KR940005964A - 원호조명장치 - Google Patents

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KR940005964A
KR940005964A KR1019930009967A KR930009967A KR940005964A KR 940005964 A KR940005964 A KR 940005964A KR 1019930009967 A KR1019930009967 A KR 1019930009967A KR 930009967 A KR930009967 A KR 930009967A KR 940005964 A KR940005964 A KR 940005964A
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타쯔오 이또
토시유키 와타나베
마사키 스즈끼
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G—PHYSICS
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Abstract

본 발명은, 대형액정기판등의 노광에 사용되는 반사형 투영노광장치에 사용하게 되는 원호조명장치에 관한것이며, 종래의 광이용효이 낮고, 조명얼룩이 발생하고 있던 과제를 해결하고, 소형이고 뛰어난 광이용효율, 균일한 조명을 얻을 수 있는 원호조명장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것으로서, 그 구성에 있어서, 광원과 집광광학계와 주사광학계로 이루어진 원호장치에 있어서, 스포트과의 주사각도에 따라서 스포트광의 주사속도 또는 스포트광의 크기 또는 스포트광의 광량을 변화시키는 수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이로서, 광원의 광이용효율이 높고, 노광얼룩이 적은, 또 대형기판의 노광에 호적한 원호조명장치를 제공할수 있다.

Description

원호조명장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서, 원호조명장치의 사시도,
제2도는 동실시예에 있어서의 원호조명장치의 단면도,
제3도는 본 발명의 제2실시예에 있어서의 원호조명장치의 사시도,
제4도는 동실시예에 있어서의 원호조명장치에 의한 스포트광의 궤적을 표시한 도면.

Claims (4)

  1. 광원과 상기 광원으로부터 출사한 광을 집광하는 집광광학계와 상기 집광광학계를 출사한 광을 주사하는 주사광학계로 이루어진 원호조명 장치에 있어서, 1회의 주사내외 주사각속도를 가변으로 하는 것을 특징으로 하는 원호조명장치.
  2. 광원과 상기 광원으로부터 출사한 광을 집광하는 집광광학계와 상기 집광광학계를 출사한 광을 주사하는 주사광학계로 이루어진 원호조명장치에 있어서, 상기 집광광학계 촛점위치와 공역의 위치에, 주사각에 따라서 구경이 변화하는 가변조리개를 배설한 것을 특징으로 하는 원호조명장치.
  3. 광원과 상기 광원으로부터 출사한 광을 집광하는 집광학계와 상기 집광학계로 출사한 광을 주사하는 주사광학계로 이루어진 원호조명장치에 있어서. 1회의 주사내의 광량을 가변으로 하는 것을 특징으로 하는 원호조명장치.
  4. 제3항에 있어서, 광량을 가변으로 하기 위하여 상기 광원과 상기 주사광학계와의 사이에 투과율이 변화하는 필터를 배설한 것을 특징으로 하는 원호조명장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930009967A 1992-06-03 1993-06-03 원호조명장치 KR0134760B1 (ko)

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JP4142322A JPH05333267A (ja) 1992-06-03 1992-06-03 円弧照明装置
JP92-142322 1992-06-03

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KR0134760B1 KR0134760B1 (ko) 1998-04-23

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US5390044A (en) 1995-02-14
KR0134760B1 (ko) 1998-04-23
JPH05333267A (ja) 1993-12-17

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