KR970051929A - 반도체 장치의 사입사 조명계 - Google Patents
반도체 장치의 사입사 조명계 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 장치의 사입사 조명계에 대해 기재되어 있다. 이는, 콘덴서 렌즈와 레티클 사이에, 상기 콘덴서 렌즈를 통과한 빔을 분리하는 빔 분리기와 상기 빔 분리기에 반사된 빔을 재반사하는 제1거울 및 상기 빔 분리기를 통과한 빔을 반사하는 제2거울을 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 빛의 소실에 의한 생산성 저하를 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 반도체 장치의 사입사 조명계를 도시한 개략도이다.
Claims (2)
- 콘덴서 렌즈와 레티클 사이에, 상기 콘덴서 렌즈를 통과한 빔을 분리하는 빔 분리기와 상기 빔 분리기에 반사된 빔을 재반사하는 제1거울 및 상기 빔 분리기를 통과한 빔을 반사하는 제2거울을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 사입사 조명계.
- 제1항에 있어서, 상기 레티클에 입사되는 빔의 입사각의 조절이 가능하도록 상기 제1거울과 제2거울은 그 이동 및 기울기 조절이 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 사입사 조명계※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066955A KR970051929A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 장치의 사입사 조명계 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066955A KR970051929A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 장치의 사입사 조명계 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970051929A true KR970051929A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66638160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950066955A KR970051929A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 반도체 장치의 사입사 조명계 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970051929A (ko) |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950066955A patent/KR970051929A/ko not_active Application Discontinuation
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