鏡照明装置及び顕微鏡装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008197399A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Photonic Lattice Inc | 偏光顕微鏡,偏光顕微鏡用ユニット |
KR102081958B1 (ko) * | 2019-07-12 | 2020-04-24 | 주식회사 코아시스 | 고배율 검사렌즈를 사용한 카메라모듈 제어장치 및 이를 사용한 카메라 모듈 검사 방법 |
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