KR970049057A - 변형 조명 장치 - Google Patents
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Abstract
조명 광원의 중심 부분을 차단하지 않으면서 사입사 성분이 입사하여 초점 심도를 향상시키며 빛의 세기가 감소하지 않는 변형 조명 장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 파리 눈 렌즈와, 빛을 모으는 콘덴서 렌즈와, 상기 파리 눈 렌즈와 상기 콘덴서 렌즈 사이에서 적어도 상기 파리 눈 렌즈의 중심 부분을 통과하는 빛을 통과시키는 어퍼처와, 상기 콘덴서 렌즈와 상기 어퍼처 사이에서 빛을 회절시키는 그레이팅을 포함한다. 본 발명의 변형 조명 장치에 의하여 노광시 빛의 세기가 저하되는 방지하면서 초점 심도를 향상시키는 효과를 가질 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 변형 조명 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
Claims (3)
- 파리 눈 렌즈; 빛을 모으는 콘덴서 렌즈; 상기 파리 눈 렌즈와 상기 콘덴서 렌즈 사이에서 적어도 상기 파리 눈 렌즈의 중심 부분을 통과하는 빛을 통과시키는 어퍼처; 및 상기 콘덴서 렌즈와 상기 어퍼처 사이에서 빛을 회절시키는 그레이팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 변형 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 그레이팅은 반사 방지막을 가지는 것을 특징으로 하는 변형 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 그레이팅은 투과율 조절막을 포함하는 것을 특징으로 하는 변형 조명 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057217A KR970049057A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 변형 조명 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057217A KR970049057A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 변형 조명 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970049057A true KR970049057A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950057217A KR970049057A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 변형 조명 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970049057A (ko) |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950057217A patent/KR970049057A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |