KR970016820A - 투영 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투영노광장치에 관한 것으로서, 조리개의 표면 상부에 원뿔형 거울을 장착하여 빛을 반사시키고 홀에 설치된 렌즈를 투과하여 원환형거울에 반사하여 콘덴서 렌즈의 가장자리에 집속하는 것이다.
따라서, 조리개에 원뿔형 거울과 렌즈 및 원환형 거울을 장착하여 줌으로써, 광 손실을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3도는 본 발명에 의한 투영노광장치를 설명하기 위한 도면이다.
제 4도는 본 발명에 따른 조리개의 원리를 도시한 도면이다.
제 5도는 본 발명에 따른 조리개를 하단에서 올려다 본 측면도이다.
Claims (2)
- 투영노광장치에 있어서, 사점조명형태를 갖는 조리개의 상부 표면 상에 설치되는 원뿔 형태의 원뿔형 거울 ; 및 상기 원뿔형 거울에 반사되어 나온 빛을 상기 콘덴서 렌즈의 가장자리로 집속하기 위하여 조리개의 하부 표면 상에 설치되는 원환형 거울을 더 구비함을 특징으로 하는 투영노광장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 원뿔형 거울에 반사되어 나은 빛을 한 방향으로 집속하기 위해 홀에 설치되는 렌즈를 더 구비함을 특징으로 하는 투영노광장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031109A KR970016820A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 투영 노광 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031109A KR970016820A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 투영 노광 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970016820A true KR970016820A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66616172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950031109A KR970016820A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 투영 노광 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970016820A (ko) |
-
1995
- 1995-09-21 KR KR1019950031109A patent/KR970016820A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |